Brúsna základňa s povlakom SIC sa vyznačuje vysokou teplotnou odolnosťou, odolnosťou voči oxidácii, vysokou čistotou, pôsobením kyselín, zásad, solí a organických činidiel a stabilnými fyzikálnymi a chemickými vlastnosťami. V porovnaní s vysoko čistým grafitom, vysoko čistý grafit začína pri 400 ℃ intenzívne oxidovať, a to aj pri nízkej teplote. Pri dlhodobom používaní dochádza k oxidácii a oxidácii prášku v závislosti od obrobku a stola alebo znečistenia prostredia. Preto grafitová základňa s povlakom SIC ako nové zariadenie MOCVD postupne nahrádza vysoko čistý grafit.
Hlavné vlastnosti:
1. Vysokoteplotný antioxidant: antioxidant, antioxidačná funkcia je stále veľmi dobrá, keď teplota dosiahne 1600 ℃;
2. Vysoká čistota: získaná metódou chemického nanášania z pár za podmienok chlorácie pri vysokej teplote;
3. Odolnosť voči erózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch, jemné častice;
Odolnosť voči korózii: kyseliny, zásady, soli a organické činidlá;
5. Povrchová vrstva SIC je β-karbid kremíka, plošne centrovaný kubický materiál.
Čas uverejnenia: 20. februára 2023