கிராஃபைட் வட்டுகளின் ஒரு கண்ணோட்டம்

SIC பூசப்பட்ட கல் அரைக்கும் தளம், உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, உயர் தூய்மை, அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைப்பொருட்களை எதிர்க்கும் திறன், மற்றும் நிலையான இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் செயல்பாடு போன்ற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடுகையில், 400℃ வெப்பநிலையில் தீவிர ஆக்சிஜனேற்றம் தொடங்குகிறது. வெப்பநிலை அதிகமாக இல்லாவிட்டாலும், நீண்ட காலப் பயன்பாட்டில் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் தூள் சிதைவு ஏற்படுவதால், அது வேலைப்பொருள் மற்றும் மேசையைச் சார்ந்து இருப்பதோடு, பயன்பாட்டுச் சூழலையும் மாசுபடுத்துகிறது. எனவே, ஒரு புதிய MOCVD உபகரணமான SIC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தளம், தூள் உருக்குதல் செயல்முறையில் படிப்படியாக உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டிற்கு மாற்றாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

முக்கிய அம்சங்கள்:

1. உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றத் தடுப்பான்: இது 1600℃ போன்ற அதிக வெப்பநிலையிலும் ஆக்சிஜனேற்றத் தடுப்பானாகச் செயல்படுகிறது;

2. உயர் தூய்மை: உயர் வெப்பநிலை குளோரினேற்ற நிலையில் இரசாயன ஆவிப் படிவு முறை மூலம் பெறப்படுகிறது;

3. அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு, நுண்ணிய துகள்கள்;

அரிமான எதிர்ப்புத்திறன்: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம வினைப்பொருட்கள்;

5. SIC மேற்பரப்பு அடுக்கு என்பது முக மைய கனசதுரமான β-சிலிக்கான் கார்பைடு ஆகும்.