கிராஃபைட் வட்டுகளின் கண்ணோட்டம்

SIC பூசப்பட்ட கல் அரைக்கும் தளம் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அதிக தூய்மை, அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள் மற்றும் நிலையான இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் செயல்பாடு ஆகியவற்றின் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.அதிக தூய்மையான கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​400℃ இல் உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் தீவிர ஆக்சிஜனேற்றத்தைத் தொடங்குகிறது, வெப்பநிலை அதிகமாக இல்லாவிட்டாலும், நீண்ட கால பயன்பாடு ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் தூள் காரணமாக இருக்கும், பணிப்பகுதி மற்றும் அட்டவணை அல்லது சுற்றுச்சூழலின் பயன்பாட்டின் மாசுபாட்டை நம்பியிருக்கும், எனவே SIC பூச்சு கிராஃபைட் அடிப்படை ஒரு புதிய MOCVD உபகரணமாக, தூள் சின்டரிங் செயல்முறை படிப்படியாக உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டை மாற்றுகிறது.

முக்கிய அம்சங்கள்:

1. அதிக வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்றி: ஆக்ஸிஜனேற்றி, வெப்பநிலை 1600℃ வரை அதிகமாக இருக்கும்போது ஆக்ஸிஜனேற்ற செயல்பாடு இன்னும் சிறப்பாக இருக்கும்;

2. அதிக தூய்மை: அதிக வெப்பநிலை குளோரினேஷன் நிலையில் இரசாயன நீராவி படிவு முறை மூலம் பெறப்பட்டது;

3. அரிப்பு எதிர்ப்பு: அதிக கடினத்தன்மை, அடர்த்தியான மேற்பரப்பு, நுண்ணிய துகள்கள்;

அரிப்பு எதிர்ப்பு: அமிலம், காரம், உப்பு மற்றும் கரிம எதிர்வினைகள்;

5. SIC மேற்பரப்பு அடுக்கு β-சிலிக்கான் கார்பைடு, ஒரு முக மையப்படுத்தப்பட்ட கனசதுரமாகும்.