Шлифовальная основа из камня с покрытием SIC обладает такими характеристиками, как высокая термостойкость, стойкость к окислению, высокая чистота, устойчивость к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам, а также стабильные физико-химические свойства. По сравнению с высокочистым графитом, высокочистый графит начинает интенсивно окисляться при температуре 400℃, и даже при невысокой температуре в течение длительного времени происходит окисление и образование порошка, что зависит от состояния заготовки и стола или загрязнения окружающей среды. Поэтому шлифовальная основа из графита с покрытием SIC, как новое оборудование MOCVD, постепенно заменяет высокочистый графит, получаемый методом порошкового спекания.
Основные характеристики:
1. Высокотемпературный антиоксидант: антиоксидант, сохраняющий свои антиоксидантные свойства даже при температуре до 1600℃;
2. Высокая чистота: получено методом химического осаждения из газовой фазы в условиях высокотемпературного хлорирования;
3. Эрозионная стойкость: высокая твердость, плотная поверхность, мелкодисперсные частицы;
Коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам;
5. Поверхностный слой SIC представляет собой β-карбид кремния, имеющий гранецентрированную кубическую структуру.
Дата публикации: 20 февраля 2023 г.