O le fa'avae olo ma'a ua ufiufiina i le SIC e iai ona uiga o le tete'e atu i le vevela maualuga, tete'e atu i le fa'a'ele'eleina, mama maualuga, 'aisa, alkali, masima ma vaila'au fa'aola, ma le mautu o le fa'atinoga fa'aletino ma vaila'au. Pe a fa'atusatusa i le graphite mama maualuga, o le graphite mama maualuga i le 400℃ e amata ai le fa'a'ele'eleina malosi, e tusa lava pe le maualuga le vevela, o le fa'aoga umi o le a mafua ona o le fa'a'ele'eleina ma le pa'u, e fa'alagolago i le workpiece ma le laulau po'o le fa'aleagaina o le siosiomaga, o lea o le fa'avae graphite ufiufiina i le SIC o se meafaigaluega fou a le MOCVD, o le faiga o le fa'a'ele'eleina o le pa'u e suia malie ai le graphite mama maualuga.
Vaega autū:
1. Antioxidant i le vevela maualuga: antioxidant, o le galuega antioxidant e lelei tele lava pe a oo i le vevela e 1600℃;
2. Mama maualuga: maua e ala i le metotia o le teuina o le ausa vailaʻau i lalo o le tulaga o le chlorination i le vevela maualuga;
3. Tete'e i le ele: maualuga le ma'a'a, mafiafia le fogaeleele, fasi mea manifinifi;
Tete'e i le 'ele: 'āsi, alkali, masima ma vaila'au fa'aola;
5. O le vaega pito i luga o le SIC o le β-silicon carbide, o se kupita e ogatotonu i le itu.
Taimi na lafoina ai: Fepuari-20-2023