סקירה כללית של דיסקיות גרפיט

לבסיס טחינת אבן מצופה SIC יש מאפיינים של עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות לחמצון, טוהר גבוה, ריאגנטים חומציים, בסיסיים, מלחים וריאגנטים אורגניים, ותפקוד פיזיקלי וכימי יציב. בהשוואה לגרפיט טוהר גבוה, גרפיט טוהר גבוה מתחיל חמצון אינטנסיבי ב-400 מעלות צלזיוס, גם אם הטמפרטורה אינה גבוהה, שימוש ארוך טווח יגרם עקב חמצון ואבקה, בהסתמך על חומר העבודה והשולחן או זיהום הסביבה. לכן, בסיס גרפיט ציפוי SIC כציוד MOCVD חדש, ותהליך סינטור האבקה מחליף בהדרגה את הגרפיט הטוהר הגבוה.

תכונות עיקריות:

1. נוגד חמצון בטמפרטורה גבוהה: נוגד חמצון, תפקוד נוגד החמצון עדיין טוב מאוד כאשר הטמפרטורה גבוהה עד 1600 ℃;

2. טוהר גבוה: מתקבל בשיטת שקיעת אדים כימית בתנאי כלור בטמפרטורה גבוהה;

3. עמידות בפני שחיקה: קשיות גבוהה, משטח צפוף, חלקיקים עדינים;

עמידות בפני קורוזיה: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים;

5. שכבת פני השטח של ה-SIC היא β-סיליקון קרביד, קובי ממורכז פנים.