ພື້ນຖານຫີນເຄືອບ SIC ມີລັກສະນະຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ກົດ, ດ່າງ, ເກືອ ແລະ ສານອິນຊີ, ແລະ ໜ້າທີ່ທາງກາຍະພາບ ແລະ ເຄມີທີ່ໝັ້ນຄົງ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ 400 ℃ ຈະເລີ່ມຜຸພັງຢ່າງຮຸນແຮງ, ເຖິງແມ່ນວ່າອຸນຫະພູມບໍ່ສູງ, ການນຳໃຊ້ໃນໄລຍະຍາວຈະເກີດຈາກການຜຸພັງ ແລະ ຜົງ, ຂຶ້ນກັບວັດສະດຸ ແລະ ໂຕະ ຫຼື ມົນລະພິດຂອງການນຳໃຊ້ສິ່ງແວດລ້ອມ, ສະນັ້ນພື້ນຖານແກຣໄຟທ໌ເຄືອບ SIC ເປັນອຸປະກອນ MOCVD ໃໝ່, ຂະບວນການເຜົາຜົງຄ່ອຍໆທົດແທນແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.
ຄຸນສົມບັດຫຼັກ:
1. ສານຕ້ານອະນຸມູນອິດສະລະທີ່ອຸນຫະພູມສູງ: ສານຕ້ານອະນຸມູນອິດສະລະ, ໜ້າທີ່ຂອງສານຕ້ານອະນຸມູນອິດສະລະຍັງດີຫຼາຍເມື່ອອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ℃;
2. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ໄດ້ມາຈາກວິທີການວາງອາຍເຄມີພາຍໃຕ້ສະພາບການຄລໍຣີນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ;
3. ຄວາມຕ້ານທານການກັດເຊາະ: ຄວາມແຂງສູງ, ໜ້າດິນທີ່ໜາແໜ້ນ, ອະນຸພາກລະອຽດ;
ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ: ກົດ, ດ່າງ, ເກືອ ແລະ ສານປະຕິກິລິຍາອິນຊີ;
5. ຊັ້ນໜ້າດິນ SIC ແມ່ນ β-silicon carbide, ເປັນຮູບຊົງກ້ອນທີ່ມີໜ້າຢູ່ໃຈກາງ.
ເວລາໂພສ: 20 ກຸມພາ 2023