SIC kaplı taşlama tabanı, yüksek sıcaklık dayanımı, oksidasyon direnci, yüksek saflık, asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı dayanıklılık ve kararlı fiziksel ve kimyasal işlev özelliklerine sahiptir. Yüksek saflıkta grafit ile karşılaştırıldığında, yüksek saflıkta grafit 400℃'de yoğun oksidasyona başlar ve sıcaklık yüksek olmasa bile uzun süreli kullanımda oksidasyon ve tozlaşma nedeniyle iş parçasına ve masaya zarar verebilir veya çevreyi kirletebilir. Bu nedenle, SIC kaplı grafit tabanı, yeni bir MOCVD ekipmanı olarak, toz sinterleme işlemiyle kademeli olarak yüksek saflıkta grafitin yerini almaktadır.
Başlıca özellikler:
1. Yüksek sıcaklık antioksidanı: Antioksidan özelliği, sıcaklık 1600℃'ye kadar yükseldiğinde bile oldukça iyidir;
2. Yüksek saflık: Yüksek sıcaklıkta klorlama koşulları altında kimyasal buhar biriktirme yöntemiyle elde edilir;
3. Aşınma direnci: yüksek sertlik, yoğun yüzey, ince parçacıklar;
Korozyon direnci: asit, alkali, tuz ve organik reaktiflere karşı;
5. SIC yüzey tabakası, yüz merkezli kübik bir yapı olan β-silisyum karbürdür.
Yayın tarihi: 20 Şubat 2023