SIC-päällystetyllä kivihioma-alustalla on ominaisuuksia, kuten korkea lämmönkestävyys, hapettumisenkestävyys, korkea puhtaus, happojen, emästen, suolojen ja orgaanisten reagenssien kestävyys sekä vakaa fysikaalis-kemiallinen toiminta. Verrattuna korkean puhtauden grafiittiin, korkean puhtauden grafiitti alkaa hapettua voimakkaasti 400 ℃:ssa. Vaikka lämpötila ei olisi korkea, pitkäaikainen käyttö aiheuttaa hapettumista ja jauhemaista hapettumista riippuen työkappaleesta ja pöydästä tai ympäristön saastumisesta. Siksi SIC-päällysteinen grafiittialusta korvaa uutena MOCVD-laitteena jauhesintrausprosessilla vähitellen korkean puhtauden grafiitin.
Tärkeimmät ominaisuudet:
1. Korkean lämpötilan antioksidantti: antioksidantti, antioksidanttitoiminto on edelleen erittäin hyvä, kun lämpötila on jopa 1600 ℃;
2. Korkea puhtausaste: saatu kemiallisella höyrypinnoitusmenetelmällä korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa;
3. Eroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta, hienot hiukkaset;
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit;
5. SIC-pintakerros on β-piikarbidia, joka on pintakeskeinen kuutiollinen.
Julkaisun aika: 20. helmikuuta 2023