グラファイトディスクの概要

SICコーティングされた石材研削ベースは、耐高温性、耐酸化性、高純度、耐酸性、耐アルカリ性、耐塩性、有機試薬性、および安定した物理化学的機能といった特性を備えています。高純度グラファイトと比較すると、高純度グラファイトは400℃で激しい酸化が始まり、温度が高くなくても、長期間使用すると酸化により粉末がワークピースやテーブルに付着したり、使用環境を汚染したりするため、新しいMOCVD装置や粉末焼結プロセスとしてSICコーティンググラファイトベースが徐々に高純度グラファイトに取って代わりつつあります。

主な特徴：

1. 高温抗酸化剤：抗酸化作用は、温度が1600℃にも達しても非常に良好です。

2. 高純度：高温塩素化条件下での化学気相堆積法により得られる。

3. 耐侵食性：高硬度、緻密な表面、微粒子。

耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。

5. SIC表面層は面心立方構造のβ-炭化ケイ素である。