グラファイトディスクの概要

SiCコーティングされた砥石研磨台は、耐高温性、耐酸化性、高純度、酸、アルカリ、塩、有機試薬に対する耐性、そして安定した物理化学機能といった特性を備えています。高純度グラファイトと比較すると、高純度グラファイトは400℃で激しい酸化反応を開始し、たとえ高温でなくても、長期間の使用は酸化や粉化を引き起こし、ワークピースやテーブル、あるいは使用環境の汚染につながります。そのため、SiCコーティングされたグラファイト台は、新しいMOCVD装置や粉末焼結プロセスとして、徐々に高純度グラファイトに取って代わっています。

主な特徴:

1. 高温酸化防止剤：酸化防止剤は、温度が 1600℃ の高温でも酸化防止機能が依然として非常に優れています。

2. 高純度：高温塩素化条件下での化学蒸着法により得られる。

3. 耐侵食性：高硬度、緻密な表面、細かい粒子。

耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。

5. SiC 表面層は、面心立方晶の β-炭化ケイ素です。