ภาพรวมของดิสก์กราไฟท์

ฐานบดหินเคลือบ SIC มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชัน ความบริสุทธิ์สูง กรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์ และฟังก์ชันทางกายภาพและเคมีที่เสถียร เมื่อเปรียบเทียบกับกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะเริ่มเกิดออกซิเดชันอย่างเข้มข้นที่อุณหภูมิ 400℃ แม้ว่าอุณหภูมิจะไม่สูง การใช้งานในระยะยาวจะเกิดจากการออกซิเดชันและผง ซึ่งขึ้นอยู่กับชิ้นงานและโต๊ะหรือมลภาวะจากการใช้งานสิ่งแวดล้อม ดังนั้นฐานกราไฟท์เคลือบ SIC จึงกลายเป็นอุปกรณ์ MOCVD ใหม่ กระบวนการหลอมผงจะค่อยๆ แทนที่กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง

คุณสมบัติหลัก:

1. สารต้านอนุมูลอิสระที่อุณหภูมิสูง: สารต้านอนุมูลอิสระ การทำงานของสารต้านอนุมูลอิสระยังคงดีมากเมื่ออุณหภูมิสูงถึง 1,600℃

2. ความบริสุทธิ์สูง: ได้จากวิธีการสะสมไอเคมีภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง

3. ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง พื้นผิวหนาแน่น อนุภาคละเอียด

ความทนทานต่อการกัดกร่อน: กรด, ด่าง, เกลือ และสารอินทรีย์

5. ชั้นผิว SIC เป็นคาร์ไบด์ซิลิกอน β ซึ่งเป็นลูกบาศก์ที่มีจุดศูนย์กลางอยู่ที่หน้า