ภาพรวมของแผ่นดิสก์กราไฟต์

ฐานหินเจียรเคลือบ SIC มีคุณสมบัติทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการออกซิเดชัน มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อกรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์ และมีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่เสถียร เมื่อเปรียบเทียบกับกราไฟต์บริสุทธิ์สูง กราไฟต์บริสุทธิ์สูงจะเริ่มเกิดการออกซิเดชันอย่างรุนแรงที่อุณหภูมิ 400℃ แม้ว่าอุณหภูมิจะไม่สูงมากนัก การใช้งานในระยะยาวก็จะเกิดการออกซิเดชันและกลายเป็นผง ซึ่งอาจส่งผลต่อชิ้นงานและโต๊ะ หรือก่อให้เกิดมลภาวะต่อสิ่งแวดล้อม ดังนั้นฐานกราไฟต์เคลือบ SIC ซึ่งเป็นอุปกรณ์ MOCVD แบบใหม่และกระบวนการเผาผนึกผง จึงค่อยๆ เข้ามาแทนที่กราไฟต์บริสุทธิ์สูง

คุณสมบัติหลัก:

1. สารต้านอนุมูลอิสระที่อุณหภูมิสูง: สารต้านอนุมูลอิสระนี้ยังคงมีประสิทธิภาพดีมากแม้ในอุณหภูมิสูงถึง 1600℃

2. ความบริสุทธิ์สูง: ได้มาจากการใช้วิธีการตกตะกอนไอสารเคมีภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง

3. ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง พื้นผิวหนาแน่น อนุภาคละเอียด

ความต้านทานต่อการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และสารเคมีอินทรีย์

5. ชั้นผิวของ SIC คือ β-ซิลิคอนคาร์ไบด์ ซึ่งเป็นโครงสร้างลูกบาศก์แบบมีจุดศูนย์กลางอยู่ที่หน้า (face-centered cubic)