Шліфувальна основа з кам'яним покриттям SIC має характеристики високої термостійкості, стійкості до окислення, високої чистоти, кислот, лугів, солей та органічних реагентів, а також стабільні фізичні та хімічні властивості. Порівняно з високочистим графітом, високочистий графіт починає інтенсивно окислюватися вже при 400℃, навіть якщо температура не висока, але при тривалому використанні все одно буде окислюватися та містити порошок, що залежить від стану заготовки та столу, або забруднення навколишнього середовища. Тому графітова основа з покриттям SIC як нове обладнання для MOCVD поступово замінює високочистий графіт.
Основні характеристики:
1. Високотемпературний антиоксидант: антиоксидант, антиоксидантна функція залишається дуже хорошою, коли температура досягає 1600 ℃;
2. Висока чистота: отримана методом хімічного осадження з парової фази за умов високотемпературного хлорування;
3. Стійкість до ерозії: висока твердість, щільна поверхня, дрібні частинки;
Корозійна стійкість: кислоти, луги, солі та органічні реагенти;
5. Поверхневий шар SIC являє собою β-карбід кремнію, гранецентровану кубічну структуру.
Час публікації: 20 лютого 2023 р.