SIC ආලේපිත ගල් ඇඹරුම් පදනම ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය, ඉහළ සංශුද්ධතාවය, අම්ලය, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක සහ ස්ථායී භෞතික හා රසායනික ක්රියාකාරිත්වයේ ලක්ෂණ ඇත.ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් මිනිරන් සමඟ සසඳන විට, 400℃ හි ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් මිනිරන් දැඩි ඔක්සිකරණය ආරම්භ කරයි, උෂ්ණත්වය ඉහළ මට්ටමක නොතිබුණත්, දිගුකාලීන යෙදීම ඔක්සිකරණය සහ කුඩු නිසා සිදුවනු ඇත, වැඩ කොටස සහ මේසය මත රඳා පවතී හෝ පරිසරයේ භාවිතය දූෂණය වේ, එබැවින් SIC ආලේපන මිනිරන් පදනම නව MOCVD උපකරණයක් ලෙස, කුඩු සින්ටර් කිරීමේ ක්රියාවලිය ක්රමයෙන් ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් මිනිරන් ප්රතිස්ථාපනය කරයි.
ප්රධාන අංග:
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිඔක්සිකාරකය: ප්රතිඔක්සිකාරකය, උෂ්ණත්වය 1600℃ තරම් ඉහළ මට්ටමක පවතින විට ප්රතිඔක්සිකාරක ක්රියාකාරිත්වය තවමත් ඉතා හොඳයි;
2. ඉහළ සංශුද්ධතාවය: ඉහළ උෂ්ණත්ව ක්ලෝරිනීකරණ තත්ත්වය යටතේ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ ක්රමය මගින් ලබා ගන්නා ලදී;
3. ඛාදන ප්රතිරෝධය: ඉහළ දෘඪතාව, ඝන පෘෂ්ඨය, සියුම් අංශු;
විඛාදන ප්රතිරෝධය: අම්ල, ක්ෂාර, ලුණු සහ කාබනික ප්රතික්රියාකාරක;
5. SIC මතුපිට ස්ථරය β-සිලිකන් කාබයිඩ්, මුහුණත කේන්ද්ර කරගත් ඝනකයකි.
පළ කිරීමේ කාලය: පෙබරවාරි-20-2023