SIC-húðaður steinmalunargrunnur hefur eiginleika eins og háan hitaþol, oxunarþol, mikla hreinleika, sýru-, basa-, salt- og lífræn hvarfefni og stöðuga eðlis- og efnafræðilega virkni. Í samanburði við háhreinan grafít, hefst háhreinn grafít, jafnvel þótt hitastigið sé ekki hátt, vegna oxunar og dufts við langtímanotkun við 400 ℃, sem fer eftir vinnustykkinu og borðinu eða mengun umhverfisins, þannig að SIC-húðaður grafítgrunnur sem nýr MOCVD búnaður og duftsintraferli hefur smám saman komið í stað háhreins grafíts.
Helstu eiginleikar:
1. Andoxunarefni við háan hita: Andoxunarefni, andoxunarvirkni er enn mjög góð þegar hitastigið er allt að 1600 ℃;
2. Mikil hreinleiki: fenginn með efnafræðilegri gufuútfellingaraðferð við klórun við háan hita;
3. Viðnám gegn rofi: mikil hörku, þétt yfirborð, fínar agnir;
Tæringarþol: sýrur, basar, salt og lífræn hvarfefni;
5. Yfirborðslag SIC er β-kísillkarbíð, sem er teningslaga með miðju á yfirborðinu.
Birtingartími: 20. febrúar 2023