SIC-beschichtete Steinschleifunterlagen zeichnen sich durch hohe Temperaturbeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit, hohe Reinheit, Beständigkeit gegen Säuren, Basen, Salze und organische Reagenzien sowie stabile physikalische und chemische Eigenschaften aus. Im Vergleich zu hochreinem Graphit beginnt hochreiner Graphit bei 400 °C stark zu oxidieren. Selbst bei nicht hohen Temperaturen kommt es bei langfristiger Anwendung zu Oxidation und Pulverbildung, abhängig von Werkstück und Tisch oder der Umweltverschmutzung durch die Verwendung. Daher werden SIC-beschichtete Graphitunterlagen als neue MOCVD-Geräte und Pulversinterverfahren schrittweise durch hochreinen Graphit ersetzt.
Haupteigenschaften:
1. Hochtemperatur-Antioxidans: Antioxidans, die antioxidative Funktion ist auch bei Temperaturen von bis zu 1600 °C noch sehr gut;
2. Hohe Reinheit: durch chemische Gasphasenabscheidung unter Hochtemperaturchlorierungsbedingungen erhalten;
3. Erosionsbeständigkeit: hohe Härte, dichte Oberfläche, feine Partikel;
Korrosionsbeständigkeit: Säure, Lauge, Salz und organische Reagenzien;
5. Die SIC-Oberflächenschicht besteht aus β-Siliziumkarbid, einem kubisch-flächenzentrierten Material.
Veröffentlichungszeit: 20. Februar 2023