सिरेमिक वेफर हीटर AlN एल्युमिना हीटिंग तत्व

सिरेमिक वेफर हीटर AlN एल्युमिना हीटिंग तत्व
अर्धचालक विनिर्माण में, वेफर्स को विभिन्न प्रक्रियाओं में संसाधित करने की आवश्यकता होती है, जैसे कि पतली फिल्म जमाव, नक़्क़ाशी, आदि। इन लिंक में, वेफर्स को एक निश्चित तापमान तक गर्म करने की आवश्यकता होती है, और तापमान के लिए सख्त आवश्यकताएं होती हैं, क्योंकि तापमान की एकरूपता का उत्पाद की उपज पर बहुत महत्वपूर्ण प्रभाव पड़ता है, और हीटिंग घटक अपरिहार्य हैं।

सिरेमिक हीटरप्रक्रिया कक्ष पर सीधे लागू किया जाता है और वेफर के सीधे संपर्क में होते हैं। वे न केवल वेफर को ले जाते हैं, बल्कि यह भी सुनिश्चित करते हैं कि वेफर एक स्थिर और समान प्रक्रिया तापमान प्राप्त करता है। वे अर्धचालक पतली फिल्म जमाव उपकरण में प्रमुख घटक हैं!

सिरेमिक हीटर में एक सिरेमिक बेस होता है जो वेफर को सहारा देता है और पीछे की तरफ एक बेलनाकार सपोर्ट बॉडी होती है जो इसे सहारा देती है। हीटिंग के लिए प्रतिरोध तत्व (हीटिंग लेयर) के अलावा, सिरेमिक बेस के अंदर या सतह पर रेडियो फ्रीक्वेंसी इलेक्ट्रोड (RF लेयर) भी होते हैं। तेजी से हीटिंग और कूलिंग हासिल करने के लिए, सिरेमिक बेस की मोटाई पतली होनी चाहिए, लेकिन बहुत पतली होने पर कठोरता भी कम हो जाएगी।

सिरेमिक हीटर का समर्थन आम तौर पर सिरेमिक सामग्री से बना होता है जिसका थर्मल विस्तार गुणांक आधार के समान होता है। हीटर टर्मिनलों और तारों को प्लाज्मा और संक्षारक रासायनिक गैसों के प्रभाव से बचाने के लिए शाफ्ट संयुक्त तल की एक अनूठी संरचना को अपनाता है। हीटर का एक समान तापमान सुनिश्चित करने के लिए समर्थन एक हीट ट्रांसफर गैस इनलेट और आउटलेट पाइप से सुसज्जित है। आधार और समर्थन रासायनिक रूप से एक बंधन परत के साथ बंधे होते हैं।

सिरेमिक हीटर एल्युमिनियम नाइट्राइड (AlN), सिलिकॉन नाइट्राइड (Si3N4), और एल्युमिना (Al2O3) जैसे सिरेमिक से बनाया जा सकता है। इनमें से, AlN सिरेमिक हीटर के लिए सबसे अच्छा विकल्प है। अन्य सामग्रियों की तुलना में, VET Energy के AlN सिरेमिक में निम्नलिखित विशेषताएँ हैं:
(1) अच्छी तापीय चालकता;
(2) अर्धचालक सिलिकॉन सामग्री के लिए मिलान थर्मल विस्तार गुणांक;
(3) अच्छे यांत्रिक गुण, उत्कृष्ट पहनने के प्रतिरोध, और व्यापक यांत्रिक गुण बेरिलियम ऑक्साइड से बेहतर हैं और एल्यूमीनियम ऑक्साइड के बराबर हैं;
(4) उत्कृष्ट व्यापक विद्युत गुण, उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन और कम ढांकता हुआ नुकसान;
(5) गैर विषैले और पर्यावरण के अनुकूल।