सिरेमिक वेफर हीटर AlN एल्यूमिना हीटिंग एलिमेंट
सेमीकंडक्टर निर्माण में, वेफर्स को विभिन्न प्रक्रियाओं जैसे थिन फिल्म डिपोजिशन, एचिंग आदि से संसाधित करने की आवश्यकता होती है। इन चरणों में, वेफर्स को एक निश्चित तापमान तक गर्म करने की आवश्यकता होती है, और तापमान के लिए सख्त आवश्यकताएं होती हैं, क्योंकि तापमान की एकरूपता उत्पाद की उपज पर बहुत महत्वपूर्ण प्रभाव डालती है, और हीटिंग घटक अपरिहार्य हैं।
सिरेमिक हीटरये कण सीधे प्रोसेस चैंबर में लगाए जाते हैं और वेफर के सीधे संपर्क में होते हैं। ये न केवल वेफर को सहारा देते हैं, बल्कि यह भी सुनिश्चित करते हैं कि वेफर को एक स्थिर और एकसमान प्रोसेस तापमान प्राप्त हो। ये सेमीकंडक्टर थिन फिल्म डिपोजिशन उपकरण के प्रमुख घटक हैं!
सिरेमिक हीटर में वेफर को सहारा देने वाला एक सिरेमिक आधार और पीछे की ओर एक बेलनाकार सपोर्ट बॉडी होती है। तापन के लिए प्रतिरोधक तत्व (हीटिंग लेयर) के अलावा, सिरेमिक आधार के अंदर या सतह पर रेडियो फ्रीक्वेंसी इलेक्ट्रोड (आरएफ लेयर) भी होते हैं। तेजी से गर्म और ठंडा करने के लिए, सिरेमिक आधार की मोटाई कम होनी चाहिए, लेकिन बहुत पतली होने से इसकी मजबूती कम हो जाएगी।
सिरेमिक हीटर का आधार आमतौर पर सिरेमिक सामग्री से बना होता है जिसका तापीय विस्तार गुणांक आधार के समान होता है। हीटर में शाफ्ट जॉइंट बॉटम की एक अनूठी संरचना होती है जो टर्मिनलों और तारों को प्लाज्मा और संक्षारक रासायनिक गैसों के प्रभावों से बचाती है। हीटर के तापमान को एक समान बनाए रखने के लिए आधार में ऊष्मा स्थानांतरण गैस इनलेट और आउटलेट पाइप लगे होते हैं। आधार और आधार को एक बॉन्डिंग परत द्वारा रासायनिक रूप से जोड़ा जाता है।
सिरेमिक हीटर एल्यूमीनियम नाइट्राइड (AlN), सिलिकॉन नाइट्राइड (Si3N4) और एल्यूमिना (Al2O3) जैसे सिरेमिक पदार्थों से बनाया जा सकता है। इनमें से AlN सिरेमिक हीटर के लिए सबसे अच्छा विकल्प है। अन्य सामग्रियों की तुलना में, VET Energy के AlN सिरेमिक में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
(1) अच्छी तापीय चालकता;
(2) अर्धचालक सिलिकॉन सामग्री के अनुरूप तापीय विस्तार गुणांक;
(3) अच्छे यांत्रिक गुण, उत्कृष्ट घिसाव प्रतिरोध, और व्यापक यांत्रिक गुण बेरिलियम ऑक्साइड से बेहतर और एल्यूमीनियम ऑक्साइड के बराबर हैं;
(4) उत्कृष्ट व्यापक विद्युत गुण, उत्कृष्ट विद्युत इन्सुलेशन और कम परावैद्युत हानि;
(5) गैर विषैला और पर्यावरण के अनुकूल।
सिरेमिक सामग्री का डेटा शीट
| वस्तु | 95% एल्यूमिना | 99% एल्यूमिना | zirconia | सिलिकन कार्बाइड | सिलिकॉनNयह सवारी | अल्युमीनियमNयह सवारी |
| रंग | सफ़ेद | पीली रोशनी | सफ़ेद | काला | काला | स्लेटी |
| घनत्व (ग्राम/सेमी³) | 3.7 ग्राम/सेमी³ | 3.9 ग्राम/सेमी³ | 6.02 ग्राम/सेमी3 | 3.2 ग्राम/सेमी3 | 3.25 ग्राम/सेमी³ | 3.2 ग्राम/सेमी3 |
| जल अवशोषण | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| कठोरता (एचवी) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (एमपीए) | 300 एमपीए | 400 एमपीए | 1100 एमपीए | 450 एमपीए | 800 एमपीए | 310 एमपीए |
| संपीडन सामर्थ्य (एमपीए) | 2500 एमपीए | 2800 एमपीए | 3600 एमपीए | 2000 एमपीए | 2600 एमपीए | - |
| यंग का प्रत्यास्थता मापांक | 300 जीपीए | 300 जीपीए | 320 जीपीए | 450 जीपीए | 290 जीपीए | 310~350 जीपीए |
| पिज़ोन अनुपात | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| ऊष्मीय चालकता | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/मी°C | 25W/m°C | 150W/मी°C |
| ढांकता हुआ ताकत | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| आयतन प्रतिरोधकता (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
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