वेफर प्रोसेसिंग के लिए उच्च शुद्धता वाली क्वार्ट्ज नाव

क्वार्ट्ज वेफर नावयह सेमीकंडक्टर निर्माण, फोटोवोल्टिक सेल उत्पादन और उन्नत सामग्री अनुसंधान एवं विकास में एक प्रमुख वाहक उपकरण है, जिसे उच्च तापमान प्रक्रियाओं में स्थिर वेफर स्थानांतरण और स्थिति निर्धारण के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह उत्पाद अति-उच्च शुद्धता वाले फ्यूज्ड सिलिका (SiO2) से बना है, जिसमें उत्कृष्ट तापमान प्रतिरोध, रासायनिक स्थिरता और अति-निम्न धातु संदूषण की विशेषताएं हैं। यह डिफ्यूजन फर्नेस, ऑक्सीडेशन फर्नेस, PECVD/LPCVD और अन्य उपकरणों के लिए उपयुक्त है, और वेफर कोटिंग, आयन इम्प्लांटेशन, उच्च तापमान एनीलिंग और अन्य कोर प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

वीईटी एनर्जी की क्वार्ट्ज नाव के मुख्य लाभ:

• अति उच्च शुद्धता वाली सामग्री
  शुद्धता ≥99.99%: अशुद्धता की मात्रा (Na, K, Fe, आदि) <5ppm, जिससे वेफर संदूषण से बचा जा सके और चिप की उपज की गारंटी दी जा सके।
  कम अवक्षेपण और अधिशोषण: कणों के आसंजन और गैस अवशेष को कम करने के लिए सतह को अत्यधिक पॉलिश किया जाता है (Ra ≤ 0.4 μm)।
• उच्च तापमान स्थिरता
  तापमान सीमा: 1100℃ का दीर्घकालिक कार्य तापमान, 1300℃ का अल्पकालिक शिखर तापमान, कोई विरूपण नहीं, कोई क्रिस्टल अवक्षेपण नहीं।
  कम तापीय विस्तार गुणांक (5.5x10-7/℃), उत्कृष्ट तापीय आघात प्रतिरोध, तीव्र तापमान वृद्धि और गिरावट प्रक्रिया के अनुकूल (जैसे आरटीपी तीव्र एनीलिंग)।
• सटीक संरचनात्मक डिजाइन
  स्लॉट परिशुद्धता ±0.1 मिमी: 2 इंच से 12 इंच तक के वेफर्स का मिलान, रिक्ति एकरूपता त्रुटि <0.05 मिमी, यह सुनिश्चित करना कि वेफर्स में कोई ऑफसेट न हो।
  उच्च भार क्षमता: एक ही नाव में अधिकतम 50 वेफर्स (12 इंच वेफर्स के संदर्भ में) का भार, पतले वेफर्स (≥100um) के स्थिर स्थानांतरण का समर्थन करता है।
• रासायनिक अक्रियता
  संक्षारण प्रतिरोध: अम्ल (HF को छोड़कर), क्षार और कार्बनिक विलायक संक्षारण के प्रति प्रतिरोधी, CMP सफाई प्रक्रिया के साथ संगत।
  उत्कृष्ट गैस जकड़न: रिसाव दर <5x10-10 Pa.m3/s, निर्वात और सुरक्षात्मक गैस वातावरण के लिए उपयुक्त।
• लंबी आयु और रखरखाव में आसानी
  जीवन प्रत्याशा ≥ 5000 चक्र (सामान्य कार्य परिस्थितियों में), सतह को बार-बार साफ करके उपयोग किया जा सकता है, जिससे कुल लागत कम हो जाती है।
  मॉड्यूलर डिज़ाइन: आंशिक प्रतिस्थापन (जैसे कि एक ही नाव का दांत) का समर्थन करता है, जिससे डाउनटाइम कम होता है।

हम ग्राहक की आवश्यकताओं के अनुसार पारदर्शी और फ्रॉस्टेड दोनों प्रकार की सतहें प्रदान करते हैं:

निंगबो वीईटी एनर्जी टेक्नोलॉजी कंपनी लिमिटेड एक उच्च-तकनीकी उद्यम है जो उच्च स्तरीय उन्नत सामग्रियों के उत्पादन और बिक्री पर केंद्रित है। इन सामग्रियों और प्रौद्योगिकियों में ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, सिरेमिक, और सतह उपचार जैसे SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, ग्लासी कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग आदि शामिल हैं। ये उत्पाद फोटोवोल्टाइक, सेमीकंडक्टर, नई ऊर्जा, धातु विज्ञान आदि में व्यापक रूप से उपयोग किए जाते हैं।

हमारी तकनीकी टीम देश के शीर्ष अनुसंधान संस्थानों से आती है, और उन्होंने उत्पाद के प्रदर्शन और गुणवत्ता को सुनिश्चित करने के लिए कई पेटेंटकृत प्रौद्योगिकियां विकसित की हैं, साथ ही ग्राहकों को पेशेवर सामग्री समाधान भी प्रदान कर सकती हैं।