Gịnị bụ SOI?

SOI bụ ndebiri makaSilicon-On-Insulator. N'ụzọ nkịtị, ọ pụtara "silikọn na ihe mkpuchi." N'ọrụ, nhazi ahụ bụ na enwere akwa mkpuchi dị gịrịgịrị, dị ka SiO₂, n'elu wafer silicon, wee mepụta akwa silicon dị gịrịgịrị n'elu akwa mkpuchi a. Nhazi a na-ekewapụ akwa silicon na-arụ ọrụ na ihe mkpuchi silicon. Agbanyeghị, n'usoro silicon ọdịnala, a na-emepụta chip ahụ kpọmkwem na ihe mkpuchi silicon na-ejighị akwa mkpuchi.

SOI waferE nwere akwa atọ dị mkpa e ji arụ ọrụ: otu kristal nke ngwaọrụ silicon, akwa mkpuchi silicon dioxide (oxide e liri n'ala, ma ọ bụ BOX), na ihe mkpuchi silicon. N'otu aka ahụ, akwa atọ ndị a na-emepụta gburugburu eletriki kwụsiri ike ma kwụsie ike, ebe akwa ọ bụla na-arụ ọrụ nke ya ebe ọ na-arụ ọrụ na mmekorita iji melite arụmọrụ na ntụkwasị obi zuru oke.

Ihe dị n'elu nke ngwaọrụ silicon otu kristal (nke dị ihe dị ka 5 nm ruo 2 μm) bụ mpaghara isi ebe a na-emepụta transistors na ngwaọrụ ndị ọzọ na-arụ ọrụ. Nhazi ya dị oke mkpa bụ ntọala dị mkpa maka imeziwanye arụmọrụ ngwaọrụ na ime ka nhazi na-aga n'ihu.

Akwa oxide (BOX) nke dị n'etiti na-enye ikewapụ eletriki. Akwa silicon dioxide a, nke na-adịkarị n'obosara site na 5 nm ruo 2 μm, na-egbochi njikọ eletriki n'etiti akwa ngwaọrụ na ihe dị n'okpuru ya site na usoro ikewapụ anụ ahụ na nke kemịkalụ.

Ihe e ji silicon dị n'okpuru ya na-enye ike nhazi na nkwụsi ike n'ime ihe, na-eme ka a pụrụ ịtụkwasị ya obi n'oge mmepụta na ọrụ ya na-esote. Ọkpụrụkpụ ya na-adịkarị n'etiti 200 μm ruo 700 μm, na-enye nkwado zuru oke maka igwe ma na-eburu n'uche ihe achọrọ maka nhazi na ojiji.

Uru Ndị Dị Mkpa nke Wafers SOI
1. Ọsọ Ka Elu

• Site na oyi akwa oxide e liri n'okpuru ngwaọrụ ndị a, a na-ekewapụ transistors na ihe mkpuchi silicon. Nke a na-ebelata ikike parasitic, na-eme ka mgbanwe ngwa ngwa, ma na-eme ka SOI dabara adaba maka usoro mgbakwụnye ọsọ ọsọ na sekit RF.

2. Obere oriri ike

• Obere ikike pụtara obere mfu chaja na mwepụta.
• Ụzọ ntapụ mmiri ole na ole na-eduga na mbelata oriri ike nchekwa (static), na-eme ka sistemụ ahụ dịkwuo ike.

3. Ịnọpụ Onwe Ka Mma

• Ngwaọrụ ọ bụla "na-anọdụ ala" n'elu oyi akwa oxide, nke na-ebelata nnukwu nnyonye anya eletriki n'etiti ngwaọrụ. Nke a na-eme ka nkwụsi ike dịkwuo mma mgbe a na-ejikọta sekit analog + dijitalụ, nkeji njikwa ike, na modulu RF n'otu mgbawa ahụ.

4. Mmeziwanye Radiation na Oke Okpomọkụ

• Ike ọkụ eletrik nke radieshon na-akpata anaghị agbasa n'ime ihe ndị dị n'okpuru ala, nke na-eme ka ngwaọrụ SOI dịkwuo nchebe ma dịkwa mma n'ebe dị elu dịka ikuku.
• Mmụba nke mmiri na-agbapụta n'oge okpomọkụ dị elu adịghị njọ, nke bara uru maka ngwa eletrọniki ụgbọala na njikwa ụlọ ọrụ mmepụta ihe.

5. Ọ dị mma maka ịbawanye ọkwa ọzọ

• Site na oyi akwa silicon dị gịrịgịrị n'elu ya na oyi akwa oxide e liri n'okpuru ya, a na-achịkwa mmetụta obere ọwa ahụ nke ọma, na-eme ka ọ dịrị mfe ịnọgide na-enwe omume ngwaọrụ kwụsiri ike ka nodes usoro na-aga n'ihu na-ebelata.

A na-etinyelarị teknụzụ SOI n'ọtụtụ ebe. Na ngwa eletrọniki ndị ahịa, a na-eji ya na modulu RF nke ekwentị mkpanaaka, dịka nzacha 5G. Na ngwa eletrọniki ụgbọala, ọ na-enye ikpo okwu usoro kwụsiri ike maka ibe radar n'ime ụgbọala. Na ngalaba ikuku, a na-eji ya na ngwa nkwukọrịta satịlaịtị a pụrụ ịtụkwasị obi nke ukwuu. Na ngwa ahụike, SOI na-akwado imewe na mmejuputa nke ihe mmetụta ahụike a na-etinye na ụdị chips nlekota ike dị iche iche.

Ụlọ ọrụ anyị na-enye ọrụ omenala maka wafers silicon crystal nke otu kristal:

• Ọkpụrụkpụ nke ihe mkpuchi silikọn: 100 μm / 300 μm / 400 μm / 500 μm / 625 μm na karịa

• Ọkpụrụkpụ SiO₂: site na 100 nm ruo 10 μm

• Oyi akwa silicon na-arụ ọrụ: ≥ 20 nm