Kini SOI?

SOI ni kukuru funÌdènà Sílíkónì-Lórí-Ààbò. Ní tààràtà, ó túmọ̀ sí “silikoni lórí insulator.” Ní ìṣe, ìṣètò náà ni pé ìpele insulating kan wà lórí wafer silicon, lẹ́yìn náà a ó ṣe ìpele silicon tinrin kan lórí ìpele insulating yìí. Ìṣètò yìí ya ìpele silicon ti nṣiṣe lọwọ kúrò lára ​​ìpele silicon. Ṣùgbọ́n nínú ìlànà silicon ìbílẹ̀, ìpele náà ni a ń ṣẹ̀dá tààrà lórí ìpele silicon láìlo ìpele insulating.

Àpò ìfọṣọ SOIÓ ní àwọn ìpele ìṣètò pàtàkì mẹ́ta: ìpele ẹ̀rọ silikoni kan ṣoṣo, ìpele ìdáàbòbò silikoni dioxide (aṣọ tí a sin, tàbí BOX), àti ìpele silikoni kan. Papọ̀, àwọn ìpele mẹ́ta yìí ń ṣe àyíká iná mànàmáná tí ó dúró ṣinṣin tí ó sì dúró ṣinṣin, pẹ̀lú ìpele kọ̀ọ̀kan tí ó ń ṣe ipa tirẹ̀ nígbà tí ó ń ṣiṣẹ́ pọ̀ láti mú kí iṣẹ́ àti ìgbẹ́kẹ̀lé gbogbogbò pọ̀ sí i.

Ipele ohun elo silikoni kan ṣoṣo oke (ti o maa n to iwọn 5 nm si 2 μm nipọn) ni agbegbe pataki nibiti a ti n ṣe awọn transistors ati awọn ẹrọ miiran ti n ṣiṣẹ. Eto rẹ tinrin pupọ jẹ ipilẹ pataki fun imudarasi iṣẹ ẹrọ ati ṣiṣe fifawọn nigbagbogbo.

Ipele oxide (BOX) ti a sin laarin n pese iyasọtọ ina. Ipele silicon dioxide yii, ti o maa n nipọn 5 nm si 2 μm, n di asopọ ina laarin ipele ẹrọ ati ipilẹ ti o wa ni isalẹ mu daradara nipasẹ awọn ilana iyasọtọ ti ara ati kemikali.

Sọ́bìtì sílíkónì ìsàlẹ̀ náà ní pàtàkì ń pèsè ìdúróṣinṣin ìṣètò àti ìdúróṣinṣin ẹ̀rọ, èyí tí ó ń rí i dájú pé ó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé wafer nígbà tí a bá ń ṣe é àti nígbà tí a bá ń ṣiṣẹ́. Ó sábà máa ń ní ìwọ̀n 200 μm sí 700 μm, ó sì ń fúnni ní àtìlẹ́yìn ẹ̀rọ tó tó nígbà tí ó ń gba bí a ṣe lè ṣe é àti bí a ṣe lè lò ó.

Awọn anfani akọkọ ti awọn wafers SOI
1. Iyara giga

• Pẹ̀lú ìpele oxide tí a bò mọ́lẹ̀ lábẹ́ àwọn ẹ̀rọ náà, a ya àwọn transistors náà sọ́tọ̀ kúrò nínú ohun èlò silicon. Èyí dín agbára parasitic capacitance kù, ó ń yára yíyípadà, ó sì mú kí SOI dára fún ìlànà iyàrá gíga àti àwọn iyika RF.

2. Lilo Agbara Ti o Kekere

• Agbara kekere tumọ si pipadanu gbigba agbara ati idasilẹ ti o dinku.
• Àwọn ipa ọ̀nà jíjìn díẹ̀ ló máa ń mú kí agbára ìdúró (ìdúró) dínkù, èyí sì máa ń mú kí ètò náà túbọ̀ ṣiṣẹ́ dáadáa.

3. Ìyàsọ́tọ̀ Tó Dára Jù

• Ẹ̀rọ kọ̀ọ̀kan ń “jókòó” lórí ìpele oxide, èyí tí ó dín ìdènà iná mànàmáná kù gidigidi láàárín àwọn ẹ̀rọ. Èyí ń mú ìdúróṣinṣin sunwọ̀n síi nígbà tí a bá ń so àwọn àyíká analog + digital, àwọn ẹ̀rọ ìṣàkóso agbára, àti àwọn modulu RF pọ̀ lórí ìkọ́kọ́ kan náà.

4.Ìmọ́lẹ̀ àti Ìfaradà Òtútù Gíga Tí A Mú Dára Sí I

• Àwọn agbára tí ìtànṣán ń mú jáde kò ṣeé ṣe kí ó tàn káàkiri ilẹ̀ náà, èyí sì mú kí àwọn ẹ̀rọ SOI túbọ̀ ní ààbò àti ìgbẹ́kẹ̀lé nínú àwọn àyíká ìtànṣán gíga bíi afẹ́fẹ́.
• Alekun ninu isun omi ni iwọn otutu giga ko lagbara pupọ, eyiti o jẹ anfani fun awọn ohun elo itanna ọkọ ayọkẹlẹ ati awọn ohun elo iṣakoso ile-iṣẹ.

5. Ó dára fún ìtẹ̀síwájú síi

• Pẹ̀lú ìpele silikoni tín-tín tó wà ní orí àti ìpele oxide tó wà ní ìsàlẹ̀, a máa ń ṣàkóso àwọn ipa ọ̀nà kúkúrú, èyí tó mú kí ó rọrùn láti máa ṣe ìtọ́jú ìwà ẹ̀rọ tó dúró ṣinṣin bí àwọn ìpele iṣẹ́ ṣe ń dínkù.

A ti lo imọ-ẹrọ SOI kọja ọpọlọpọ awọn aaye. Ninu ẹrọ itanna onibara, a lo o ninu awọn modulu iwaju-opin RF ti awọn fonutologbolori, gẹgẹbi awọn àlẹmọ 5G. Ninu ẹrọ itanna ọkọ ayọkẹlẹ, o pese ipilẹ ilana ti o duro ṣinṣin fun awọn eerun radar ninu ọkọ. Ninu apa aerospace, a lo o ninu awọn ohun elo ibaraẹnisọrọ satẹlaiti ti o gbẹkẹle gaan. Ninu awọn ẹrọ iṣoogun, SOI ṣe atilẹyin fun apẹrẹ ati imuse awọn sensọ iṣoogun ti a le fi sii ati awọn oriṣiriṣi awọn eerun ibojuwo agbara kekere.

Ile-iṣẹ wa n pese awọn iṣẹ akanṣe aṣa fun awọn wafers onirin silikoni kan ṣoṣo:

• Sisanra sobusitireti silikoni: 100 μm / 300 μm / 400 μm / 500 μm / 625 μm ati loke

• Sisanra SiO₂: lati 100 nm si 10 μm

• Fẹ́ẹ̀lì silikoni tó ń ṣiṣẹ́: ≥ 20 nm