SOI ke eng?

SOI ke khutsufatso eaSesebelisoa sa ho Koetlisetsa sa Silicon. Ka ho toba, e bolela "silicone holim'a insulator." Ha e le hantle, sebopeho ke hore ho na le lera le tšesaane haholo la ho thibela mocheso, joalo ka SiO₂, holim'a wafer ea silicon, ebe lera le lesesaane la silicon le thehoa holim'a lera lena la ho thibela mocheso. Sebopeho sena se arola lera le sebetsang la silicon ho substrate ea silicon. Leha ho le joalo, ts'ebetsong ea silicon ea setso, chip e thehoa ka ho toba holim'a substrate ea silicon ntle le ho sebelisa lera la ho thibela mocheso.

Sejana sa SOIe entsoe ka mekhahlelo e meraro ea bohlokoa ea sebopeho: lera la sesebelisoa sa silicon sa kristale e le 'ngoe, lera la ho thibela silicon dioxide (oxide e patiloeng, kapa BOX), le substrate ea silicon. Hammoho, mekhahlelo ena e meraro e theha tikoloho ea motlakase e ikemetseng le e tsitsitseng, 'me lera ka leng le bapala karolo ea lona ha le ntse le sebetsa ka kopanelo ho ntlafatsa ts'ebetso le ts'epo ka kakaretso.

Lera le ka hodimo la sesebediswa sa silicon sa kristale e le nngwe (hangata e ka ba botenya ba 5 nm ho isa ho 2 μm) ke sebaka sa mantlha moo di-transistor le disebediswa tse ding tse sebetsang di etswang teng. Sebopeho sa yona se sesesaane haholo ke motheo wa bohlokwa bakeng sa ho ntlafatsa tshebetso ya sesebediswa le ho nolofalletsa ho hola ho tswelang pele.

Lera le bohareng la oxide e patiloeng (BOX) le fana ka karohano ea motlakase. Lera lena la silicon dioxide, leo hangata le leng botenya ba 5 nm ho isa ho 2 μm, le thibela ka katleho khokahano ea motlakase pakeng tsa lera la sesebelisoa le substrate e ka tlase ka mekhoa ea ho arohana ea 'mele le ea lik'hemik'hale.

Karolo e ka tlase ea silicon e fana haholo-holo ka ho tiea ha sebopeho le botsitso ba mechini, e netefatsang ts'epo ea wafer nakong ea tlhahiso le ts'ebetso e latelang. Botenya ba eona hangata bo pakeng tsa 200 μm le 700 μm, e fana ka tšehetso e lekaneng ea mechini ha ho ntse ho nahanoa ka litlhoko tsa ts'ebetso le ts'ebeliso.

Melemo e Meholo ea Li-wafer tsa SOI
1.Lebelo le Phahameng

• Ka lera la oxide le patiloeng ka tlas'a lisebelisoa, li-transistors li aroloa ho tloha ho substrate ea silicon. Sena se fokotsa bokhoni ba likokoana-hloko, se potlakisa ho fetoha, 'me se etsa hore SOI e lokele hantle bakeng sa lipotoloho tsa logic tse potlakileng le tsa RF.

2. Tšebeliso e Tlase ea Matla

• Bokgoni bo bonyenyane ba ho tjhaja le ho ntsha matla bo bolela tahlehelo e tlase ya ho tjhaja le ho ntsha matla.
• Litsela tse fokolang tsa ho dutla li lebisa ho fokotseng tšebeliso ea matla a sa fetoheng (a sa fetoheng), e leng se etsang hore sistimi e boloke matla hantle.

3. Ho itšehla thajana ho betere

• Sesebelisoa se seng le se seng se "dutse" hodima lera la oxide, e leng se fokotsang tšitiso ya motlakase haholo pakeng tsa disebediswa. Sena se ntlafatsa botsitso ha ho kopanngwa dipotoloho tsa analog + dijithale, diyuniti tsa taolo ya matla, le di-module tsa RF ho chip e le nngwe.

4. Mahlaseli a Ntlafetseng le Mamello e Phahameng ea Mocheso

• Litefiso tse hlahisoang ke mahlaseli a kotsi ha li na monyetla o moholo oa ho hasana ka har'a substrate, e leng se etsang hore lisebelisoa tsa SOI li bolokehe haholoanyane 'me li tšepahale haholoanyane libakeng tse nang le mahlaseli a mangata a kotsi joalo ka sefofane.
• Keketseho ea phallo ea metsi a lutlang mochesong o phahameng ha e mpe hakaalo, e leng se molemo bakeng sa lisebelisoa tsa elektroniki tsa likoloi le lits'ebetso tsa taolo ea indasteri.

5. E ntle bakeng sa ho eketsa tekanyo

• Ka lera le lesesaane haholo la silicon holimo le lera la oxide e patiloeng ka tlase, litlamorao tsa kanale e khuts'oane li laoloa hamolemo, e leng se etsang hore ho be bonolo ho boloka boits'oaro bo tsitsitseng ba sesebelisoa ha li-node tsa ts'ebetso li ntse li fokotseha.

Theknoloji ea SOI e se e sebelisitsoe masimong a mangata. Lisebelisoang tsa elektroniki tsa bareki, e sebelisoa li-module tsa RF tsa li-smartphone, joalo ka li-filter tsa 5G. Lisebelisoang tsa elektroniki tsa likoloi, e fana ka sethala se tsitsitseng sa ts'ebetso bakeng sa li-chip tsa radar tse ka hare ho koloi. Lefapheng la lifofane, e sebelisoa lisebelisoa tsa puisano tsa sathelaete tse tšepahalang haholo. Lisebelisoang tsa bongaka, SOI e tšehetsa moralo le ts'ebetsong ea li-sensor tsa bongaka tse ka kenngoang le mefuta e fapaneng ea li-chip tsa tlhokomelo tse nang le matla a tlase.

Khamphani ea rona e fana ka merero e ikhethileng bakeng sa li-wafer tsa silicon tse tsamaisang kristale e le 'ngoe:

• Botenya ba substrate ea silicon: 100 μm / 300 μm / 400 μm / 500 μm / 625 μm le ho feta

• Botenya ba SiO₂: ho tloha ho 100 nm ho isa ho 10 μm

• Lera la silicon le sebetsang: ≥ 20 nm