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탄소/탄소 복합재(이하 “라고 함)C/C 또는 CFC”탄소섬유 강화 복합재료는 탄소를 주재료로 하고 탄소섬유 및 그 제품(탄소섬유 프리폼)으로 보강한 재료입니다. 탄소의 관성 및 탄소섬유의 고강도를 모두 갖추고 있으며, 우수한 기계적 특성, 내열성, 내식성, 마찰 감쇠 특성, 열 및 전기 전도성을 나타냅니다.
CVD-SiC코팅은 균일한 구조, 치밀한 재질, 고온 저항성, 산화 저항성, 고순도, 내산성 및 내알칼리성, 유기 시약 저항성 등의 특성을 가지며, 물리적 및 화학적 특성이 안정적입니다.
고순도 흑연 소재와 비교했을 때, 흑연은 400℃에서 산화되기 시작하여 산화로 인한 분말 손실을 초래하고, 주변 장치 및 진공 챔버의 환경 오염을 유발하며, 고순도 환경의 불순물 함량을 증가시킵니다.
하지만 SiC 코팅은 1600도에서도 물리적, 화학적 안정성을 유지할 수 있어 현대 산업, 특히 반도체 산업에서 널리 사용되고 있습니다.
당사는 CVD 방식을 이용하여 흑연, 세라믹 및 기타 소재 표면에 SiC 코팅 공정 서비스를 제공합니다. 이 방식은 탄소와 실리콘을 함유한 특수 가스가 고온에서 반응하여 고순도 SiC 분자를 생성하고, 이 분자들이 코팅 소재 표면에 증착되어 SiC 보호층을 형성하는 것입니다. 형성된 SiC는 흑연 기판에 단단히 결합되어 흑연에 특수한 성질을 부여함으로써 흑연 표면을 치밀하고 기공이 없으며 고온, 부식 및 산화에 대한 저항성을 갖도록 합니다.

주요 특징:
1. 고온 산화 저항성:
산화 저항성은 섭씨 1600도에 달하는 고온에서도 여전히 매우 우수합니다.
2. 고순도: 고온 염소화 조건에서 화학 기상 증착법으로 제조.
3. 내식성: 높은 경도, 치밀한 표면, 미세 입자.
4. 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 대한 내성.
CVD-SIC 코팅의 주요 사양:
| SiC-CVD | ||
| 밀도 | (g/cc)
| 3.21 |
| 굽힘 강도 | (엠파)
| 470 |
| 열팽창 | (10-6/K) | 4
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| 열전도율 | (와트/밀리켈빈) | 300
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