ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກ Wafer AlN Alumina Heating Element
ໃນການຜະລິດ semiconductor, wafers ຕ້ອງໄດ້ຮັບການປຸງແຕ່ງໃນຂະບວນການຕ່າງໆ, ເຊັ່ນ: ການຝາກຮູບເງົາບາງໆ, etching, ແລະອື່ນໆ. ໃນການເຊື່ອມຕໍ່ເຫຼົ່ານີ້, wafers ຕ້ອງໄດ້ຮັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນກັບອຸນຫະພູມທີ່ແນ່ນອນ, ແລະມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຄັ່ງຄັດສໍາລັບອຸນຫະພູມ, ເນື່ອງຈາກວ່າຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸນຫະພູມມີຜົນກະທົບທີ່ສໍາຄັນຫຼາຍຕໍ່ຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ, ແລະອົງປະກອບຂອງຄວາມຮ້ອນແມ່ນຂາດບໍ່ໄດ້.
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍກົງກັບສະພາການຂະບວນການແລະຢູ່ໃນການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບ wafer ໄດ້. ພວກເຂົາບໍ່ພຽງແຕ່ປະຕິບັດ wafer, ແຕ່ຍັງຮັບປະກັນວ່າ wafer ໄດ້ຮັບອຸນຫະພູມຂະບວນການທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເປັນເອກະພາບ. ພວກມັນເປັນສ່ວນປະກອບຫຼັກໃນອຸປະກອນການຝາກຮູບເງົາບາງໆ semiconductor!
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກປະກອບມີພື້ນຖານເຊລາມິກທີ່ສະຫນັບສະຫນູນ wafer ແລະຮ່າງກາຍສະຫນັບສະຫນູນເປັນຮູບທໍ່ກົມຢູ່ດ້ານຫລັງທີ່ສະຫນັບສະຫນູນມັນ. ນອກເຫນືອໄປຈາກອົງປະກອບຄວາມຕ້ານທານ (ຊັ້ນຄວາມຮ້ອນ) ສໍາລັບການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ຍັງມີ electrodes ຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ (ຊັ້ນ RF) ພາຍໃນຫຼືຢູ່ດ້ານຂອງພື້ນຖານ ceramic. ເພື່ອບັນລຸການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາ, ຄວາມຫນາຂອງພື້ນຖານເຊລາມິກຄວນຈະເປັນບາງໆ, ແຕ່ບາງໆເກີນໄປກໍ່ຈະຫຼຸດລົງຄວາມເຂັ້ມງວດ.
ການສະຫນັບສະຫນູນຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກໂດຍທົ່ວໄປແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຄ້າຍຄືກັນກັບພື້ນຖານ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນໄດ້ຮັບຮອງເອົາໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງສ່ວນລຸ່ມຮ່ວມກັນຂອງ shaft ເພື່ອປົກປ້ອງ terminals ແລະສາຍໄຟຈາກຜົນກະທົບຂອງ plasma ແລະທາດອາຍຜິດສານເຄມີ corrosive. ສະຫນັບສະຫນູນແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີ inlet ອາຍແກັສໂອນຄວາມຮ້ອນແລະທໍ່ outlet ເພື່ອຮັບປະກັນອຸນຫະພູມເປັນເອກະພາບຂອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ. ພື້ນຖານແລະການສະຫນັບສະຫນູນໄດ້ຖືກຜູກມັດທາງເຄມີທີ່ມີຊັ້ນຜູກມັດ.
ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກສາມາດເຮັດດ້ວຍເຊລາມິກເຊັ່ນອາລູມິນຽມ nitride (AlN), ຊິລິຄອນ nitride (Si3N4), ແລະອາລູມິນຽມ (Al2O3). ໃນບັນດາພວກເຂົາ, AlN ແມ່ນທາງເລືອກທີ່ດີທີ່ສຸດສໍາລັບເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນເຊລາມິກ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບວັດສະດຸອື່ນໆ, ເຊລາມິກ AlN ຂອງ VET Energy ມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
(1) ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ;
(2) ຈັບຄູ່ຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນກັບວັດສະດຸຊິລິຄອນ semiconductor;
(3) ຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ແລະຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ສົມບູນແບບແມ່ນດີກວ່າ beryllium oxide ແລະທຽບເທົ່າກັບອາລູມິນຽມ oxide;
(4) ຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ສົມບູນແບບທີ່ດີເລີດ, insulation ໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດແລະການສູນເສຍ dielectric ຕ່ໍາ;
(5) ບໍ່ມີສານພິດແລະເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມ.
ແຜ່ນຂໍ້ມູນຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກ
| ລາຍການ | 95% ອາລູມິນຽມ | 99% Alumina | Zirconia | ຊິລິໂຄນຄາໄບ | ຊິລິໂຄນNitride | ອາລູມີນຽມNitride |
| ສີ | ສີຂາວ | ສີເຫຼືອງອ່ອນ | ສີຂາວ | ສີດໍາ | ສີດໍາ | ສີເທົາ |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm3) | 3.7g/ຊມ3 | 3.9g/ຊມ3 | 6.02g/ຊມ3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/ຊມ3 | 3.2g/cm3 |
| ການດູດຊຶມນ້ໍາ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ຄວາມແຂງ(HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| ຄວາມແຮງ Flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| ຄວາມແຮງບີບອັດ (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| ໂມດູນອ່ອນຂອງຄວາມຍືດຍຸ່ນ | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290Gpa | 310-350GPa |
| ອັດຕາສ່ວນຂອງ Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Dielectric | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ |
| ຄວາມຕ້ານທານຂອງປະລິມານ (25 ℃) | >1014Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ | >105Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ |
VET Energy ເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບທີ່ສຸມໃສ່ R&D ແລະການຜະລິດວັດສະດຸຂັ້ນສູງເຊັ່ນ graphite, silicon carbide, quartz, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການປິ່ນປົວວັດສະດຸເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ເຄືອບແກ້ວກາກບອນ, ການເຄືອບຄາບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ. ຜະລິດຕະພັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ photovoltaic, semiconductor, ພະລັງງານໃຫມ່, metallurgy, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງພະລັງງານ VET ປະກອບມີ:
•ໂຮງງານຂອງຕົນເອງແລະຫ້ອງທົດລອງມືອາຊີບ;
•ລະດັບຄວາມບໍລິສຸດຊັ້ນນໍາໃນອຸດສາຫະກໍາແລະຄຸນນະພາບ;
•ລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ & ເວລາການຈັດສົ່ງໄວ;
• ການຮ່ວມມືຫຼາຍດ້ານອຸດສາຫະກໍາທົ່ວໂລກ;
ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານແລະຫ້ອງທົດລອງຂອງພວກເຮົາໄດ້ທຸກເວລາ!
