Advanced Porous Ceramic Vacuum Chuck
Porous Ceramic Vacuum Chuckເປັນແພລະຕະຟອມທີ່ຮັບຜິດຊອບການໂຫຼດທີ່ນໍາໃຊ້ຫຼັກການຂອງການດູດຊຶມສູນຍາກາດເພື່ອແກ້ໄຂ workpieces. ພາກສ່ວນຂອງ chuck ສູນຍາກາດທີ່ສົ່ງສູນຍາກາດເປັນແຜ່ນ ceramic porous. ແຜ່ນເຊລາມິກ porous ແມ່ນປະກອບຢູ່ໃນຂຸມຈົມຂອງຖານ, ແລະ periphery ຂອງມັນແມ່ນຜູກມັດແລະຜະນຶກເຂົ້າກັນກັບຖານ. ພື້ນຖານແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸເຊລາມິກຫຼືໂລຫະທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ. ໂດຍການສົມທົບພື້ນຖານໂລຫະຫຼືເຊລາມິກທີ່ມີເຊລາມິກທີ່ມີ porous ພິເສດ, ການອອກແບບຂອງທໍ່ອາກາດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາພາຍໃນຊ່ວຍໃຫ້ການຍຶດຫມັ້ນຂອງຊິ້ນວຽກທີ່ລຽບແລະຫມັ້ນຄົງກັບຖ້ວຍດູດສູນຍາກາດເມື່ອຖືກຄວາມກົດດັນທາງລົບ.
ເນື່ອງຈາກມີຮູຂຸມຂົນທີ່ລະອຽດອ່ອນໃນເຊລາມິກທີ່ມີຮູຂຸມຂົນ, ພື້ນຜິວຂອງຊິ້ນວຽກສາມາດຕິດກັບຖ້ວຍດູດສູນຍາກາດໂດຍບໍ່ມີປັດໃຈທີ່ບໍ່ດີເຊັ່ນຮອຍຂີດຂ່ວນຫຼືຮອຍແຕກທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນທາງລົບ.
ຄຸນລັກສະນະຂອງ Porous Ceramic Vacuum Chuck:
① ໂຄງສ້າງທີ່ຫນາແຫນ້ນ & ເປັນເອກະພາບ: ຕ້ານການດູດຊຶມຂອງຝຸ່ນຊິລິຄອນ / ຂັດຂີ້ເຫຍື້ອ, ງ່າຍຕໍ່ການເຮັດຄວາມສະອາດ.
② ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະການທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່: ບໍ່ມີການເສຍຮູບພາບໃນລະຫວ່າງການປີ້ງ, ຫຼຸດຜ່ອນການແຕກ / fragmentation ຂອງແຂບ.
③ ອາຍຸຍືນ: ການຮັກສາຮູບຮ່າງຫນ້າດິນທີ່ດີເລີດ, ວົງຈອນການແຕ່ງຕົວຍາວທີ່ມີການໂຍກຍ້າຍຫນ້ອຍທີ່ສຸດ.
④ insulation ສູງ: ກໍາຈັດໄຟຟ້າສະຖິດ.
⑤ ໃຊ້ຄືນໄດ້ແລະງ່າຍທີ່ຈະນຸ່ງຫົ່ມ: ບໍ່ມີຮອຍແຕກ / chipping ໃນລະຫວ່າງການ resurfacing, ສາມາດນໍາໃຊ້ຄືນໄດ້ຫຼາຍ.
⑥ ບໍ່ຂີ້ຝຸ່ນ & ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງ: sintered ຢ່າງເຕັມສ່ວນ, ບໍ່ມີອະນຸພາກການປ່ອຍອາຍພິດ.
⑦ ນ້ໍາຫນັກເບົາ: ໂຄງສ້າງທີ່ມີຮູຂຸມຂົນຫຼຸດລົງນ້ໍາຫນັກຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.
⑧ ຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີ: ການປັບແຕ່ງສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ໂດຍຜ່ານການຄວບຄຸມອຸປະກອນ / ຂະບວນການ.
Ceramic Vacuum Chuck VS ຖ້ວຍດູດໂລຫະແບບດັ້ງເດີມ:
ເຊລາມິກສູນຍາກາດ chuck ໃນພາກສະຫນາມ semiconductor
chucks ສູນຍາກາດເຊລາມິກເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນເຄື່ອງຍຶດແລະຖືໃນການຜະລິດ semiconductor wafer. ພວກມັນມີລັກສະນະຮາບພຽງແລະຂະຫນານສູງ, ໂຄງສ້າງທີ່ຫນາແຫນ້ນແລະເປັນເອກະພາບ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ລະບາຍອາກາດໄດ້ດີ, ແຮງດູດຊຶມເປັນເອກະພາບ, ແລະການນຸ່ງງ່າຍ. ຄຸນລັກສະນະເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເຫມາະສົມສໍາລັບຂະບວນການໃນການຜະລິດ wafer semiconductor ເຊັ່ນ: ບາງໆ, slicing, grinding, cleaning, and handling. ພວກມັນແກ້ໄຂບັນຫາສິ່ງທ້າທາຍຕ່າງໆເຊັ່ນການພິມ wafer, ການແຍກໄຟຟ້າສະຖິດຂອງຊິບ, ແລະການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ, ບັນລຸຄຸນນະພາບການປຸງແຕ່ງທີ່ສູງທີ່ສຸດສໍາລັບ wafers semiconductor ໃນການປະຕິບັດຕົວຈິງ.
ແຜ່ນຂໍ້ມູນຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກ
| ລາຍການ | 95% ອາລູມິນຽມ | 99% Alumina | Zirconia | ຊິລິໂຄນຄາໄບ | ຊິລິໂຄນNitride | ອາລູມີນຽມNitride |
| ສີ | ສີຂາວ | ສີເຫຼືອງອ່ອນ | ສີຂາວ | ສີດໍາ | ສີດໍາ | ສີເທົາ |
| ຄວາມໜາແໜ້ນ (g/cm3) | 3.7g/ຊມ3 | 3.9g/ຊມ3 | 6.02g/ຊມ3 | 3.2g/cm3 | 3.25g/ຊມ3 | 3.2g/cm3 |
| ການດູດຊຶມນ້ໍາ | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| ຄວາມແຂງ(HV) | 23.7 | 23.7 | 16.5 | 33 | 20 | - |
| ຄວາມແຮງ Flexural (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| ຄວາມແຮງບີບອັດ (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| ໂມດູນອ່ອນຂອງຄວາມຍືດຍຸ່ນ | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290Gpa | 310-350GPa |
| ອັດຕາສ່ວນຂອງ Poisson | 0.23 | 0.23 | 0.25 | 0.14 | 0.24 | 0.24 |
| ການນໍາຄວາມຮ້ອນ | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Dielectric | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ | 14KV/ມມ |
| ຄວາມຕ້ານທານຂອງປະລິມານ (25 ℃) | >1014Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ | >105Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ | >1014Ω·ຊມ |
VET Energy ເປັນຜູ້ຜະລິດມືອາຊີບທີ່ສຸມໃສ່ R&D ແລະການຜະລິດວັດສະດຸຂັ້ນສູງເຊັ່ນ graphite, silicon carbide, quartz, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການປິ່ນປົວວັດສະດຸເຊັ່ນ: ການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC, ເຄືອບແກ້ວກາກບອນ, ການເຄືອບຄາບອນ pyrolytic, ແລະອື່ນໆ. ຜະລິດຕະພັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ photovoltaic, semiconductor, ພະລັງງານໃຫມ່, metallurgy, ແລະອື່ນໆ.
ທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາມາຈາກສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາພາຍໃນປະເທດຊັ້ນນໍາ, ສາມາດສະຫນອງການແກ້ໄຂອຸປະກອນການເປັນມືອາຊີບຫຼາຍສໍາລັບທ່ານ.
ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງພະລັງງານ VET ປະກອບມີ:
•ໂຮງງານຂອງຕົນເອງແລະຫ້ອງທົດລອງມືອາຊີບ;
•ລະດັບຄວາມບໍລິສຸດຊັ້ນນໍາໃນອຸດສາຫະກໍາແລະຄຸນນະພາບ;
•ລາຄາທີ່ແຂ່ງຂັນ & ເວລາການຈັດສົ່ງໄວ;
• ການຮ່ວມມືຫຼາຍດ້ານອຸດສາຫະກໍາທົ່ວໂລກ;
ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບທ່ານໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານແລະຫ້ອງທົດລອງຂອງພວກເຮົາໄດ້ທຸກເວລາ!
