Επίστρωση SiC/Υπόστρωμα/Δίσκος με επίστρωση γραφίτη για ημιαγωγούς

Σύντομη Περιγραφή:

Το VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor για Επιταξιακή Ανάπτυξη είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για να παρέχει συνεπή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα. Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα και αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το την ιδανική λύση για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων.


Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Επίστρωση/επικάλυψη SiC γραφιτικού υποδοχέα για ημιαγωγούς
 
ΟΥπόστρωμα γραφίτη με επικάλυψη SiCείναι μια εξαιρετικά ανθεκτική και αποτελεσματική λύση σχεδιασμένη να καλύπτει τις αυστηρές απαιτήσεις της βιομηχανίας επεξεργασίας ημιαγωγών. Διαθέτει ένα στρώμα υψηλής καθαρότηταςεπίστρωση καρβιδίου του πυριτίου (SiC), αυτό το υπόστρωμα προσφέρει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, αντοχή στην οξείδωση και παρατεταμένη διάρκεια ζωής, καθιστώντας το ιδανικό για εφαρμογές σε διεργασίες MOCVD, φορείς πλακιδίων γραφίτη και άλλα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.

 Χαρακτηριστικά: 
· Άριστη αντοχή σε θερμικό σοκ
· Άριστη φυσική αντοχή σε κραδασμούς
· Εξαιρετική χημική αντοχή
· Υπερυψηλής καθαρότητας
· Διαθεσιμότητα σε Σύνθετο Σχήμα
·Χρησιμοποιήσιμο υπό οξειδωτική ατμόσφαιρα

Εφαρμογή:

3

Χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα προϊόντος:

1. Ανώτερη θερμική αντίσταση:Με υψηλή καθαρότηταΕπίστρωση SiC, το υπόστρωμα αντέχει σε ακραίες θερμοκρασίες, εξασφαλίζοντας σταθερή απόδοση σε απαιτητικά περιβάλλοντα όπως η επιταξία και η κατασκευή ημιαγωγών.

2. Βελτιωμένη ανθεκτικότητα:Τα εξαρτήματα γραφίτη με επικάλυψη SiC έχουν σχεδιαστεί για να αντιστέκονται στη χημική διάβρωση και την οξείδωση, αυξάνοντας τη διάρκεια ζωής του υποστρώματος σε σύγκριση με τα τυπικά υποστρώματα γραφίτη.

3. Γραφίτης με επικάλυψη υαλοειδούς:Η μοναδική υαλώδης δομή τουΕπίστρωση SiCπαρέχει εξαιρετική σκληρότητα επιφάνειας, ελαχιστοποιώντας τη φθορά κατά την επεξεργασία σε υψηλές θερμοκρασίες.

4. Επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας:Το υπόστρωμά μας εξασφαλίζει ελάχιστη μόλυνση σε ευαίσθητες διεργασίες ημιαγωγών, προσφέροντας αξιοπιστία για βιομηχανίες που απαιτούν αυστηρή καθαρότητα υλικού.

5. Ευρεία εφαρμογή αγοράς:ΟΕπιδέκτης γραφίτη με επικάλυψη SiCΗ αγορά συνεχίζει να αναπτύσσεται καθώς αυξάνεται η ζήτηση για προηγμένα προϊόντα με επικάλυψη SiC στην κατασκευή ημιαγωγών, γεγονός που καθιστά αυτό το υπόστρωμα βασικό παράγοντα τόσο στην αγορά φορέων πλακιδίων γραφίτη όσο και στην αγορά δίσκων γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου του πυριτίου.

Τυπικές ιδιότητες του υλικού βάσης γραφίτη:

Φαινομενική πυκνότητα: 1,85 g/cm3
Ηλεκτρική αντίσταση: 11 μΩ
Κάμψης Αντοχή: 49 MPa (500kgf/cm2)
Σκληρότητα ακτής: 58
Φλαμουριά: <5ppm
Θερμική αγωγιμότητα: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

Καρδιαγγειακά νοσήματα SiC薄膜基本物理性能

Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση

性质 / Ιδιοκτησία

典型数值 / Τυπική τιμή

晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή

FCC β φάση 多晶,主要为(111)取向

密度 / Πυκνότητα

3,21 g/cm³

硬度 / Σκληρότητα

2500 维氏硬度 (500 g φορτίο)

晶粒大小 / Grain SiZe

2~10μm

纯度 / Χημική Καθαρότητα

99,99995%

热容 / Θερμοχωρητικότητα

640 J·kg-1·Κ-1

升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης

2700℃

抗弯强度 / Καμπτική αντοχή

415 MPa RT 4 σημείων

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃

导热系数 / Θερμική αγωγιμότητα

300W·m-1·Κ-1

热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου κατά παραγγελία με διαφορετικές επιστρώσεις όπως επίστρωση SiC, επίστρωση TaC, επίστρωση υαλώδους άνθρακα, επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα κ.λπ., και μπορεί να προμηθεύσει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για τη βιομηχανία ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών.

Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να σας προσφέρει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικών.

Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για να παρέχουμε πιο προηγμένα υλικά και έχουμε αναπτύξει μια αποκλειστική, κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφθείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος:

  • Διαδικτυακή συνομιλία μέσω WhatsApp!