Δίσκος επιταξιακών φύλλων καρβιδίου πυριτίου για επιταξιακό φούρνο ημιαγωγών

Σύντομη Περιγραφή:

Ο δίσκος επιταξιακών φύλλων VET Energy από καρβίδιο πυριτίου είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για να παρέχει συνεπή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα. Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα και αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας τον την ιδανική λύση για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων.


Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Επαγωγείς SiC1
Επαγωγείς SiC2

Ο δίσκος φύλλων καρβιδίου του πυριτίου είναι ένα βασικό εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών. Χρησιμοποιούμε την κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία μας για να κατασκευάσουμε τον δίσκο φύλλων καρβιδίου του πυριτίου με εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, καλή ομοιομορφία επίστρωσης και εξαιρετική διάρκεια ζωής, καθώς και υψηλές ιδιότητες χημικής αντοχής και θερμικής σταθερότητας.

Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου κατά παραγγελία με διαφορετικές επιστρώσεις όπως SiC, Tac, πυρολυτικός άνθρακας, υαλώδης άνθρακας κ.λπ., και μπορεί να προμηθεύσει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για τη βιομηχανία ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών. Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα και μπορεί να σας προσφέρει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικών.

Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για να παρέχουμε πιο προηγμένα υλικά και έχουμε αναπτύξει μια αποκλειστική, κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.

Χαρακτηριστικά των προϊόντων μας:

1. Αντοχή στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία έως 1700℃.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία
3. Άριστη αντοχή στη διάβρωση: όξινα, αλκαλικά, αλατισμένα και οργανικά αντιδραστήρια.

4. Υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
5. Μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και πιο ανθεκτικός

Καρδιαγγειακά νοσήματα SiC薄膜基本物理性能

Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση

性质 / Ακίνητα

典型数值 / Τυπική τιμή

晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή

Φάση β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Πυκνότητα

3,21 g/cm³

硬度 / Σκληρότητα

2500 维氏硬度 (500 g φορτίο)

晶粒大小 / Μέγεθος κόκκων

2~10μm

纯度 / Χημική Καθαρότητα

99,99995%

热容 / Θερμοχωρητικότητα

640 J·kg-1·Κ-1

升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης

2700℃

抗弯强度 / Αντοχή σε κάμψη

415 MPa RT 4 σημείων

杨氏模量 / Μέτρο ελαστικότητας του Young

430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃

导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο

300W·m-1·Κ-1

热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφθείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος:

  • Διαδικτυακή συνομιλία μέσω WhatsApp!