Σκάφος Wafer Quartzείναι ένα βασικό εργαλείο μεταφοράς στην κατασκευή ημιαγωγών, την παραγωγή φωτοβολταϊκών κυψελών και την έρευνα και ανάπτυξη προηγμένων υλικών, σχεδιασμένο για σταθερή μεταφορά και τοποθέτηση πλακιδίων σε διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας. Αυτό το προϊόν είναι κατασκευασμένο από εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας τηγμένο διοξείδιο του πυριτίου (SiO2), με εξαιρετική αντοχή στη θερμοκρασία, χημική σταθερότητα και εξαιρετικά χαμηλά χαρακτηριστικά μόλυνσης μετάλλων, κατάλληλο για φούρνο διάχυσης, φούρνο οξείδωσης, PECVD/LPCVD και άλλο εξοπλισμό, που χρησιμοποιείται ευρέως στην επικάλυψη πλακιδίων, στην εμφύτευση ιόντων, στην ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας και σε άλλες βασικές διεργασίες.
Τα βασικά πλεονεκτήματα του σκάφους χαλαζία της VET Energy:
- Υλικό εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας
Καθαρότητα ≥99,99%: Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες (Na, K, Fe, κ.λπ.) <5ppm, αποφεύγοντας τη μόλυνση από πλακίδια και εξασφαλίζοντας την απόδοση των τσιπ.
Χαμηλή καθίζηση και προσρόφηση: η επιφάνεια είναι υπερ-γυαλισμένη (Ra≤0,4μm) για τη μείωση της προσκόλλησης σωματιδίων και των υπολειμμάτων αερίων. - Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία
Όριο θερμοκρασίας: Μακροπρόθεσμη θερμοκρασία λειτουργίας 1100℃, βραχυπρόθεσμη κορυφή 1300℃, χωρίς παραμόρφωση, χωρίς καθίζηση κρυστάλλων.
Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (5.5x10-7/℃), εξαιρετική αντοχή σε θερμικό σοκ, προσαρμόσιμο σε ταχεία άνοδο και πτώση της θερμοκρασίας (π.χ. ταχεία ανόπτηση RTP). - Ακριβής δομικός σχεδιασμός
Ακρίβεια αυλάκωσης ± 0,1 mm: αντιστοίχιση πλακιδίων 2" έως 12", σφάλμα ομοιομορφίας απόστασης <0,05 mm, εξασφαλίζοντας ότι τα πλακίδια δεν έχουν μετατόπιση.
Υψηλή χωρητικότητα φορτίου: Μέγιστο φορτίο 50 πλακιδίων (σε όρους πλακιδίων 12") σε ένα μόνο σκάφος, υποστηρίζοντας σταθερή μεταφορά λεπτών πλακιδίων (≥100um). - Χημική αδράνεια
Αντοχή στη διάβρωση: Ανθεκτικό στη διάβρωση από οξύ (εκτός από HF), αλκάλια και οργανικούς διαλύτες, συμβατό με τη διαδικασία καθαρισμού CMP.
Εξαιρετική στεγανότητα αερίου: Ρυθμός διαρροής <5x10-10 Pa.m3/s, κατάλληλο για περιβάλλοντα κενού και προστατευτικού αερίου. - Μεγάλη διάρκεια ζωής και συντηρησιμότητα
Προσδόκιμο ζωής ≥ 5000 κύκλοι (κανονικές συνθήκες εργασίας), η επιφάνεια μπορεί να καθαριστεί και να χρησιμοποιηθεί επανειλημμένα, μειώνοντας το συνολικό κόστος.
Αρθρωτός σχεδιασμός: υποστηρίζει μερική αντικατάσταση (π.χ. μεμονωμένο δόντι σκάφους), μειώνοντας τον χρόνο διακοπής λειτουργίας.
Προσφέρουμε διαφανείς και γυαλισμένες επιφάνειες σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη:
Η Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd είναι μια επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας που επικεντρώνεται στην παραγωγή και πώληση προηγμένων υλικών υψηλής τεχνολογίας, τα οποία περιλαμβάνουν γραφίτη, καρβίδιο του πυριτίου, κεραμικά, επιφανειακή επεξεργασία όπως επίστρωση SiC, επίστρωση TaC, επίστρωση υαλώδους άνθρακα, πυρολυτική επίστρωση άνθρακα κ.λπ., τα οποία χρησιμοποιούνται ευρέως σε φωτοβολταϊκά, ημιαγωγούς, νέες πηγές ενέργειας, μεταλλουργία κ.λπ.
Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα και έχει αναπτύξει πολλαπλές κατοχυρωμένες με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογίες για να διασφαλίσει την απόδοση και την ποιότητα των προϊόντων, ενώ μπορεί επίσης να παρέχει στους πελάτες επαγγελματικές λύσεις υλικών.
