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MOCVD用長寿命SiCコーティンググラファイトヒーター K465i
グラファイトヒーター部品は、真空環境では 2200 度、脱酸素および挿入ガス環境では 3000 度に達する高温炉で使用されます。
グラファイトヒーターの主な特徴:
1.加熱構造の均一性。
2. 優れた電気伝導性と高い電気負荷。
3. 耐食性。
4. 酸化されない性質。
5. 高い化学純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスの手間が少ないことです。
当社では、酸化防止性と長寿命性を備えたグラファイトるつぼ、グラファイト鋳型、グラファイトヒーターの全部品を生産できます。
グラファイトヒーターの主なパラメータ:
| 技術仕様 | VET-M3 |
| 嵩密度(g/cm3) | ≥1.85 |
| 灰分含有量(PPM) | ≤500 |
| ショア硬度 | ≥45 |
| 比抵抗(μ.Ω.m) | ≤12 |
| 曲げ強度(Mpa) | ≥40 |
| 圧縮強度(Mpa) | ≥70 |
| 最大粒径(μm) | ≤43 |
| 熱膨張係数 mm/°C | ≤4.4*10-6 |
電気炉用グラファイトヒーターは、耐熱性、耐酸化性、良好な導電性、優れた機械的強度といった特性を備えています。お客様の設計に応じて、様々なタイプのグラファイトヒーターを加工可能です。

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