当社は、グラファイト、セラミックス、その他の材料の表面にCVD法によるSiCコーティング加工サービスを提供しています。この加工では、炭素とシリコンを含む特殊なガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を生成し、その分子をコーティング対象材料の表面に堆積させることで、SiC保護層を形成します。
主な特徴：
1. 高温酸化耐性：
1600℃という高温でも、酸化耐性は非常に良好です。
2. 高純度：高温塩素化条件下での化学気相堆積法により製造。
3. 耐侵食性：高硬度、緻密な表面、微細粒子。
4. 耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
CVD-SICコーティングの主な仕様：
| SiC-CVD特性 | ||
| 結晶構造 | FCC β相 | |
| 密度 | g/cm³ | 3.21 |
| 硬度 | ビッカース硬度 | 2500 |
| 粒度 | μm | 2～10 |
| 化学的純度 | % | 99.99995 |
| 熱容量 | J・kg⁻¹-1・K-1 | 640 |
| 昇華温度 | C | 2700 |
| 屈曲強度 | MPa（RT 4点） | 415 |
| ヤング率 | Gpa（4点曲げ、1300℃） | 430 |
| 熱膨張係数（CTE） | 10-6K-1 | 4.5 |
| 熱伝導率 | （W/mK） | 300 |
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