当社は、CVD法によってグラファイト、セラミックスなどの材料の表面にSiCコーティング処理サービスを提供しています。炭素とシリコンを含む特殊なガスが高温で反応して高純度のSiC分子が得られ、その分子がコーティングされた材料の表面に堆積してSiC保護層を形成します。
主な特徴:
1. 高温酸化耐性：
温度が 1600 ℃ まで上昇しても、耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度：高温塩素化条件下での化学蒸着により製造されます。
3. 耐侵食性：高硬度、緻密な表面、微粒子。
4. 耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
CVD-SICコーティングの主な仕様：
| SiC-CVD特性 | ||
| 結晶構造 | FCCβ相 | |
| 密度 | g/cm³ | 3.21 |
| 硬度 | ビッカース硬度 | 2500 |
| 粒度 | μm | 2～10 |
| 化学純度 | % | 99.99995 |
| 熱容量 | J·kg-1·K-1 | 640 |
| 昇華温度 | ℃ | 2700 |
| 屈曲強度 | MPa（RT 4点） | 415 |
| ヤング率 | Gpa（4点曲げ、1300℃） | 430 |
| 熱膨張（CTE） | 10-6K-1 | 4.5 |
| 熱伝導率 | （W/mK） | 300 |
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