세라믹 웨이퍼 히터 AlN 알루미나 히터 소자

세라믹 웨이퍼 히터 AlN 알루미나 히터 소자
반도체 제조에서는 웨이퍼를 박막 증착, 에칭 등 다양한 공정을 거쳐 가공해야 합니다. 이러한 공정에서 웨이퍼는 일정한 온도까지 가열되어야 하며, 온도에 대한 엄격한 요구 사항이 있습니다. 온도의 균일성은 제품 수율에 매우 중요한 영향을 미치기 때문에 가열 부품은 필수적입니다.

세라믹 히터공정 챔버에 직접 적용되어 웨이퍼와 직접 접촉합니다. 웨이퍼를 운반할 뿐만 아니라 웨이퍼가 안정적이고 균일한 공정 온도를 유지하도록 보장합니다. 반도체 박막 증착 장비의 핵심 부품입니다!

세라믹 히터는 웨이퍼를 지지하는 세라믹 베이스와 이를 지지하는 후면의 원통형 지지체로 구성됩니다. 가열을 위한 저항 소자(가열층) 외에도 세라믹 베이스 내부 또는 표면에는 고주파 전극(RF층)이 있습니다. 빠른 가열 및 냉각을 위해서는 세라믹 베이스의 두께가 얇아야 하지만, 너무 얇으면 강성이 저하됩니다.

세라믹 히터의 지지대는 일반적으로 베이스와 유사한 열팽창 계수를 가진 세라믹 재질로 제작됩니다. 히터는 플라즈마 및 부식성 화학 가스의 영향으로부터 단자와 전선을 보호하기 위해 샤프트 접합부 바닥의 독특한 구조를 채택합니다. 지지대에는 히터의 균일한 온도를 보장하기 위해 열전달 가스 유입구 및 배출구 파이프가 장착되어 있습니다. 베이스와 지지대는 접착층으로 화학적으로 결합됩니다.

세라믹 히터는 질화알루미늄(AlN), 질화규소(Si3N4), 알루미나(Al2O3)와 같은 세라믹으로 제작될 수 있습니다. 그중에서도 AlN은 세라믹 히터에 가장 적합합니다. VET Energy의 AlN 세라믹은 다른 소재와 비교하여 다음과 같은 특성을 가지고 있습니다.
(1) 좋은 열전도도
(2) 반도체 실리콘 소재에 맞는 열팽창계수
(3) 기계적 성질이 양호하고 내마모성이 우수하며 종합적인 기계적 성질이 산화베릴륨보다 우수하고 산화알루미늄과 동등하다.
(4) 우수한 종합 전기적 특성, 우수한 전기 절연성 및 낮은 유전 손실;
(5) 무독성이며 환경친화적입니다.