ຕົວນຳ Graphite ສຳລັບຂະບວນການ PECVD

ຕົວຮອງຮັບກຣາໄຟທ໌ສຳລັບຂະບວນການ PECVD ຮູບພາບເດັ່ນ

ຄໍາອະທິບາຍສັ້ນໆ:

ພະລັງງານ VETເຮືອກຣາໄຟທ໌ PECVD ສຳລັບແຜງໂຊລາເຊວ ເປັນອົງປະກອບທີ່ກ້າວໜ້າ ແລະ ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ໃຊ້ໃນຂະບວນການ Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), ເຮືອກຣາໄຟທ໌ນີ້ຮັບປະກັນການຈັດການວັດສະດຸທີ່ດີທີ່ສຸດ ແລະ ການວາງຊັ້ນຟິມບາງໆໃສ່ແຜງໂຊລາເຊວຢ່າງເປັນເອກະພາບ. ອອກແບບມາເພື່ອຄວາມແມ່ນຍຳ ແລະ ຄວາມທົນທານ, ມັນໃຫ້ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນສູງ, ແລະ ການປົນເປື້ອນໜ້ອຍທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈຳເປັນສຳລັບການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວທີ່ມີປະສິດທິພາບ ແລະ ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫລດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍຜະລິດຕະພັນ

ພະລັງງານ VETຕົວກອງແກຣໄຟຕ໌ໃນຂະບວນການ PECVD ແມ່ນວັດສະດຸບໍລິໂພກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ອອກແບບມາສຳລັບຂະບວນການ PECVD (ການສະສົມໄອເຄມີທີ່ເສີມດ້ວຍພລາສມາ). ຕົວກອງແກຣໄຟຕ໌ນີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸແກຣໄຟຕ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິ ແລະ ລັກສະນະອື່ນໆທີ່ດີເລີດ, ສາມາດສະໜອງແພລດຟອມຕົວກອງທີ່ໝັ້ນຄົງສຳລັບຂະບວນການ PECVD, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີ ແລະ ຄວາມລຽບນຽນຂອງການສະສົມຟິມບາງໆ.

ຕົວນຳກຣາໄຟທ໌ສຳລັບຂະບວນການ PECVD ມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

▪ ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ມີປະລິມານສິ່ງປົນເປື້ອນຕໍ່າຫຼາຍ, ຫຼີກລ່ຽງການປົນເປື້ອນຂອງຟິມ ແລະ ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຟິມ.

▪ ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ: ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກສູງ, ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມ PECVD ທີ່ມີຄວາມກົດດັນສູງ.

▪ ສະຖຽນລະພາບດ້ານມິຕິທີ່ດີ: ການປ່ຽນແປງມິຕິຂະໜາດນ້ອຍຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນສະຖຽນລະພາບຂອງຂະບວນການ.

▪ ການນຳຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ: ຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບເພື່ອປ້ອງກັນການຮ້ອນເກີນໄປຂອງແຜ່ນເວເຟີ.

▪ ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ: ສາມາດຕ້ານທານການກັດກ່ອນໂດຍອາຍແກັສ ແລະ ພລາສມາທີ່ກັດກ່ອນຕ່າງໆ.

▪ ການບໍລິການທີ່ກຳນົດເອງ: ຕົວນຳກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຂະໜາດ ແລະ ຮູບຮ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.

ວັດສະດຸກຣາໄຟດຈາກ SGL:

ພາລາມິເຕີທົ່ວໄປ: R6510
ດັດຊະນີ	ມາດຕະຖານການທົດສອບ	ມູນຄ່າ	ໜ່ວຍ
ຂະໜາດເມັດພືດໂດຍສະເລ່ຍ	ISO 13320	10	ໄມຄຣມ
ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ	DIN IEC 60413/204	1.83	ກຣາມ/ຊມ³
ຮູຂຸມຂົນເປີດ	DIN66133	10	%
ຂະໜາດຮູຂຸມຂົນປານກາງ	DIN66133	1.8	ໄມຄຣມ
ການຊຶມຜ່ານ	DIN 51935	0.06	ຊມ²/ວິນາທີ
ຄວາມແຂງ Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສະເພາະ	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
ຄວາມແຂງແຮງຂອງການບິດງໍ	DIN IEC 60413/501	60	MPa
ຄວາມແຮງບີບອັດ	DIN 51910	130	MPa
ໂມດູນຂອງ Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ມັນຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການຜະລິດແຜງໂຊລາເຊວທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ຮອງຮັບການປະມວນຜົນແຜ່ນເວເຟີຂະໜາດໃຫຍ່ G12. ການອອກແບບຕົວນຳທີ່ດີທີ່ສຸດຊ່ວຍເພີ່ມປະລິມານການຜະລິດຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ເຮັດໃຫ້ອັດຕາຜົນຜະລິດສູງຂຶ້ນ ແລະ ຕົ້ນທຶນການຜະລິດຕ່ຳລົງ.

ລາຍການ	ປະເພດ	ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເວເຟີໝາຍເລກ
ເຮືອ PEVCD Grephite - ຊຸດ 156	ເຮືອກຣີໄຟ 156-13	144
	ເຮືອກຣີໄຟ 156-19	216
	ເຮືອກຣີໄຟ 156-21	240
	ເຮືອແກຣໄຟ 156-23	308
ເຮືອ PEVCD Grephite - ຊຸດ 125	ເຮືອກຣີໄຟ 125-15	196
	ເຮືອກຣີໄຟ 125-19	252
	ເຮືອກຣາຟ 125-21	280