Graphite Carrier ສໍາລັບຂະບວນການ PECVD

ລາຍລະອຽດສັ້ນ:

ພະລັງງານ VETPECVD Graphite Boat ສໍາລັບແຜງພະລັງງານແສງອາທິດແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຜະລິດແຜງພະລັງງານແສງອາທິດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ນຳໃຊ້ໃນຂະບວນການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີຂອງ plasma (PECVD), ເຮືອ graphite ນີ້ ຮັບປະກັນການຈັດການວັດສະດຸທີ່ດີທີ່ສຸດ ແລະ ການຊຶມເຊື້ອຂອງຮູບເງົາບາງໆຢູ່ໃນຈຸລັງແສງຕາເວັນ. ວິສະວະກໍາສໍາລັບຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຄວາມທົນທານ, ມັນສະຫນອງການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມຕ້ານທານ corrosion ສູງ, ແລະການປົນເປື້ອນຫນ້ອຍ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການຜະລິດແຜງແສງຕາເວັນປະສິດທິພາບ, ຄຸນນະພາບສູງ.

ສົ່ງອີເມວຫາພວກເຮົາ ດາວໂຫຼດເປັນ PDF

ລາຍລະອຽດຜະລິດຕະພັນ

ປ້າຍກຳກັບສິນຄ້າ

ພະລັງງານ VETPECVD process graphite carrier is a high quality consumable tailored for PECVD (plasma ປັບປຸງ vapor deposition ສານເຄມີ). ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ graphite ນີ້ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບແລະລັກສະນະອື່ນໆ, ສາມາດສະຫນອງແພລະຕະຟອມການຂົນສົ່ງທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບຂະບວນການ PECVD, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສອດຄ່ອງແລະຄວາມຮາບພຽງຂອງແຜ່ນບາງໆ.

ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ Graphite ສໍາລັບຂະບວນການ PECVD ມີລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

▪ ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ເນື້ອໃນ impurity ຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ຫຼີກເວັ້ນການປົນເປື້ອນຂອງຮູບເງົາແລະຮັບປະກັນຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.

▪ ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ: ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກສູງ, ສາມາດທົນອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມກົດດັນສູງສະພາບແວດລ້ອມ PECVD.

▪ ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິທີ່ດີ: ການປ່ຽນແປງມິຕິຂະຫນາດນ້ອຍໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

▪ ການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ: ມີປະສິດຕິຜົນການໂອນຄວາມຮ້ອນເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນເກີນຂອງ wafer.

▪ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງ: ສາມາດຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງທາດອາຍຜິດ corrosive ຕ່າງໆແລະ plasma.

▪ ການບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ: ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ graphite ທີ່ມີຂະຫນາດແລະຮູບຮ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.

ວັດສະດຸ Graphite ຈາກ SGL:

ພາຣາມິເຕີປົກກະຕິ: R6510
ດັດຊະນີ	ມາດຕະຖານການທົດສອບ	ມູນຄ່າ	ໜ່ວຍ
ຂະຫນາດເມັດພືດສະເລ່ຍ	ISO 13320	10	ມມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຫຼາຍ	DIN IEC 60413/204	1.83	g/ຊມ³
ເປີດ porosity	DIN66133	10	%
ຂະໜາດຮູຂຸມຂົນປານກາງ	DIN66133	1.8	ມມ
ການຊຶມເຊື້ອ	DIN 51935	0.06	cm²/s
ຄວາມແຂງຂອງ Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
ຄວາມຕ້ານທານໄຟຟ້າສະເພາະ	DIN IEC 60413/402	13	μΩມ
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
ແຮງບີບອັດ	DIN 51910	໑໓໐	MPa
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	DIN 51915	11.5×10³	MPa
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ(20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຜະລິດຈຸລັງແສງຕາເວັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ສະຫນັບສະຫນູນການປຸງແຕ່ງ wafer ຂະຫນາດໃຫຍ່ G12. ການອອກແບບຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ດີທີ່ສຸດເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ການເຮັດໃຫ້ອັດຕາຜົນຜະລິດທີ່ສູງຂຶ້ນແລະຕົ້ນທຶນການຜະລິດຕ່ໍາ.

ລາຍການ	ປະເພດ	ໝາຍເລກຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer
PEVCD Grephite boat - ຊຸດ 156	ເຮືອ 156-13 grephite	144
	156-19 ເຮືອ grephite	216
	ເຮືອ 156-21 grephite	240
	ເຮືອໄຟ 156-23	308
ເຮືອແພ PEVCD Grephite - ຊຸດ 125	125-15 ເຮືອ grephite	196
	125-19 ເຮືອ grephite	252
	ເຮືອ 125-21 grphite	280