Anel de engrenagem de grafite revestido com SiC

Descrição resumida:

O anel de engrenagem de grafite revestido com SiC da VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

Local de origem:China

Estrutura cristalina:Fase FCCβ

Densidade:3,21 g/cm;

Dureza:2500 Vickers;

Pureza química:99,99995%;

Capacidade térmica:640J·kg-1·K-1;

Temperatura de sublimação:2700℃;

Tamanho do grão:2~10μm;

Força flexural femoral:415 MPa (RT 4-Point);

Módulo de Young:430 GPa (curvatura de 4 pontos, 1300℃);

Difusão Térmica (CTE):4,5 10-6K-1;

Condutividade térmica:300 (W/MK);

Envie-nos um e-mail Baixar como PDF

Detalhes do produto

Etiquetas do produto

O anel de engrenagem de grafite revestido com SiC é um componente essencial utilizado em diversos processos de fabricação de semicondutores. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para produzir o suporte de carbeto de silício com altíssima pureza, excelente uniformidade de revestimento e longa vida útil, além de alta resistência química e estabilidade térmica.

A VET Energy é uma fabricante de produtos personalizados de grafite e carbeto de silício com tratamentos de superfície como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., podendo fornecer diversas peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais sofisticados e criamos uma tecnologia patenteada exclusiva que torna a adesão entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa a desprendimento.

Características dos nossos produtos:

1. Alta resistência à oxidação em temperaturas de até 1700℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e mais durabilidade

DCV SiC薄膜基本物理性能 Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento
性质 / Propriedade	典型数值 Valor típico
晶体结构 / Estrutura Cristalina	Fase β do FCC多晶, 主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 unidades (carga de 500g)
晶粒大小 / Tamanho do Grão	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 Capacidade térmica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimação	2700℃
抗弯强度 / Resistência à Flexão	415 MPa RT 4 pontos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, curvatura de 4 pontos, 1300 °C
导热系数 / TermalCondutividade	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1