Corona dentata in grafite rivestita in SiC

Breve descrizione:

La corona dentata in grafite rivestita in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un periodo prolungato. Presenta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, che la rendono la soluzione perfetta per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


  • Luogo di origine:Cina
  • Struttura cristallina:Fase FCCβ
  • Densità:3,21 g/cm;
  • Durezza:2500 Vickers;
  • Purezza chimica:99,99995%;
  • Capacità termica:640 J·kg-1·K-1;
  • Temperatura di sublimazione:2700℃;
  • Granulometria:da 2 a 10 μm;
  • Forza felessurale:415 Mpa (RT 4 punti);
  • Modulo di Young:430 Gpa (piegatura a 4 pt, 1300℃);
  • Espansione termica (CTE):4.5 10-6K-1;
  • Conduttività termica:300(W/MK);
  • Dettagli del prodotto

    Tag dei prodotti

    La corona dentata in grafite rivestita in SiC è un componente chiave utilizzato in vari processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il supporto in carburo di silicio con purezza estremamente elevata, buona uniformità di rivestimento e un'eccellente durata, oltre a elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

    VET Energy è il vero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con trattamenti superficiali come rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., ed è in grado di fornire vari componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.

    Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

    Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

    Caratteristiche dei nostri prodotti:

    1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
    2. Elevata purezza e uniformità termica
    3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.

    4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
    5. Maggiore durata e resistenza

    malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能

    Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

    性质 / Proprietà

    典型数值 / Valore tipico

    晶体结构 / Struttura cristallina

    Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densità

    3,21 g/cm³

    硬度 / Durezza

    2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

    晶粒大小 / Granulometria

    2~10μm

    纯度 / Purezza chimica

    99,99995%

    热容 / Capacità termica

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura di sublimazione

    2700℃

    抗弯强度 / Resistenza alla flessione

    415 MPa RT 4 punti

    杨氏模量 / Modulo di Young

    430 Gpa 4pt curva, 1300℃

    导热系数 / ThermalConduttività

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)

    4,5×10-6K-1

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