Anello dentato in grafite rivestito in SiC

Breve descrizione:

L'anello dentato in grafite rivestito in SiC di VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per fornire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Possiede un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, caratteristiche che lo rendono la soluzione ideale per le applicazioni di lavorazione dei wafer.

 


  • Luogo di origine:Cina
  • Struttura cristallina:fase FCCβ
  • Densità:3,21 g/cm;
  • Durezza:2500 Vickers;
  • Purezza chimica:99,99995%;
  • Capacità termica:640 J·kg-1·K-1;
  • Temperatura di sublimazione:2700℃;
  • Dimensione dei grani:2~10 μm;
  • Forza flessoria:415 MPa (RT 4-Point);
  • Modulo di Young:430 GPa (piegamento a 4 punti, 1300℃);
  • Dilatazione termica (CTE):4,5 10-6K-1;
  • Conduttività termica:300 (W/mK);
  • Dettagli del prodotto

    Etichette prodotto

    L'anello dentato in grafite rivestito in SiC è un componente chiave utilizzato in diversi processi di produzione di semiconduttori. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il supporto in carburo di silicio con una purezza estremamente elevata, un'ottima uniformità del rivestimento e una durata eccellente, oltre a elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

    VET Energy è un produttore affidabile di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con trattamenti superficiali quali rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc., ed è in grado di fornire diverse componenti personalizzate per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico.

    Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrirvi soluzioni più professionali in termini di materiali.

    Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali sempre più performanti e abbiamo messo a punto una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

    Caratteristiche dei nostri prodotti:

    1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
    2. Elevata purezza e uniformità termica
    3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.

    4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
    5. Maggiore durata e maggiore resistenza

    Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能

    Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

    性质 / Proprietà

    典型数值 / Valore tipico

    晶体结构 / Struttura cristallina

    Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densità

    3,21 g/cm³

    硬度 / Durezza

    2500 tonnellate di carico (carico di 500 g)

    晶粒大小 / Dimensione del grano

    2~10μm

    纯度 / Purezza chimica

    99,99995%

    热容 / Capacità termica

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura di sublimazione

    2700℃

    抗弯强度 / Resistenza alla flessione

    415 MPa RT 4 punti

    杨氏模量 Modulo di Young

    430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃

    导热系数 / ThermalConduttività

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

    4,5×10-6K-1

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    Vi diamo un caloroso benvenuto a visitare il nostro stabilimento, saremo lieti di discuterne ulteriormente!

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