Anillo dentado de grafito recubierto de SiC

Breve descripción:

El anillo dentado de grafito recubierto de SiC de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un desempeño constante y confiable durante un período prolongado. Posee una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

 


  • Lugar de origen:Porcelana
  • Estructura cristalina:Fase FCCβ
  • Densidad :3,21 g/cm;
  • Dureza:2500 Vickers;
  • Pureza química:99,99995%;
  • Capacidad calorífica:640 J·kg⁻¹·K⁻¹;
  • Temperatura de sublimación:2700℃;
  • Tamaño del grano:2~10 μm;
  • Fuerza flexural:415 MPa (RT de 4 puntos);
  • Módulo de Young:430 GPa (flexión de 4 puntos, 1300 ℃);
  • Expansión térmica (ETC):4.5 10-6K-1;
  • Conductividad térmica:300 (W/MK);
  • Detalles del producto

    Etiquetas de producto

    El anillo dentado de grafito recubierto de SiC es un componente clave en diversos procesos de fabricación de semiconductores. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el soporte de carburo de silicio con una pureza extremadamente alta, una excelente uniformidad de recubrimiento y una vida útil excepcional, además de una elevada resistencia química y una gran estabilidad térmica.

    VET Energy es un fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con tratamientos superficiales como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., y puede suministrar diversas piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.

    Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

    Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más sofisticados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.

    Características de nuestros productos:

    1. Alta resistencia a la oxidación a temperaturas de hasta 1700℃.
    2. Alta pureza y uniformidad térmica
    3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.

    4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
    5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

    Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能

    Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento

    性质 / Propiedad

    典型数值 / Valor típico

    晶体结构 Estructura cristalina

    Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densidad

    3,21 g/cm³

    硬度 / Dureza

    2500 libras (carga de 500 g)

    晶粒大小 / Tamaño del grano

    2~10 μm

    纯度 Pureza química

    99,99995%

    热容 Capacidad calorífica

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 Temperatura de sublimación

    2700℃

    抗弯强度 / Resistencia a la flexión

    415 MPa RT 4 puntos

    杨氏模量 Módulo de Young

    430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalConductividad

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)

    4,5×10-6K-1

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    ¡Les invitamos cordialmente a visitar nuestra fábrica! ¡Conversemos pronto!

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