Anillo de engranaje de grafito recubierto de SiC

Descripción breve:

El anillo de engranaje de grafito recubierto de SiC de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un rendimiento constante y fiable durante un período prolongado. Ofrece una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.


  • Lugar de origen:Porcelana
  • Estructura cristalina:Fase FCCβ
  • Densidad :3,21 g/cm3;
  • Dureza:2500 Vickers;
  • Pureza química:99,99995%;
  • Capacidad calorífica:640 J·kg-1·K-1;
  • Temperatura de sublimación:2700℃;
  • Tamaño del grano:2~10μm;
  • Fuerza flexural:415 Mpa (RT 4 puntos);
  • Módulo de Young:430 Gpa (curva de 4 puntos, 1300 ℃);
  • Expansión térmica (CTE):4,5 10-6K-1;
  • Conductividad térmica:300 (W/MK);
  • Detalle del producto

    Etiquetas de productos

    El anillo de engranaje de grafito recubierto de SiC es un componente clave en diversos procesos de fabricación de semiconductores. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el soporte de carburo de silicio con una pureza extremadamente alta, una buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, además de una alta resistencia química y estabilidad térmica.

    VET Energy es un verdadero fabricante de productos de carburo de silicio y grafito personalizados con tratamiento de superficie como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc., puede suministrar varias piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica.

    Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

    Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más avanzados y hemos elaborado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa al desprendimiento.

    Características de nuestros productos:

    1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
    2. Alta pureza y uniformidad térmica.
    3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.

    4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
    5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

    ECV SiC薄膜基本物理性能

    Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento

    性质 / Propiedad

    典型数值 / Valor típico

    晶体结构 / Estructura cristalina

    Fase β de FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densidad

    3,21 g/cm³

    硬度 / Dureza

    2500 libras (carga de 500 g)

    晶粒大小 / Tamaño del grano

    2~10 μm

    纯度 / Pureza química

    99.99995%

    热容 / Capacidad calorífica

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura de sublimación

    2700℃

    抗弯强度 / Resistencia a la flexión

    415 MPa RT 4 puntos

    杨氏模量 / Módulo de Young

    430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃

    导热系数 / TermayoConductividad

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)

    4,5×10-6K-1

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