குறைக்கடத்திக்கான SiC பூச்சு/பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடிமூலக்கூறு/தட்டு

சுருக்கமான விளக்கம்:

எபிடெக்சியல் வளர்ச்சிக்கான VET எனர்ஜி SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர் என்பது, நீண்ட காலத்திற்கு சீரான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை வழங்குவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்பாகும். இது மிகச் சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்புத்திறன், வெப்பச் சீரான தன்மை, உயர் தூய்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன் ஆகியவற்றைக் கொண்டிருப்பதால், வேஃபர் செயலாக்கப் பயன்பாடுகளுக்கு இது ஒரு சரியான தீர்வாக அமைகிறது.


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

குறைக்கடத்திக்கான கிராஃபைட் சசெப்டரின் SiC பூச்சு/பூசப்பட்ட
 
திSiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுஇது குறைக்கடத்தி செயலாக்கத் துறையின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட, மிகவும் நீடித்த மற்றும் திறமையான ஒரு தீர்வாகும். உயர் தூய்மை கொண்ட ஒரு அடுக்கைக் கொண்டுள்ளது.சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுஇந்த அடிமூலக்கூறானது, சிறப்பான வெப்ப நிலைத்தன்மை, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் நீண்ட சேவை ஆயுளை வழங்குவதால், இது MOCVD செயல்முறைகள், கிராஃபைட் வேஃபர் தாங்கிகள் மற்றும் பிற உயர்-வெப்பநிலைச் சூழல்களில் உள்ள பயன்பாடுகளுக்கு மிகவும் உகந்ததாக அமைகிறது.

 சிறப்பம்சங்கள்: 
· சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத் திறன்
· சிறந்த உடல் அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத்திறன்
· சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்புத்திறன்
· மிக உயர்ந்த தூய்மை
சிக்கலான வடிவத்தில் கிடைக்கும் தன்மை
ஆக்சிஜனேற்றச் சூழலிலும் பயன்படுத்த உகந்தது

விண்ணப்பம்:

3

தயாரிப்பின் சிறப்பம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்:

1. மேம்பட்ட வெப்ப எதிர்ப்புத்திறன்:அதிக தூய்மையுடன்SiC பூச்சுமேலும், இந்த அடிமூலக்கூறு கடுமையான வெப்பநிலைகளைத் தாங்குவதால், எபிடாக்ஸி மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி போன்ற சவாலான சூழல்களில் சீரான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

2. மேம்படுத்தப்பட்ட நீடித்துழைப்பு:SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள், வேதியியல் அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன. இதனால், சாதாரண கிராஃபைட் தளங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​இவற்றின் ஆயுட்காலம் அதிகரிக்கிறது.

3. கண்ணாடிப் பூச்சு கொண்ட கிராஃபைட்:தனித்துவமான கண்ணாடி அமைப்புSiC பூச்சுசிறந்த மேற்பரப்புக் கடினத்தன்மையை அளித்து, உயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது ஏற்படும் தேய்மானத்தைக் குறைக்கிறது.

4. உயர் தூய்மை SiC பூச்சு:எங்கள் அடிமூலக்கூறானது, நுட்பமான குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதிசெய்து, கடுமையான மூலப்பொருள் தூய்மை தேவைப்படும் தொழில்களுக்கு நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.

5. பரந்த சந்தைப் பயன்பாடு:திSiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மேம்பட்ட SiC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகளுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால், சந்தை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருகிறது. இது இந்த அடி மூலக்கூறை கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் சந்தை மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் ட்ரேக்கள் சந்தை ஆகிய இரண்டிலும் ஒரு முக்கியப் பங்கு வகிக்கும் இடமாக நிலைநிறுத்துகிறது.

அடிப்படை கிராஃபைட் பொருளின் பொதுவான பண்புகள்:

தோற்ற அடர்த்தி: 1.85 கி/செ.மீ3
மின்தடைத்திறன்: 11 μΩm
வளைவு வலிமை: 49 MPa (500kgf/cm2)
கரையின் கடினத்தன்மை: 58
: <5ppm
வெப்பக் கடத்துத்திறன்: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

சிவிடி SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்பூச்சு

性质 / சொத்து

典型数值 / வழக்கமான மதிப்பு

晶体结构 / படிக அமைப்பு

FCC β கட்டம் 多晶,主要为(111)取向

密度 / அடர்த்தி

3.21 கி/செமீ³

硬度 / கடினத்தன்மை

2500 维氏硬度 (500g சுமை)

晶粒大小 / தானிய அளவு

2~10μm

纯度 / இரசாயன தூய்மை

99.99995%

热容 / வெப்ப திறன்

640 J·kg-1·கே-1

升华温度 / பதங்கமாதல் வெப்பநிலை

2700℃

抗弯强度 / நெகிழ்வு வலிமை

415 MPa RT 4-புள்ளி

杨氏模量 / யங்ஸ் மாடுலஸ்

430 ஜிபிஏ 4 புள்ளி வளைவு, 1300℃

导热系数 / வெப்ப கடத்துத்திறன்

300W·m-1·கே-1

热膨胀系数 / வெப்ப விரிவாக்கம்(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET எனர்ஜி என்பது SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கிளாஸி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பல்வேறு பூச்சுகளுடன் கூடிய, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் உண்மையான உற்பத்தியாளர் ஆகும். மேலும், இது குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்துறைக்குத் தேவையான பல்வேறு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பாகங்களையும் வழங்க முடியும்.

எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழுவினர் உள்நாட்டின் முன்னணி ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களைச் சேர்ந்தவர்கள், உங்களுக்கு மேலும் தொழில்முறை சார்ந்த பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.

மேலும் மேம்பட்ட பொருட்களை வழங்குவதற்காக, நாங்கள் தொடர்ந்து மேம்பட்ட செயல்முறைகளை உருவாக்கி வருகிறோம். அத்துடன், பூச்சுக்கும் அடித்தளத்திற்கும் இடையிலான பிணைப்பை மிகவும் இறுக்கமாக்கி, அது எளிதில் கழன்றுவிடாமல் செய்யக்கூடிய ஒரு பிரத்தியேகமான காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தையும் நாங்கள் உருவாக்கியுள்ளோம்.

எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை அன்புடன் வரவேற்கிறோம், மேலும் கலந்துரையாடுவோம்!

生产设备

 

公司客户

 

 


  • முந்தையது:
  • அடுத்து:

  • வாட்ஸ்அப் ஆன்லைன் அரட்டை!