குறைக்கடத்திக்கான SiC பூச்சு/பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு/தட்டு

குறுகிய விளக்கம்:

எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கான VET எனர்ஜி SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர் என்பது நீண்ட காலத்திற்கு நிலையான மற்றும் நம்பகமான செயல்திறனை வழங்க வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் தயாரிப்பு ஆகும். இது சூப்பர் நல்ல வெப்ப எதிர்ப்பு மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை, அதிக தூய்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, இது வேஃபர் செயலாக்க பயன்பாடுகளுக்கு சரியான தீர்வாக அமைகிறது.


தயாரிப்பு விவரம்

தயாரிப்பு குறிச்சொற்கள்

குறைக்கடத்திக்கான கிராஃபைட் சசெப்டரின் SiC பூச்சு/பூசப்பட்டது
 
திSiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகுறைக்கடத்தி செயலாக்கத் துறையின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் நீடித்த மற்றும் திறமையான தீர்வாகும். உயர் தூய்மை அடுக்கைக் கொண்டுள்ளது.சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு, இந்த அடி மூலக்கூறு விதிவிலக்கான வெப்ப நிலைத்தன்மை, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் நீடித்த சேவை ஆயுளை வழங்குகிறது, இது MOCVD செயல்முறைகள், கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர்கள் மற்றும் பிற உயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

 அம்சங்கள்: 
· சிறந்த வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
· சிறந்த உடல் அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு
· சிறந்த வேதியியல் எதிர்ப்பு
· மிக உயர்ந்த தூய்மை
· சிக்கலான வடிவத்தில் கிடைக்கும் தன்மை
· ஆக்ஸிஜனேற்ற வளிமண்டலத்தில் பயன்படுத்தக்கூடியது

விண்ணப்பம்:

3

தயாரிப்பு அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகள்:

1. உயர்ந்த வெப்ப எதிர்ப்பு:அதிக தூய்மையுடன்SiC பூச்சு, அடி மூலக்கூறு தீவிர வெப்பநிலையைத் தாங்கும், எபிடாக்ஸி மற்றும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி போன்ற தேவைப்படும் சூழல்களில் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

2. மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள்:SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் கூறுகள் இரசாயன அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை எதிர்க்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன, இது நிலையான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகளுடன் ஒப்பிடும்போது அடி மூலக்கூறின் ஆயுட்காலத்தை அதிகரிக்கிறது.

3. விட்ரியஸ் பூசப்பட்ட கிராஃபைட்:தனித்துவமான கண்ணாடியாலான அமைப்புSiC பூச்சுஉயர் வெப்பநிலை செயலாக்கத்தின் போது தேய்மானம் மற்றும் கிழிதலைக் குறைக்கும் வகையில், சிறந்த மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையை வழங்குகிறது.

4. உயர் தூய்மை SiC பூச்சு:எங்கள் அடி மூலக்கூறு உணர்திறன் குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளில் குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதிசெய்கிறது, கடுமையான பொருள் தூய்மை தேவைப்படும் தொழில்களுக்கு நம்பகத்தன்மையை வழங்குகிறது.

5. பரந்த சந்தை பயன்பாடு:திSiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் மேம்பட்ட SiC பூசப்பட்ட தயாரிப்புகளுக்கான தேவை அதிகரித்து வருவதால் சந்தை தொடர்ந்து வளர்ந்து வருகிறது, இந்த அடி மூலக்கூறை கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் சந்தை மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள் சந்தை இரண்டிலும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

அடிப்படை கிராஃபைட் பொருளின் வழக்கமான பண்புகள்:

வெளிப்படையான அடர்த்தி: 1.85 கிராம்/செ.மீ3
மின் எதிர்ப்பு: 11 μΩமீ
நெகிழ்வு வலிமை: 49 MPa (500kgf/cm2)
கரை கடினத்தன்மை: 58
சாம்பல்: <5 பிபிஎம்
வெப்ப கடத்துத்திறன்: 116 W/mK (100 கிலோகலோரி/mhr-℃)

 

சிவிடி SiC薄膜基本物理性能

CVD SiC இன் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்பூச்சு

性质 / சொத்து

典型数值 / வழக்கமான மதிப்பு

晶体结构 / படிக அமைப்பு

FCC β கட்டம் 多晶,主要为(111)取向

密度 / அடர்த்தி

3.21 கி/செ.மீ³

硬度 / கடினத்தன்மை

2500 维氏硬度 (500g சுமை)

晶粒大小 / தானிய அளவு

2~10μm

纯度 / இரசாயன தூய்மை

99.99995% (99.99995%)

热容 / வெப்ப திறன்

640 ஜெ·கி.கி.-1·கே-1

升华温度 / பதங்கமாதல் வெப்பநிலை

2700℃ வெப்பநிலை

抗弯强度 / நெகிழ்வு வலிமை

415 MPa RT 4-புள்ளி

杨氏模量 / யங்ஸ் மாடுலஸ்

430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃

导热系数 / வெப்ப கடத்துத்திறன்

300W·மீ-1·கே-1

热膨胀系数 / வெப்ப விரிவாக்கம்(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

 

VET எனர்ஜி என்பது SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கண்ணாடி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பல்வேறு பூச்சுகளைக் கொண்ட தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் உண்மையான உற்பத்தியாளர், குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தொழிலுக்கு பல்வேறு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட பாகங்களை வழங்க முடியும்.

எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழு சிறந்த உள்நாட்டு ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களிலிருந்து வருகிறது, உங்களுக்காக அதிக தொழில்முறை பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.

மேம்பட்ட பொருட்களை வழங்குவதற்காக நாங்கள் தொடர்ந்து மேம்பட்ட செயல்முறைகளை உருவாக்கி வருகிறோம், மேலும் பூச்சுக்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான பிணைப்பை இறுக்கமாக்கும் மற்றும் பற்றின்மைக்கு குறைவான வாய்ப்புள்ளதாக மாற்றும் பிரத்யேக காப்புரிமை பெற்ற தொழில்நுட்பத்தை உருவாக்கியுள்ளோம்.

எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை அன்புடன் வரவேற்கிறோம், மேலும் விவாதிப்போம்!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • முந்தையது:
  • அடுத்தது:

  • வாட்ஸ்அப் ஆன்லைன் அரட்டை!