Mâm cặp chân không gốm xốp tiên tiến
Mâm cặp chân không gốm xốpĐây là một bệ đỡ chịu tải sử dụng nguyên lý hút chân không để cố định phôi. Bộ phận truyền chân không của mâm cặp chân không là một tấm gốm xốp. Tấm gốm xốp được lắp ráp vào lỗ khoét trên đế, và chu vi của nó được liên kết và bịt kín với đế. Đế được làm bằng vật liệu gốm hoặc kim loại chính xác. Bằng cách kết hợp đế kim loại hoặc gốm với gốm xốp đặc biệt, thiết kế đường dẫn khí chính xác bên trong cho phép phôi bám dính trơn tru và ổn định vào cốc hút chân không khi chịu áp suất âm.
Nhờ cấu trúc lỗ rỗng cực nhỏ trong gốm xốp, bề mặt của vật cần gia công có thể bám dính vào cốc hút chân không mà không gặp phải bất kỳ tác động bất lợi nào như trầy xước hay móp méo do áp suất âm gây ra.
Đặc điểm của mâm cặp chân không gốm xốp:
① Cấu trúc dày đặc và đồng nhất: Chống bám dính bột silicon/mảnh vụn mài, dễ dàng vệ sinh.
② Độ bền cao & khả năng chống mài mòn: Không bị biến dạng trong quá trình mài, giảm thiểu hiện tượng sứt mẻ/vỡ cạnh.
③ Tuổi thọ cao: Khả năng giữ nguyên hình dạng bề mặt tuyệt vời, chu kỳ thay băng dài với lượng băng cần loại bỏ tối thiểu.
④ Khả năng cách điện cao: Loại bỏ tĩnh điện.
⑤ Có thể tái sử dụng & dễ dàng vệ sinh: Không bị nứt/vỡ trong quá trình làm mới bề mặt, có thể tái sử dụng nhiều lần.
⑥ Không bụi & ổn định: Được nung kết hoàn toàn, không phát thải hạt.
⑦ Trọng lượng nhẹ: Cấu trúc xốp giúp giảm trọng lượng đáng kể.
⑧ Khả năng chống hóa chất: Có thể tùy chỉnh cho môi trường ăn mòn thông qua việc kiểm soát vật liệu/quy trình.
Đầu hút chân không bằng gốm so với cốc hút chân không bằng kim loại truyền thống:
Mâm cặp chân không bằng gốm trong lĩnh vực bán dẫn
Mâm cặp chân không bằng gốm được sử dụng làm công cụ kẹp và vận chuyển trong sản xuất tấm bán dẫn. Chúng có độ phẳng và song song cao, cấu trúc đặc và đồng nhất, độ bền cao, khả năng thấm khí tốt, lực hút đồng đều và dễ gia công. Những đặc điểm này làm cho chúng phù hợp với các quy trình trong sản xuất tấm bán dẫn như làm mỏng, cắt lát, mài, làm sạch và xử lý. Chúng giải quyết hiệu quả các thách thức như in dấu trên tấm bán dẫn, sự cố tĩnh điện của chip và ô nhiễm hạt, đạt được chất lượng xử lý cực cao cho tấm bán dẫn trong các ứng dụng thực tế.
Bảng dữ liệu vật liệu gốm
| Mục | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirconia | cacbua silic | SiliconNitride | NhômNitride |
| Màu sắc | trắng | Vàng nhạt | trắng | đen | đen | xám |
| Khối lượng riêng (g/cm3) | 3,7g/cm3 | 3,9g/cm3 | 6,02g/cm3 | 3,2g/cm3 | 3,25g/cm3 | 3,2g/cm3 |
| Khả năng hấp thụ nước | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Độ cứng (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Độ bền uốn (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Cường độ chịu nén (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Mô đun đàn hồi Young | 300GPa | 300GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| Tỷ số Poisson | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Độ dẫn nhiệt | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Độ bền điện môi | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Điện trở suất thể tích (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
