Đầu kẹp chân không bằng gốm xốp tiên tiến
Mâm cặp chân không bằng gốm xốplà một bệ chịu lực sử dụng nguyên lý hấp phụ chân không để cố định phôi. Bộ phận của mâm cặp chân không truyền chân không là một tấm gốm xốp. Tấm gốm xốp được lắp ráp trong lỗ chìm của đế và phần ngoại vi của nó được liên kết và bịt kín với đế. Đế được làm bằng vật liệu gốm hoặc kim loại chính xác. Bằng cách kết hợp đế kim loại hoặc gốm với gốm xốp đặc biệt, thiết kế của đường dẫn khí chính xác bên trong cho phép bám dính trơn tru và ổn định của phôi vào cốc hút chân không khi chịu áp suất âm.
Nhờ các lỗ chân lông cực nhỏ trong gốm xốp, bề mặt của phôi có thể bám dính vào cốc hút chân không mà không có bất kỳ yếu tố bất lợi nào như trầy xước hoặc vết lõm do áp suất âm gây ra.
Đặc điểm của đầu kẹp chân không bằng gốm xốp:
① Cấu trúc dày đặc và đồng đều: Chống hấp thụ bột silicon/mảnh vụn khi mài, dễ vệ sinh.
② Độ bền cao và khả năng chống mài mòn: Không bị biến dạng trong quá trình mài, giảm thiểu tình trạng sứt mẻ/mảnh cạnh.
③ Tuổi thọ cao: Giữ nguyên hình dạng bề mặt tuyệt vời, chu kỳ thay băng dài với việc loại bỏ tối thiểu.
④ Cách điện cao: Loại bỏ tĩnh điện.
⑤ Có thể tái sử dụng và dễ dàng sử dụng: Không bị nứt/sứt trong quá trình tái sử dụng, có thể tái sử dụng nhiều lần.
⑥ Không bám bụi & ổn định: Được thiêu kết hoàn toàn, không phát thải hạt.
⑦ Nhẹ: Cấu trúc xốp giúp giảm trọng lượng đáng kể.
⑧ Khả năng chống hóa chất: Có thể tùy chỉnh cho môi trường ăn mòn thông qua kiểm soát vật liệu/quy trình.
Đầu kẹp chân không bằng gốm so với đầu hút kim loại truyền thống:
Mâm cặp chân không bằng gốm trong lĩnh vực bán dẫn
Mâm cặp chân không gốm đóng vai trò là dụng cụ kẹp và mang trong sản xuất wafer bán dẫn. Chúng có độ phẳng và độ song song cao, cấu trúc dày đặc và đồng đều, độ bền cao, độ thấm khí tốt, lực hấp phụ đồng đều và dễ dàng định hình. Những đặc điểm này làm cho chúng phù hợp với các quy trình trong sản xuất wafer bán dẫn như làm mỏng, cắt lát, mài, làm sạch và xử lý. Chúng giải quyết hiệu quả các thách thức như in wafer, sự cố tĩnh điện của chip và nhiễm bẩn hạt, đạt được chất lượng xử lý cực cao cho wafer bán dẫn trong các ứng dụng thực tế.
Bảng dữ liệu vật liệu gốm
| Mục | 95% Nhôm | 99% Nhôm | Zirconia | Silic cacbua | SilicNđi xe | NhômNđi xe |
| Màu sắc | trắng | Vàng nhạt | trắng | đen | đen | xám |
| Mật độ (g/cm3) | 3,7g/cm3 | 3,9g/cm3 | 6,02g/cm3 | 3,2g/cm3 | 3,25g/cm3 | 3,2g/cm3 |
| Sự hấp thụ nước | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Độ cứng (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Độ bền uốn (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Cường độ nén (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Mô đun đàn hồi của Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Tỷ số Poisson | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Độ dẫn nhiệt | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Độ bền điện môi | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Điện trở suất thể tích (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào hoạt động R&D và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp như than chì, silicon carbide, thạch anh, cũng như xử lý vật liệu như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Nhà máy riêng và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Mức độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh bạn đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
