Bộ gia nhiệt dạng tấm gốm AlN Alumina
Trong sản xuất chất bán dẫn, các tấm wafer cần được xử lý qua nhiều quy trình khác nhau, chẳng hạn như lắng đọng màng mỏng, khắc axit, v.v. Trong các công đoạn này, các tấm wafer cần được nung nóng đến một nhiệt độ nhất định, và có những yêu cầu nghiêm ngặt về nhiệt độ, bởi vì sự đồng đều của nhiệt độ có tác động rất quan trọng đến năng suất sản phẩm, và các bộ phận gia nhiệt là không thể thiếu.
Máy sưởi gốmChúng được gắn trực tiếp vào buồng xử lý và tiếp xúc trực tiếp với tấm bán dẫn. Chúng không chỉ nâng đỡ tấm bán dẫn mà còn đảm bảo tấm bán dẫn đạt được nhiệt độ xử lý ổn định và đồng đều. Chúng là những thành phần quan trọng trong thiết bị lắng đọng màng mỏng bán dẫn!
Bộ gia nhiệt bằng gốm bao gồm một đế gốm đỡ tấm bán dẫn và một thân đỡ hình trụ ở mặt sau. Bên cạnh phần tử điện trở (lớp gia nhiệt), còn có các điện cực tần số vô tuyến (lớp RF) bên trong hoặc trên bề mặt của đế gốm. Để đạt được khả năng gia nhiệt và làm nguội nhanh, độ dày của đế gốm cần phải mỏng, nhưng quá mỏng cũng sẽ làm giảm độ cứng.
Giá đỡ của bộ gia nhiệt gốm thường được làm bằng vật liệu gốm có hệ số giãn nở nhiệt tương tự như đế. Bộ gia nhiệt sử dụng cấu trúc đáy khớp trục độc đáo để bảo vệ các đầu nối và dây dẫn khỏi tác động của plasma và khí hóa chất ăn mòn. Giá đỡ được trang bị ống dẫn khí truyền nhiệt vào và ra để đảm bảo nhiệt độ đồng đều của bộ gia nhiệt. Đế và giá đỡ được liên kết hóa học với nhau bằng một lớp keo dán.
Bộ gia nhiệt bằng gốm có thể được làm từ các loại gốm như nhôm nitrua (AlN), silic nitrua (Si3N4) và alumina (Al2O3). Trong số đó, AlN là lựa chọn tốt nhất cho bộ gia nhiệt bằng gốm. So với các vật liệu khác, gốm AlN của VET Energy có những đặc điểm sau:
(1) Khả năng dẫn nhiệt tốt;
(2) Hệ số giãn nở nhiệt phù hợp với vật liệu silicon bán dẫn;
(3) Tính chất cơ học tốt, khả năng chống mài mòn tuyệt vời và tính chất cơ học tổng thể tốt hơn oxit berili và tương đương với oxit nhôm;
(4) Đặc tính điện tổng thể tuyệt vời, khả năng cách điện tuyệt vời và tổn hao điện môi thấp;
(5) Không độc hại và thân thiện với môi trường.
Bảng dữ liệu vật liệu gốm
| Mục | 95% Alumina | 99% Alumina | Zirconia | cacbua silic | SiliconNitride | NhômNitride |
| Màu sắc | trắng | Vàng nhạt | trắng | đen | đen | xám |
| Khối lượng riêng (g/cm3) | 3,7g/cm3 | 3,9g/cm3 | 6,02g/cm3 | 3,2g/cm3 | 3,25g/cm3 | 3,2g/cm3 |
| Khả năng hấp thụ nước | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Độ cứng (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Độ bền uốn (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Cường độ chịu nén (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Mô đun đàn hồi Young | 300GPa | 300GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| Tỷ số Poisson | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Độ dẫn nhiệt | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Độ bền điện môi | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Điện trở suất thể tích (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất các vật liệu cao cấp tiên tiến như than chì, cacbua silic, thạch anh, cũng như các công đoạn xử lý vật liệu như phủ SiC, phủ TaC, phủ cacbon thủy tinh, phủ cacbon nhiệt phân, v.v. Sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong các lĩnh vực quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Sở hữu nhà máy và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh quý khách đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
