Máy sưởi gốm wafer thanh gia nhiệt nhôm AlN
Trong sản xuất chất bán dẫn, các tấm wafer cần được xử lý qua nhiều quy trình khác nhau, chẳng hạn như lắng đọng màng mỏng, khắc, v.v. Trong các liên kết này, các tấm wafer cần được nung nóng đến một nhiệt độ nhất định và có các yêu cầu nghiêm ngặt về nhiệt độ, vì tính đồng nhất của nhiệt độ có tác động rất quan trọng đến năng suất sản phẩm và các thành phần gia nhiệt là không thể thiếu.
Lò sưởi gốmđược áp dụng trực tiếp vào buồng xử lý và tiếp xúc trực tiếp với wafer. Chúng không chỉ mang wafer mà còn đảm bảo rằng wafer đạt được nhiệt độ xử lý ổn định và đồng đều. Chúng là thành phần chính trong thiết bị lắng đọng màng mỏng bán dẫn!
Bộ gia nhiệt gốm bao gồm đế gốm hỗ trợ wafer và thân đỡ hình trụ ở mặt sau để hỗ trợ wafer. Ngoài phần tử điện trở (lớp gia nhiệt) để gia nhiệt, còn có các điện cực tần số vô tuyến (lớp RF) bên trong hoặc trên bề mặt đế gốm. Để đạt được quá trình gia nhiệt và làm mát nhanh chóng, độ dày của đế gốm phải mỏng, nhưng quá mỏng cũng sẽ làm giảm độ cứng.
Giá đỡ của lò sưởi gốm thường được làm bằng vật liệu gốm có hệ số giãn nở nhiệt tương tự như đế. Lò sưởi sử dụng cấu trúc độc đáo của đáy khớp trục để bảo vệ các đầu nối và dây khỏi tác động của plasma và khí hóa học ăn mòn. Giá đỡ được trang bị ống dẫn khí truyền nhiệt vào và ra để đảm bảo nhiệt độ đồng đều của lò sưởi. Đế và giá đỡ được liên kết hóa học bằng lớp liên kết.
Bộ gia nhiệt gốm có thể được làm bằng gốm như nhôm nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4) và alumina (Al2O3). Trong số đó, AlN là lựa chọn tốt nhất cho bộ gia nhiệt gốm. So với các vật liệu khác, gốm AlN của VET Energy có các đặc điểm sau:
(1) Dẫn nhiệt tốt;
(2) Hệ số giãn nở nhiệt phù hợp với vật liệu bán dẫn silicon;
(3) Tính chất cơ học tốt, khả năng chống mài mòn tuyệt vời và tính chất cơ học toàn diện tốt hơn oxit berili và tương đương với oxit nhôm;
(4) Tính chất điện toàn diện tuyệt vời, cách điện tuyệt vời và tổn thất điện môi thấp;
(5) Không độc hại và thân thiện với môi trường.
Bảng dữ liệu vật liệu gốm
| Mục | 95% Nhôm | 99% Nhôm | Zirconia | Silic cacbua | SilicNđi xe | NhômNđi xe |
| Màu sắc | trắng | Vàng nhạt | trắng | đen | đen | xám |
| Mật độ (g/cm3) | 3,7g/cm3 | 3,9g/cm3 | 6,02g/cm3 | 3,2g/cm3 | 3,25g/cm3 | 3,2g/cm3 |
| Sự hấp thụ nước | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Độ cứng (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Độ bền uốn (MPa) | 300MPa | 400MPa | 1100MPa | 450MPa | 800MPa | 310MPa |
| Cường độ nén (MPa) | 2500MPa | 2800MPa | 3600MPa | 2000MPa | 2600MPa | - |
| Mô đun đàn hồi của Young | 300GPa | 300GPa | 320GPa | 450GPa | 290GPa | 310~350GPa |
| Tỷ số Poisson | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Độ dẫn nhiệt | 20W/m°C | 32W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25W/m°C | 150W/m°C |
| Độ bền điện môi | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm | 14KV/mm |
| Điện trở suất thể tích (25℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy là nhà sản xuất chuyên nghiệp tập trung vào hoạt động R&D và sản xuất các vật liệu tiên tiến cao cấp như than chì, silicon carbide, thạch anh, cũng như xử lý vật liệu như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Ưu điểm của VET Energy bao gồm:
• Nhà máy riêng và phòng thí nghiệm chuyên nghiệp;
• Mức độ tinh khiết và chất lượng hàng đầu trong ngành;
• Giá cả cạnh tranh & Thời gian giao hàng nhanh chóng;
• Nhiều quan hệ đối tác trong ngành trên toàn thế giới;
Chúng tôi hoan nghênh bạn đến thăm nhà máy và phòng thí nghiệm của chúng tôi bất cứ lúc nào!
