Horní a spodní grafitová půlměsícová část pro pec SiC

Stručný popis:

VET Energy je profesionální výrobce a dodavatel klíčových komponentů pro epitaxní pece z karbidu křemíku. Našegrafitová půlměsícová část Používá vysoce čistý grafit v kombinaci s pokročilou technologií CVD povlakování. Je určen pro vysokoteplotní a vysoce korozivní epitaxní prostředí. Vysoce čistý grafit dodává součásti vynikající odolnost vůči vysokým teplotám (>1600 °C)℃) a tepelnou stabilitu, která zajišťuje rovnoměrnost tepelného pole; CVD povlak vytváří na povrchu hustou ochrannou vrstvu pomocí technologie CVD, čímž výrazně zlepšuje antioxidační a antileptací vlastnosti a prodlužuje životnost více než třikrát.

Materiál:Vysoce čistý izostatický grafit

Čištění: <5 ppm

CVD povlak:SiC, TaC, pyrolytický uhlík

Přizpůsobení:K dispozici standardní nebo OEM

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detaily produktu

Štítky produktů

Grafitová půlměsícová částje klíčovou součástí používanou v procesech výroby polovodičů, zejména pro epitaxní zařízení SiC. Používáme naši patentovanou technologii k výrobě poloměsícových dílů s extrémně vysokou čistotou, dobrou rovnoměrností povlaku a vynikající životností, stejně jako s vysokou chemickou odolností a tepelnou stabilitou.

Společnost VET Energy je skutečným výrobcem zakázkových grafitových a karbidových produktů s CVD povlakem a může dodávat různé zakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl. Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy, abychom mohli poskytovat ještě pokročilejší materiály, a vyvinuli jsme exkluzivní patentovanou technologii, která umožňuje pevnější spojení mezi povlakem a podkladem a snižuje jeho náchylnost k odlupování.

Vlastnosti našich produktů:

1. Odolnost proti oxidaci za vysokých teplot až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná uniformita
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a větší odolnost

Kardiovaskulární onemocnění (CVD) SiC薄膜基本物理性能 Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak
性质 / Nemovitost	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Krystalová struktura	Fáze β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdost	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / VELIKOST ZRNA	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimace	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnost v ohybu	415 MPa RT 4bodový
杨氏模量 Youngův modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivost	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná roztažnost (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Společnost VET Energy je profesionální výrobce zaměřený na výzkum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálů, jako je grafit, karbid křemíku a křemen, a také na zpracování materiálů, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.

Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a může vám poskytnout profesionálnější materiálová řešení.

Výhody VET Energy zahrnují:
• Vlastní továrna a profesionální laboratoř;
• Špičková úroveň čistoty a kvality v oboru;
• Konkurenceschopná cena a rychlé dodání;
• Mnohočetná průmyslová partnerství po celém světě;

Vítáme vás kdykoli k návštěvě naší továrny a laboratoře!