Wāhanga Haurua Marama o Runga me Raro mo te Umu SiC

Wāhanga Hawhe-marama Kawhata Runga me Raro mo te SiC Furnace Whakaahua

Whakaahuatanga Poto:

Ko te VET Energy he kaihanga ngaio me te kaiwhakarato o nga waahanga matua o nga oumu epitaxial silicon carbide. To tatougraphite wahi hawhe-marama ka whakamahi i te kauwhata tino parakore me te hangarau whakakikorua CVD matatau. He mea hoahoa mo nga taiao epitaxial teitei-te wera me te tino pirau. Ko te kauwhata parakore teitei ka hoatu ki te waahanga te tino pai o te parenga pāmahana teitei (>1600℃) me te pumau o te waiariki, te whakarite i te riterite o te mara waiariki; ka hangaia e te paninga CVD he papa whakamarumaru ki runga i te mata ma te hangarau CVD, he tino whakapai ake i nga taonga anti-oxidation me te anti-etching, me te whakaroa i te oranga o te ratonga ma te neke atu i te 3 wa.

Rauemi:Kauwhata isostatic tino parakore

purenga: <5ppm

paninga CVD:SiC, TaC, Pyrolytic Carbon

Whakaritenga:Paerewa OEM ranei e waatea ana

Tukuna he imeera ki a matou Tikiake hei PDF

Taipitopito Hua

Tohu Hua

Kauwhata Waahanga Hawhe-maramahe waahanga matua e whakamahia ana i roto i nga mahi hangahanga semiconductor, ina koa mo nga taputapu epitaxial SiC. Ka whakamahia e matou o maatau hangarau arai ki te hanga i te waahanga hawhe marama me te tino ma, te pai o te whakakikoruatanga o te whakakikorua me te oranga pai rawa atu, tae atu ki te kaha o te aukati matū me nga waahi whakamarumaru wera.

Ko te VET Energy te tino kaihanga o nga hua graphite me nga hua carbide silicon me te paninga CVD, ka taea e ia te tuku i nga waahanga rereke mo te ahumahi semiconductor me te ahumahi photovoltaic. Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.

Ka whakawhanake tonu matou i nga tikanga matatau ki te whakarato rauemi matatau ake, a kua mahia e matou he hangarau arai motuhake, e taea ai te hono i waenga i te paninga me te tïpako kia piri, kia iti ake te wariu ki te wehe.

Nga waahanga o a maatau hua:

1. Te teitei o te wera o te waikura ki te 1700 ℃.
2. Te parakore teitei me te riterite waiariki
3. He pai te aukati waikura: te waikawa, te alkali, te tote me nga reagents waro.
4. Te pakeke teitei, te mata kiato, nga matūriki pai.
5. He roa ake te ora mahi me te roa ake

CVD SiC薄膜基本物理性能 Ko nga ahuatanga taketake o te CVD SiCpaninga
性质 / Taonga	典型数值 / Uara Angamaheni
晶体结构 / Hanganga Kiriata	FCC β wāhanga多晶，主要为（111）取向
密度 / Kiato	3.21 g/cm³
硬度 / Te pakeke	2500 维氏硬度（500g uta）
晶粒大小 / Raina witi	2~10μm
纯度 / Te Maamaa	99.99995%
热容 / Raukaha Wera	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Te Mahana Whakararo	2700 ℃
抗弯强度 / Te Kaha Toka	415 MPa RT 4-tohu
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt piko, 1300℃
导热系数 / ThermalTe kawe	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Roha Ngawha(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Ko te VET Energy he kaihanga ngaio e arotahi ana ki te R&D me te hanga o nga rauemi matatau teitei penei i te graphite, te carbide silicon, te quartz, me te maimoatanga rauemi penei i te paninga SiC, te paninga TaC, te paninga waro karaihe, te paninga waro pyrolytic, me era atu.

Ko ta maatau roopu hangarau i ahu mai i nga umanga rangahau o roto o te whare, ka taea te whakarato i nga otinga rauemi ngaio mo koe.

Ko nga painga o te VET Energy ko:
• He wheketere ake me te taiwhanga ngaio;
• Ahumahi-arahi taumata ma me te kounga;
• Te utu whakataetae & te wa tuku tere;
• Nga hononga ahumahi maha puta noa i te ao;

Ka mihi matou ki a koe ki te toro ki to maatau wheketere me te taiwhanga i nga wa katoa!