Demi-lune supérieure et inférieure en graphite pour four SiC

Brève description :

VET Energy est un fabricant et fournisseur professionnel de composants de base pour fours épitaxiaux en carbure de silicium.pièce en demi-lune en graphite Utilise un graphite de haute pureté associé à une technologie de revêtement CVD avancée. Il est conçu pour les environnements épitaxiaux à haute température et hautement corrosifs. Ce graphite de haute pureté confère au composant une excellente résistance aux hautes températures (> 1 600 °C).°C) et la stabilité thermique, assurant l'uniformité du champ thermique ; le revêtement CVD forme une couche protectrice dense sur la surface grâce à la technologie CVD, améliorant considérablement les propriétés anti-oxydation et anti-gravure et prolongeant la durée de vie de plus de 3 fois.

Matériel:Graphite isostatique de haute pureté

Purification: <5 ppm

Revêtement CVD :SiC, TaC, carbone pyrolytique

Personnalisation :Standard ou OEM disponible

Envoyez-nous un e-mail Télécharger en PDF

Détails du produit

Étiquettes de produit

Pièce en demi-lune en graphiteIl s'agit d'un composant essentiel utilisé dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs, notamment pour les équipements épitaxiaux SiC. Grâce à notre technologie brevetée, nous produisons des pièces en demi-lune d'une pureté extrêmement élevée, d'une excellente uniformité de revêtement et d'une excellente durée de vie, ainsi que d'une résistance chimique et d'une stabilité thermique élevées.

VET Energy est un fabricant de produits sur mesure en graphite et carbure de silicium avec revêtement CVD. Il fournit diverses pièces sur mesure pour les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque. Notre équipe technique, issue des meilleurs instituts de recherche nationaux, peut vous proposer des solutions de matériaux plus professionnelles.

Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés et avons mis au point une technologie brevetée exclusive, qui peut rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

Caractéristiques de nos produits :

1. Résistance à l'oxydation à haute température jusqu'à 1700℃.
2. Haute pureté et uniformité thermique
3. Excellente résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.
4. Dureté élevée, surface compacte, particules fines.
5. Durée de vie plus longue et plus durable

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能 Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement
性质 / Propriété	典型数值 / Valeur typique
晶体结构 / Structure cristalline	Phase β du FCC多晶，主要为（111)
密度 / Densité	3,21 g/cm³
硬度 / Dureté	2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)
晶粒大小 / Granulométrie	2 à 10 μm
纯度 / Pureté chimique	99,99995%
热容 / Capacité thermique	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Température de sublimation	2700℃
抗弯强度 / Résistance à la flexion	415 MPa RT 4 points
杨氏模量 / Module de Young	430 Gpa 4pt courbé, 1300℃
导热系数 / ThermalConductivité	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy est un fabricant professionnel axé sur la R&D et la production de matériaux avancés haut de gamme tels que le graphite, le carbure de silicium, le quartz, ainsi que le traitement des matériaux comme le revêtement SiC, le revêtement TaC, le revêtement en carbone vitreux, le revêtement en carbone pyrolytique, etc. Les produits sont largement utilisés dans le photovoltaïque, les semi-conducteurs, les nouvelles énergies, la métallurgie, etc.

Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

Les avantages de VET Energy comprennent :
• Propre usine et laboratoire professionnel ;
• Niveaux de pureté et de qualité à la pointe de l’industrie ;
• Prix compétitif et délai de livraison rapide ;
• Partenariats industriels multiples à travers le monde ;

Nous vous invitons à visiter notre usine et notre laboratoire à tout moment !