Grafitový kroužek s povlakem TaC

Společnost VET Energy se zaměřuje na výzkum, vývoj a výrobu vysoce výkonných grafitových kroužků s povlakem z karbidu tantalu (TaC) metodou CVD a je odhodlána poskytovat základní spotřební materiály pro polovodičový, fotovoltaický a vysokoteplotní průmysl. Naše nezávisle vyvinutá technologie chemického nanášení z plynné fáze (CVD) vytváří na povrchu grafitového substrátu hustý a rovnoměrný povlak z karbidu tantalu pomocí přesných procesů, čímž se výrazně zlepšuje odolnost produktu vůči vysokým teplotám (>3000 °C), korozi a tepelným šokům, prodlužuje se životnost více než trojnásobně a snižují se komplexní náklady zákazníků.

Naše technické výhody:
1. Odolnost proti oxidaci za vysokých teplot
Ve vzduchové atmosféře o teplotě 1200 ℃ je rychlost oxidačního nárůstu hmotnosti ≤ 0,05 mg/cm²/h, což je více než trojnásobek oxidační odolnosti běžného grafitu a je vhodné pro vysokofrekvenční cykly ohřevu a chlazení.
2. Odolnost vůči korozi roztaveného křemíku/kovu
Povlak TaC je extrémně inertní vůči kovům, jako je tekutý křemík (1600 ℃), roztavený hliník/měď atd., čímž se zabrání strukturálnímu selhání tradičních vodicích kroužků v důsledku pronikání kovu, a je obzvláště vhodný pro výrobu výkonových polovodičů a polovodičů třetí generace.
3. Ultranízká kontaminace částicemi
Proces CVD dosahuje hustoty povlaku > 99,5 % a drsnosti povrchu Ra ≤ 0,2 μm, což snižuje riziko uvolňování částic ze zdroje a splňuje přísné požadavky na čistotu při výrobě 12palcových destiček.
4. Přesná kontrola velikosti
Díky přesnému CNC obrábění je tolerance velikosti grafitového substrátu ±0,01 mm a celková deformace po nanesení povlaku je <±5 μm, což je vhodné pro instalaci ve vysoce přesných komorách zařízení.