Верхняя и нижняя графитовые полукруглые детали для печи SiC

Краткое описание:

VET Energy — профессиональный производитель и поставщик основных компонентов для печей эпитаксиального осаждения карбида кремния.графитовая полукруглая деталь В составе используется высокочистый графит в сочетании с передовой технологией CVD-покрытия. Он предназначен для работы в высокотемпературных и высококоррозионных эпитаксиальных средах. Высокочистый графит обеспечивает компоненту превосходную термостойкость (>1600 °C).) и термической стабильности, обеспечивая равномерность теплового поля; CVD-покрытие образует плотный защитный слой на поверхности благодаря технологии CVD, значительно улучшая антиоксидантные и антитравильные свойства и увеличивая срок службы более чем в 3 раза.

 

 


  • Материал:Изостатический графит высокой чистоты
  • Очистка: <5 ppm
  • CVD-покрытие:SiC, TaC, пиролитический углерод
  • Настройка:Доступны стандартные или OEM-варианты.
  • Подробная информация о товаре

    Метки товаров

    SZDFGZDFC
    sADfSDfc
    FDVSDCVXCV
    sADfSDfc

    Графитовая полукруглая детальЭто ключевой компонент, используемый в процессах производства полупроводников, особенно в оборудовании для эпитаксиального осаждения SiC. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления полукруглых деталей с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.

    Компания VET Energy является реальным производителем изделий из графита и карбида кремния с CVD-покрытием, способным поставлять различные детали по индивидуальному заказу для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, что позволяет нам предлагать более профессиональные решения в области материалов.

    Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для получения более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.

    Особенности нашей продукции:

    1. Высокая термостойкость к окислению до 1700℃.
    2. Высокая чистота и равномерность термической обработки.
    3. Превосходная коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам.
    4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
    5. Более длительный срок службы и большая долговечность.

    ССВ SiC薄膜基本物理性能

    Основные физические свойства CVD SiCпокрытие

    性质 / Свойство

    典型数值 / Типичное значение

    晶体结构 Кристаллическая структура

    β-фаза ГЦК多晶,主要为(111)取向

    密度 / Плотность

    3,21 г/см³

    硬度 / Твердость

    2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)

    晶粒大小 / Размер зерна

    2–10 мкм

    纯度 / Химическая чистота

    99,99995%

    热容 / Теплоемкость

    640 Дж·кг-1·К-1

    升华温度 Температура сублимации

    2700℃

    抗弯强度 / Прочность на изгиб

    415 МПа RT 4-точечный

    杨氏模量 Модуль Юнга

    4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃

    导热系数 / ТермалПроводимость

    300 Вт·м-1·К-1

    热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy Graphite

    2

    Компания VET Energy — профессиональный производитель, специализирующийся на исследованиях, разработке и производстве высококачественных современных материалов, таких как графит, карбид кремния, кварц, а также на обработке материалов, например, нанесении покрытий из SiC, TaC, стеклоуглерода, пиролитического углерода и др. Продукция широко используется в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.

    Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

    К преимуществам VET Energy относятся:
    • Собственное производство и профессиональная лаборатория;
    • Лидирующие в отрасли уровни чистоты и качества;
    • Конкурентоспособная цена и быстрая доставка;
    • Многочисленные партнерства в различных отраслях по всему миру;

    Мы будем рады видеть вас на нашем заводе и в лаборатории в любое время!

    公司客户

     


  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат в WhatsApp!