Графитовая полукруглая детальЭто ключевой компонент, используемый в процессах производства полупроводников, особенно в оборудовании для эпитаксиального осаждения SiC. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления полукруглых деталей с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.
Компания VET Energy является реальным производителем изделий из графита и карбида кремния с CVD-покрытием, способным поставлять различные детали по индивидуальному заказу для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, что позволяет нам предлагать более профессиональные решения в области материалов.
Мы постоянно совершенствуем технологические процессы для получения более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать сцепление между покрытием и подложкой более прочным и менее склонным к отслоению.
Особенности нашей продукции:
1. Высокая термостойкость к окислению до 1700℃.
2. Высокая чистота и равномерность термической обработки.
3. Превосходная коррозионная стойкость: к кислотам, щелочам, солям и органическим реагентам.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая долговечность.
| ССВ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие | |
| 性质 / Свойство | 典型数值 / Типичное значение |
| 晶体结构 Кристаллическая структура | β-фаза ГЦК多晶,主要为(111)取向 |
| 密度 / Плотность | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Твердость | 2500 维氏硬度 (загрузка 500 г) |
| 晶粒大小 / Размер зерна | 2–10 мкм |
| 纯度 / Химическая чистота | 99,99995% |
| 热容 / Теплоемкость | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 Температура сублимации | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Прочность на изгиб | 415 МПа RT 4-точечный |
| 杨氏模量 Модуль Юнга | 4-точечный изгиб 430 ГПа, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалПроводимость | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
Компания VET Energy — профессиональный производитель, специализирующийся на исследованиях, разработке и производстве высококачественных современных материалов, таких как графит, карбид кремния, кварц, а также на обработке материалов, например, нанесении покрытий из SiC, TaC, стеклоуглерода, пиролитического углерода и др. Продукция широко используется в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.
Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.
К преимуществам VET Energy относятся:
• Собственное производство и профессиональная лаборатория;
• Лидирующие в отрасли уровни чистоты и качества;
• Конкурентоспособная цена и быстрая доставка;
• Многочисленные партнерства в различных отраслях по всему миру;
Мы будем рады видеть вас на нашем заводе и в лаборатории в любое время!
-
Графитовое кольцо с покрытием из TaC
-
Производитель графитовых верхних полумесяцев с покрытием TaC
-
Полукруглая деталь и узел из графита с покрытием из карбида кремния...
-
Направляющее кольцо покрытия TaC
-
Высококачественная трубка из карбида тантала для кристаллов SiC...
-
производитель крышек из графита с покрытием TaC






