Верхняя и нижняя графитовая полукруглая часть для печи SiC

Верхняя и нижняя часть полумесяца из графита для печи SiC Главное изображение

Краткое описание:

VET Energy — профессиональный производитель и поставщик основных компонентов эпитаксиальных печей из карбида кремния. Нашиграфитовая полумесяцевидная деталь использует графит высокой чистоты в сочетании с передовой технологией покрытия CVD. Он разработан для высокотемпературных и высококоррозионных эпитаксиальных сред. Графит высокой чистоты придает компоненту отличную устойчивость к высоким температурам (>1600℃) и термическую стабильность, обеспечивающую равномерность теплового поля; CVD-покрытие посредством CVD-технологии образует на поверхности плотный защитный слой, значительно улучшающий антиокислительные и антитравильные свойства, а также продлевающий срок службы более чем в 3 раза.

Материал:Изостатический графит высокой чистоты

Очищение: <5 частей на миллион

CVD-покрытие:SiC, TaC, пиролитический углерод

Настройка:Доступны стандартные или OEM-изготовители

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

Графитовая полумесяц-частьявляется ключевым компонентом, используемым в процессах производства полупроводников, особенно для оборудования для эпитаксиальной обработки SiC. Мы используем нашу запатентованную технологию для изготовления полумесяца с чрезвычайно высокой чистотой, хорошей однородностью покрытия и превосходным сроком службы, а также высокой химической стойкостью и термической стабильностью.

VET Energy — настоящий производитель индивидуальных графитовых и карбидкремниевых изделий с покрытием CVD, может поставлять различные индивидуальные детали для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов, может предоставить вам более профессиональные решения по материалам.

Мы постоянно разрабатываем передовые процессы для производства более совершенных материалов и разработали эксклюзивную запатентованную технологию, которая позволяет сделать связь между покрытием и подложкой более прочной и менее подверженной отслоению.

Особенности нашей продукции:

1. Стойкость к окислению при высоких температурах до 1700℃.
2. Высокая чистота и термическая однородность
3. Отличная коррозионная стойкость: кислоты, щелочи, соли и органические реагенты.
4. Высокая твердость, плотная поверхность, мелкие частицы.
5. Более длительный срок службы и большая прочность

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основные физические свойства CVD SiCпокрытие
性质 / Свойство	典型数值 / Типичное значение
晶体结构 / Кристаллическая структура	FCC β фаза多晶,主要为（111）取向
密度 / Плотность	3,21 г/см³
硬度 / Твёрдость	2500 维氏硬度 (загрузка 500 г)
晶粒大小 / Размер зерна	2~10мкм
纯度 / Химическая чистота	99,99995%
热容 / Теплоемкость	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублимации	2700℃
抗弯强度 / Прочность на изгиб	415 МПа RT 4-точечный
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа 4-точечный изгиб, 1300℃
导热系数 / ТермалПроводимость	300Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Тепловое расширение (КТР)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy — профессиональный производитель, специализирующийся на исследованиях, разработках и производстве высокотехнологичных современных материалов, таких как графит, карбид кремния, кварц, а также на обработке материалов, такой как покрытие SiC, покрытие TaC, стеклоуглеродное покрытие, пиролитическое углеродное покрытие и т. д. Продукция широко используется в фотоэлектрической, полупроводниковой, новой энергетике, металлургии и т. д.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Преимущества VET Energy включают в себя:
• Собственный завод и профессиональная лаборатория;
• Лидирующие в отрасли уровни чистоты и качества;
• Конкурентоспособная цена и быстрые сроки доставки;
• Множество отраслевых партнерств по всему миру;

Приглашаем Вас посетить наш завод и лабораторию в любое время!