Övre och nedre grafithalvmånedel för SiC-ugn

Kort beskrivning:

VET Energy är en professionell tillverkare och leverantör av kärnkomponenter till epitaxialugnar av kiselkarbid.grafit halvmånedel använder en högren grafit i kombination med avancerad CVD-beläggningsteknik. Den är utformad för högtemperatur- och mycket korrosiva epitaxiella miljöer. Den högrena grafiten ger komponenten utmärkt högtemperaturbeständighet (>1600) och termisk stabilitet, vilket säkerställer en enhetlig termisk fälthög temperatur; CVD-beläggningen bildar ett tätt skyddande lager på ytan genom CVD-teknik, vilket avsevärt förbättrar antioxidations- och antietsningsegenskaperna och förlänger livslängden med mer än 3 gånger.

 


  • Material:Isostatisk grafit med hög renhet
  • Rening: <5 ppm
  • CVD-beläggning:SiC, TaC, pyrolytiskt kol
  • Anpassning:Standard eller OEM tillgänglig
  • Produktinformation

    Produktetiketter

    SZDFGZDFC
    sADfSDfc
    FDVSDCVXCV
    sADfSDfc

    Grafit halvmånedelär en nyckelkomponent som används i halvledartillverkningsprocesser, särskilt för epitaxialutrustning i SiC. Vi använder vår patenterade teknik för att tillverka halvmånedelen med extremt hög renhet, god beläggningsjämnhet och utmärkt livslängd, samt hög kemisk resistens och termisk stabilitet.

    VET Energy är den verkliga tillverkaren av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning och kan leverera olika kundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Vårt tekniska team kommer från ledande inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.

    Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material och har utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

    Funktioner hos våra produkter:

    1. Hög temperatur oxidationsbeständighet upp till 1700 ℃.
    2. Hög renhet och termisk enhetlighet
    3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
    4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
    5. Längre livslängd och mer hållbar

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

    性质 / Fastighet

    典型数值 / Typiskt värde

    晶体结构 / Kristallstruktur

    FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densitet

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hårdhet

    2500 维氏硬度(500g last)

    晶粒大小 / Kornstorlek

    2~10 μm

    纯度 / Kemisk renhet

    99,99995 %

    热容 / Värmekapacitet

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimeringstemperatur

    2700 ℃

    抗弯强度 / Böjhållfasthet

    415 MPa RT 4-punkts

    杨氏模量 / Youngs modul

    430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃

    导热系数 / TermajagLedningsförmåga

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy Grafit

    2

    VET Energy är en professionell tillverkare som fokuserar på forskning och utveckling samt produktion av avancerade material som grafit, kiselkarbid och kvarts, samt materialbehandling som SiC-beläggning, TaC-beläggning, glasartad kolbeläggning och pyrolytisk kolbeläggning. Produkterna används ofta inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi etc.

    Vårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda dig mer professionella materiallösningar.

    VET Energys fördelar inkluderar:
    • Egen fabrik och professionellt laboratorium;
    • Branschledande renhetsnivåer och kvalitet;
    • Konkurrenskraftigt pris och snabb leveranstid;
    • Flera branschpartnerskap världen över;

    Vi välkomnar dig att besöka vår fabrik och vårt laboratorium när som helst!

    研发团队

    公司客户


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!