Pieza superior e inferior de grafito en forma de media luna para horno de SiC.

Breve descripción:

VET Energy es un fabricante y proveedor profesional de componentes clave para hornos epitaxiales de carburo de silicio.parte de media luna de grafito Utiliza grafito de alta pureza combinado con tecnología de recubrimiento CVD avanzada. Está diseñado para entornos epitaxiales de alta temperatura y altamente corrosivos. El grafito de alta pureza proporciona al componente una excelente resistencia a altas temperaturas (>1600℃) y estabilidad térmica, lo que garantiza la uniformidad del campo térmico; el recubrimiento CVD forma una capa protectora densa en la superficie mediante la tecnología CVD, lo que mejora significativamente las propiedades antioxidantes y anticorrosión, y prolonga la vida útil en más de 3 veces.

Material:Grafito isostático de alta pureza

Purificación: <5 ppm

Recubrimiento CVD:SiC, TaC, carbono pirolítico

Personalización:Disponible en versión estándar o OEM.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalles del producto

Etiquetas de producto

Parte de media luna de grafitoEs un componente clave utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, especialmente en equipos epitaxiales de SiC. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar la pieza semicircular con una pureza extremadamente alta, una excelente uniformidad de recubrimiento y una vida útil excepcional, además de una alta resistencia química y estabilidad térmica.

VET Energy es un fabricante de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con recubrimiento CVD, y puede suministrar diversas piezas a medida para la industria de semiconductores y fotovoltaica. Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede ofrecerle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más sofisticados y hemos desarrollado una tecnología patentada exclusiva que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.

Características de nuestros productos:

1. Alta resistencia a la oxidación a temperaturas de hasta 1700℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 Estructura cristalina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 Pureza química	99,99995%
热容 Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 Módulo de Young	430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy es un fabricante profesional especializado en I+D y producción de materiales avanzados de alta gama, como grafito, carburo de silicio y cuarzo, así como en el tratamiento de materiales mediante recubrimientos de SiC, TaC, carbono vítreo y carbono pirolítico, entre otros. Sus productos se utilizan ampliamente en los sectores fotovoltaico, de semiconductores, de energías renovables, metalúrgico, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Las ventajas de VET Energy incluyen:
• Fábrica propia y laboratorio profesional;
• Niveles de pureza y calidad líderes en la industria;
• Precio competitivo y plazo de entrega rápido;
• Múltiples alianzas con la industria a nivel mundial;

¡Le invitamos a visitar nuestra fábrica y laboratorio cuando lo desee!