Pieza de media luna de grafito superior e inferior para horno de SiC

Descripción breve:

VET Energy es un fabricante y proveedor profesional de componentes básicos para hornos epitaxiales de carburo de silicio.pieza de media luna de grafito Utiliza grafito de alta pureza combinado con tecnología avanzada de recubrimiento CVD. Está diseñado para entornos epitaxiales de alta temperatura y alta corrosión. El grafito de alta pureza confiere al componente una excelente resistencia a altas temperaturas (>1600°C) y estabilidad térmica, asegurando la uniformidad del campo térmico; el recubrimiento CVD forma una capa protectora densa en la superficie a través de la tecnología CVD, mejorando significativamente las propiedades antioxidantes y antigrabado, y extendiendo la vida útil en más de 3 veces.

Material:Grafito isostático de alta pureza

Purificación: <5 ppm

Recubrimiento CVD:SiC, TaC, carbón pirolítico

Personalización:Disponible estándar u OEM

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Detalle del producto

Etiquetas de productos

Pieza de media luna de grafitoEs un componente clave en los procesos de fabricación de semiconductores, especialmente para equipos epitaxiales de SiC. Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar la pieza de media luna con una pureza extremadamente alta, una buena uniformidad de recubrimiento y una excelente vida útil, además de una alta resistencia química y estabilidad térmica.

VET Energy es un fabricante líder de productos de grafito y carburo de silicio personalizados con recubrimiento CVD. Suministra diversas piezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. Nuestro equipo técnico, proveniente de importantes instituciones de investigación nacionales, puede ofrecerle soluciones de materiales más profesionales.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiales más avanzados y hemos elaborado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa al desprendimiento.

Características de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700 ℃.
2. Alta pureza y uniformidad térmica.
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Mayor vida útil y mayor durabilidad.

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99.99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	430 Gpa, curva de 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy es un fabricante profesional centrado en la I+D y la producción de materiales avanzados de alta gama como grafito, carburo de silicio, cuarzo, así como el tratamiento de materiales como recubrimiento de SiC, recubrimiento de TaC, recubrimiento de carbono vítreo, recubrimiento de carbono pirolítico, etc. Los productos son ampliamente utilizados en fotovoltaica, semiconductores, nuevas energías, metalurgia, etc.

Nuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

Las ventajas de VET Energy incluyen:
• Fábrica propia y laboratorio profesional;
• Niveles de pureza y calidad líderes en la industria;
• Precio competitivo y tiempo de entrega rápido;
• Múltiples asociaciones industriales en todo el mundo;

¡Le invitamos a visitar nuestra fábrica y laboratorio en cualquier momento!