Верхняя і ніжняя графітавая паўмесяцовая дэталь для печы SiC

Верхняя і ніжняя графітавая паўмесяцовая дэталь для печы з карбіду крэмнію (малюнак)

Кароткае апісанне:

VET Energy з'яўляецца прафесійным вытворцам і пастаўшчыком асноўных кампанентаў для эпітаксіяльных печаў з карбіду крэмнію. Нашыграфітавая паўмесяцовая частка Выкарыстоўваецца графіт высокай чысціні ў спалучэнні з перадавой тэхналогіяй CVD-пакрыцця. Ён прызначаны для выкарыстання ў умовах высокіх тэмператур і высокаагрэсіўных эпітаксіяльных асяроддзяў. Графіт высокай чысціні забяспечвае кампаненту выдатную ўстойлівасць да высокіх тэмператур (>1600℃) і тэрмічная стабільнасць, што забяспечвае аднастайнасць цеплавога поля; пакрыццё CVD утварае шчыльны ахоўны пласт на паверхні дзякуючы тэхналогіі CVD, значна паляпшаючы антыакісляльныя і антытраўляльныя ўласцівасці, а таксама падаўжаючы тэрмін службы больш чым у 3 разы.

Матэрыял:Высокачысты ізастатычны графіт

Ачыстка: <5 праміле

CVD-пакрыццё:SiC, TaC, піралітычны вуглярод

Налада:Даступны стандартны або OEM-дызайн

Дашліце нам ліст Спампаваць у фармаце PDF

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Графітавая паўмесяцз'яўляецца ключавым кампанентам, які выкарыстоўваецца ў працэсах вытворчасці паўправаднікоў, асабліва для эпітаксіяльнага абсталявання з карбіду крэмнію. Мы выкарыстоўваем нашу запатэнтаваную тэхналогію, каб вырабляць паўмесяц з надзвычай высокай чысцінёй, добрай аднастайнасцю пакрыцця і выдатным тэрмінам службы, а таксама высокай хімічнай устойлівасцю і тэрмічнай стабільнасцю.

VET Energy з'яўляецца сапраўдным вытворцам вырабаў з графіту і карбіду крэмнію з CVD-пакрыццём на заказ, і можа пастаўляць розныя дэталі на заказ для паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці. Наша тэхнічная каманда складаецца з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і можа прапанаваць вам больш прафесійныя рашэнні па матэрыялах.

Мы пастаянна распрацоўваем перадавыя працэсы для стварэння больш дасканалых матэрыялаў і распрацавалі эксклюзіўную запатэнтаваную тэхналогію, якая дазваляе зрабіць сувязь паміж пакрыццём і падкладкай больш трывалай і менш схільнай да адслойвання.

Асаблівасці нашай прадукцыі:

1. Высокатэмпературная ўстойлівасць да акіслення да 1700℃.
2. Высокая чысціня і цеплавая аднастайнасць
3. Выдатная каразійная ўстойлівасць: кіслоты, шчолачы, солі і арганічныя рэагенты.
4. Высокая цвёрдасць, кампактная паверхня, дробныя часціцы.
5. Больш працяглы тэрмін службы і больш трывалы

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Асноўныя фізічныя ўласцівасці CVD SiCпакрыццё
性质 / Нерухомасць	典型数值 / Тыповае значэнне
晶体结构 / Крышталічная структура	β-фаза FCC多晶，主要为（111) 取向
密度 / Шчыльнасць	3,21 г/см³
硬度 / Цвёрдасць	2500 维氏硬度（загрузка 500 г）
晶粒大小 / Памер зерня	2~10 мкм
纯度 / Хімічная чысціня	99,99995%
热容 / Цеплаёмістасць	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Тэмпература сублімацыі	2700℃
抗弯强度 / Трываласць на выгіб	415 МПа RT 4-кропкавы
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 Gpa, выгіб 4pt, 1300℃
导热系数 / ТэрмалПраводнасць	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Цеплавое пашырэнне (КТР)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy — прафесійны вытворца, які спецыялізуецца на даследаваннях, распрацоўках і вытворчасці высакаякасных перадавых матэрыялаў, такіх як графіт, карбід крэмнію, кварц, а таксама на апрацоўцы матэрыялаў, напрыклад, на пакрыцці SiC, пакрыцці TaC, пакрыцці са шкловугляроду, пакрыцці піролітычным вугляродам і г.д. Прадукцыя шырока выкарыстоўваецца ў фотаэлектрыцы, паўправадніках, новай энергетыцы, металургіі і г.д.

Наша тэхнічная каманда складаецца з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і можа прапанаваць вам больш прафесійныя матэрыяльныя рашэнні.

Перавагі VET Energy ўключаюць:
• Уласная фабрыка і прафесійная лабараторыя;
• Найлепшыя ў галіны ўзроўні чысціні і якасці;
• Канкурэнтаздольная цана і хуткі тэрмін дастаўкі;
• Шматлікія галіновыя партнёрствы па ўсім свеце;

Мы запрашаем вас наведаць нашу фабрыку і лабараторыю ў любы час!