Верхня та нижня графітові півмісяцеві деталі для SiC-печі

Короткий опис:

VET Energy є професійним виробником і постачальником основних компонентів епітаксіальних печей з карбіду кремнію. Нашіграфітова частина у формі півмісяця Використовує високочистий графіт у поєднанні з передовою технологією CVD-покриття. Він розроблений для високотемпературних та висококорозійних епітаксіальних середовищ. Високочистий графіт забезпечує компоненту чудову стійкість до високих температур (>1600℃) та термостабільність, що забезпечує однорідність теплового поля; CVD-покриття утворює щільний захисний шар на поверхні завдяки технології CVD, значно покращуючи антиокислювальні та антитравні властивості, а також подовжуючи термін служби більш ніж у 3 рази.

Матеріал:Високочистий ізостатичний графіт

Очищення: <5 ppm

CVD-покриття:SiC, TaC, піролітичний вуглець

Налаштування:Стандартний або OEM доступний

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

Графітова частина у формі півмісяцяє ключовим компонентом, що використовується у виробництві напівпровідників, особливо для епітаксіального обладнання з карбіду кремнію. Ми використовуємо нашу запатентовану технологію для виготовлення напівмісяцевих деталей з надзвичайно високою чистотою, гарною рівномірністю покриття та чудовим терміном служби, а також високою хімічною стійкістю та термостабільністю.

VET Energy є справжнім виробником виробів з графіту та карбіду кремнію на замовлення з CVD-покриттям, який може постачати різноманітні деталі на замовлення для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. Наша технічна команда складається з провідних вітчизняних дослідницьких установ і може запропонувати вам більш професійні рішення щодо матеріалів.

Ми постійно розробляємо передові процеси для створення ще досконаліших матеріалів і розробили ексклюзивну запатентовану технологію, яка може зробити зчеплення між покриттям і основою міцнішим і менш схильним до відшаровування.

Особливості нашої продукції:

1. Стійкість до окислення за високих температур до 1700℃.
2. Висока чистота та термічна однорідність
3. Відмінна корозійна стійкість: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
4. Висока твердість, щільна поверхня, дрібні частинки.
5. Довший термін служби та більша довговічність

серцево-судинних захворювань SiC薄膜基本物理性能 Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття
性质 / Нерухомість	典型数值 / Типове значення
晶体结构 / Кристалічна структура	β-фаза ГЦК多晶，主要为（111）取向
密度 / Щільність	3,21 г/см³
硬度 / Твердість	2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)
晶粒大小 / Розмір зерна	2~10 мкм
纯度 / Хімічна чистота	99,99995%
热容 / Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублімації	2700℃
抗弯强度 / Міцність на згин	415 МПа RT 4-точковий
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа, вигин 4 пт, 1300℃
导热系数 / ТермалПровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Теплове розширення (КТР)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy — професійний виробник, що спеціалізується на дослідженнях, розробках та виробництві високоякісних передових матеріалів, таких як графіт, карбід кремнію, кварц, а також на обробці матеріалів, такій як покриття SiC, покриття TaC, скловуглецеве покриття, піролітичне вуглецеве покриття тощо. Продукція широко використовується у фотоелектричній, напівпровідниковій, новій енергетиці, металургії тощо.

Наша технічна команда складається з провідних вітчизняних дослідницьких установ і може запропонувати вам більш професійні матеріальні рішення.

Переваги VET Energy включають:
• Власний завод та професійна лабораторія;
• Провідні в галузі рівні чистоти та якості;
• Конкурентна ціна та швидкий час доставки;
• Численні галузеві партнерства по всьому світу;

Ми раді запрошувати вас відвідати наш завод та лабораторію в будь-який час!