Horná a spodná grafitová polmesiacová časť pre pec SiC

Horný a spodný grafitový polmesiac pre pec SiC - obrázok

Stručný popis:

Spoločnosť VET Energy je profesionálny výrobca a dodávateľ základných komponentov epitaxných pecí z karbidu kremíka. Našagrafitová polmesiacová časť Používa vysoko čistý grafit v kombinácii s pokročilou technológiou CVD povlakovania. Je určený pre vysokoteplotné a vysoko korozívne epitaxné prostredia. Vysoko čistý grafit dodáva súčiastke vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám (>1600℃) a tepelnú stabilitu, čím sa zabezpečuje rovnomernosť tepelného poľa; CVD povlak vytvára na povrchu hustú ochrannú vrstvu prostredníctvom CVD technológie, čím sa výrazne zlepšujú antioxidačné a antileptacie vlastnosti a predlžuje sa životnosť viac ako 3-krát.

Materiál:Vysoko čistý izostatický grafit

Čistenie: <5 ppm

CVD povlak:SiC, TaC, pyrolytický uhlík

Prispôsobenie:K dispozícii je štandard alebo OEM

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Grafitová polmesiacová časťje kľúčovou súčasťou používanou v procesoch výroby polovodičov, najmä pre epitaxné zariadenia SiC. Používame našu patentovanú technológiu na výrobu polmesiačikových dielov s extrémne vysokou čistotou, dobrou rovnomernosťou povlaku a vynikajúcou životnosťou, ako aj s vysokou chemickou odolnosťou a tepelnou stabilitou.

Spoločnosť VET Energy je skutočným výrobcom zákazkových grafitových a karbidových produktov s CVD povlakom a dokáže dodať rôzne zákazkové diely pre polovodičový a fotovoltaický priemysel. Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Neustále vyvíjame pokročilé procesy, aby sme poskytovali ešte zdokonalenejšie materiály, a vyvinuli sme exkluzívnu patentovanú technológiu, ktorá dokáže pevnejšie spojiť náter a podklad a znížiť jeho náchylnosť na oddeľovanie.

Vlastnosti našich produktov:

1. Odolnosť voči oxidácii pri vysokých teplotách až do 1700 ℃.
2. Vysoká čistota a tepelná rovnomernosť
3. Vynikajúca odolnosť proti korózii: kyseliny, zásady, soli a organické činidlá.
4. Vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
5. Dlhšia životnosť a odolnejšie

Kardiovaskulárne ochorenie (KVO) SiC薄膜基本物理性能 Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiCnáter
性质 / Nehnuteľnosť	典型数值 / Typická hodnota
晶体结构 / Kryštálová štruktúra	FCC β fáza多晶，主要为（111）取向
密度 / Hustota	3,21 g/cm³
硬度 / Tvrdosť	2500 维氏硬度（500g náplň）
晶粒大小 / Veľkosť zrna	2~10μm
纯度 / Chemická čistota	99,99995 %
热容 / Tepelná kapacita	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Teplota sublimácie	2700 ℃
抗弯强度 / Pevnosť v ohybe	415 MPa RT 4-bodový
杨氏模量 Youngov modul pružnosti	430 Gpa, ohyb 4pt, 1300℃
导热系数 / TermalVodivosť	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Tepelná rozťažnosť (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

Spoločnosť VET Energy je profesionálny výrobca zameraný na výskum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálov, ako je grafit, karbid kremíka, kremeň, ako aj na úpravu materiálov, ako je povlak SiC, povlak TaC, povlak zo skleného uhlíka, pyrolytický povlak uhlíka atď. Produkty sa široko používajú vo fotovoltaike, polovodičoch, novej energii, metalurgii atď.

Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.

Výhody VET Energy zahŕňajú:
• Vlastná továreň a profesionálne laboratórium;
• Najvyššie úrovne čistoty a kvality v odvetví;
• Konkurencieschopná cena a rýchla dodacia lehota;
• Viaceré priemyselné partnerstvá po celom svete;

Kedykoľvek vás radi pozývame na návštevu našej továrne a laboratória!