グラファイト半月パーツは、半導体製造プロセス、特にSiCエピタキシャル装置において重要な構成要素です。当社独自の特許技術を用いて、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、長寿命、そして高い耐薬品性と耐熱性を備えた半月型部品を製造しています。
VET Energyは、CVDコーティングを施したカスタムグラファイトおよび炭化ケイ素製品の真のメーカーであり、半導体および太陽光発電業界向けに様々なカスタム部品を提供できます。当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために、常に先進的なプロセスを開発しており、コーティングと基材との結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。
当社製品の特徴：
1. 1700℃までの高温酸化耐性。
2. 高純度と熱均一性
3. 優れた耐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 高硬度、緻密な表面、微細粒子。
5. より長い耐用年数とより耐久性
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 標準値 |
| 結晶構造 結晶構造 | FCC β相多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒の大きさ | 2～10μm |
| 度 化学的純度 | 99.99995% |
| 熱容 熱容量 | 640 J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 ヤング率 | 430 GPa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマl導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 熱膨張係数（CTE） | 4.5×10-6K-1 |
VET Energyは、グラファイト、炭化ケイ素、石英などのハイエンド先端材料の研究開発および製造、ならびにSiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの材料処理に特化した専門メーカーです。製品は、太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
VET Energyの利点は以下のとおりです。
・自社工場と専門研究所を所有。
・業界最高水準の純度と品質。
・競争力のある価格と迅速な配送時間。
・世界各地で複数の業界パートナーシップを締結。
いつでも工場と研究所へのご訪問を歓迎いたします！
