グラファイト半月型パーツ半導体製造プロセス、特にSiCエピタキシャル装置に使用される重要な部品です。当社は特許取得済みの技術を用いて、極めて高い純度、優れたコーティング均一性、優れた耐用年数に加え、高い耐薬品性と熱安定性を備えた半月型部品を製造しています。
VET Energyは、CVDコーティングを施したグラファイトおよび炭化ケイ素製品の専門メーカーです。半導体および太陽光発電業界向けに、様々なカスタマイズ部品を供給可能です。当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションをご提供いたします。
当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを継続的に開発しており、コーティングと基材の結合をより強固にし、剥離しにくくする独自の特許技術を開発しました。
当社の製品の特徴:
1. 1700℃までの高温酸化耐性。
2. 高純度と熱均一性
3. 優れた耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
4. 硬度が高く、表面が緻密で、粒子が細かい。
5. 長寿命と耐久性の向上
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本的な物理的特性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 標準値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCCβ相多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2～10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640 J·kg-1·K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415 MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4点曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / サーマl導電率 | 300W·m-1·K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張率(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energyは、グラファイト、炭化ケイ素、石英などのハイエンド先端材料の研究開発と製造、およびSiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの材料処理に重点を置いた専門メーカーです。製品は、太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などに広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
VET Energy の利点は次のとおりです:
• 自社工場と専門研究室
• 業界をリードする純度レベルと品質
• 競争力のある価格と迅速な納期
• 世界中で複数の業界パートナーシップを構築
弊社の工場と研究所へのご訪問はいつでも歓迎いたします！
