Vysoce čistý křemenný člun pro zpracování oplatek

Křemenná oplatková loďkaje klíčovým nosičovým nástrojem ve výrobě polovodičů, fotovoltaických článků a pokročilém výzkumu a vývoji materiálů, určený pro stabilní přenos a polohování destiček ve vysokoteplotních procesech. Tento produkt je vyroben z ultračistého taveného oxidu křemičitého (SiO2) s vynikající teplotní odolností, chemickou stabilitou a ultranízkými vlastnostmi kontaminace kovy, vhodný pro difuzní pece, oxidační pece, PECVD/LPCVD a další zařízení, široce používaný při potahování destiček, iontové implantaci, vysokoteplotním žíhání a dalších jádrových procesech.

Hlavní výhody křemenného člunu VET Energy:

• Materiál s ultra vysokou čistotou
  Čistota ≥99,99 %: Obsah nečistot (Na, K, Fe atd.) <5 ppm, čímž se zabrání kontaminaci destiček a zaručí se výtěžnost čipu.
  Nízké srážení a adsorpce: povrch je superleštěný (Ra ≤ 0,4 μm) pro snížení adheze částic a zbytků plynu.
• Stabilita při vysokých teplotách
  Teplotní limit: Dlouhodobá pracovní teplota 1100 ℃, krátkodobý vrchol 1300 ℃, bez deformace, bez srážení krystalů.
  Nízký koeficient tepelné roztažnosti (5,5x10-7/℃), vynikající odolnost vůči tepelným šokům, přizpůsobivost rychlému nárůstu a poklesu teploty (např. rychlé žíhání RTP).
• Přesný konstrukční návrh
  Přesnost drážky ±0,1 mm: shoda 2” až 12” destiček, chyba rovnoměrnosti rozteče <0,05 mm, zajištění toho, aby destičky neměly žádné odsazení.
  Vysoká nosnost: Maximální zatížení 50 waferů (v přepočtu na 12” wafery) v jedné lodičce, což podporuje stabilní přenos tenkých waferů (≥100 μm).
• Chemická inertnost
  Odolnost proti korozi: Odolná vůči kyselinám (kromě HF), zásadám a korozi organickými rozpouštědly, kompatibilní s čisticím procesem CMP.
  Vynikající plynotěsnost: Rychlost netěsnosti <5x10⁻⁶ Pa.m³/s, vhodné pro vakuum a prostředí s ochrannými plyny.
• Dlouhá životnost a udržovatelnost
  Životnost ≥ 5000 cyklů (normální pracovní podmínky), povrch lze opakovaně čistit a používat, což snižuje celkové náklady.
  Modulární konstrukce: umožňuje částečnou výměnu (např. jednoho zubu lodi), což zkracuje prostoje.

Nabízíme průhledné i matné povrchy dle požadavků zákazníka:

Společnost Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. je high-tech podnik zaměřující se na výrobu a prodej pokročilých materiálů nejvyšší kvality. Mezi materiály a technologie patří grafit, karbid křemíku, keramika a povrchové úpravy, jako je povlak SiC, povlak TaC, povlak ze skelného uhlíku, pyrolytický povlak uhlíku atd. Tyto produkty se široce používají ve fotovoltaice, polovodičích, nové energii, metalurgii atd.

Náš technický tým pochází z předních domácích výzkumných institucí a vyvinul řadu patentovaných technologií, které zajišťují výkon a kvalitu produktů, a také může zákazníkům poskytnout profesionální materiálová řešení.