Boven- en ondergedeelte van grafiet in de vorm van een halve maan voor een SiC-oven

Korte beschrijving:

VET Energy is een professionele fabrikant en leverancier van kerncomponenten voor epitaxiale ovens met siliciumcarbide.grafiet halvemaanvormig onderdeel maakt gebruik van een zeer zuiver grafiet gecombineerd met geavanceerde CVD-coatingtechnologie. Het is ontworpen voor hoge temperaturen en zeer corrosieve epitaxiale omgevingen. Het zeer zuivere grafiet geeft het component een uitstekende hogetemperatuurbestendigheid (>1600) en thermische stabiliteit, waardoor thermische velduniformiteit wordt gegarandeerd; de CVD-coating vormt een dichte beschermlaag op het oppervlak dankzij CVD-technologie, waardoor de anti-oxidatie- en anti-etseigenschappen aanzienlijk worden verbeterd en de levensduur met meer dan 3 keer wordt verlengd.

 


  • Materiaal:Isostatisch grafiet met hoge zuiverheid
  • Zuivering: <5 ppm
  • CVD-coating:SiC, TaC, pyrolytische koolstof
  • Maatwerk:Standaard of OEM beschikbaar
  • Productdetails

    Productlabels

    SZDFGZDFC
    sADfSDfc
    FDVSDCVXCV
    sADfSDfc

    Grafiet Halvemaan Deelis een belangrijk onderdeel in halfgeleiderproductieprocessen, met name voor epitaxiale SiC-apparatuur. We gebruiken onze gepatenteerde technologie om het halvemaanvormige onderdeel te produceren met een extreem hoge zuiverheid, een goede coatinguniformiteit en een uitstekende levensduur, evenals hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

    VET Energy is dé fabrikant van op maat gemaakte grafiet- en siliciumcarbideproducten met CVD-coating. Wij leveren diverse op maat gemaakte onderdelen voor de halfgeleider- en fotovoltaïsche industrie. Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiaaloplossingen.

    Wij ontwikkelen voortdurend geavanceerde processen om steeds geavanceerdere materialen te kunnen leveren. Ook hebben we een exclusieve, gepatenteerde technologie ontwikkeld waarmee de hechting tussen de coating en de ondergrond sterker wordt en er minder snel onthechting optreedt.

    Kenmerken van onze producten:

    1. Hoge oxidatiebestendigheid tot 1700℃.
    2. Hoge zuiverheid en thermische uniformiteit
    3. Uitstekende corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
    4. Hoge hardheid, compact oppervlak, fijne deeltjes.
    5. Langere levensduur en duurzamer

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Basisfysische eigenschappen van CVD SiCcoating

    性质 / Eigendom

    典型数值 / Typische waarde

    Ik denk dat dit het geval is / Kristalstructuur

    FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

    密度 / Dikte

    3,21 g/cm³

    硬度 / Hardheid

    2500 维氏硬度(500g belasting)

    晶粒大小 / Korrelgrootte

    2~10μm

    纯度 / Chemische zuiverheid

    99,99995%

    热容 / Warmtecapaciteit

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Sublimatietemperatuur

    2700℃

    Ik denk dat dit het geval is / Buigsterkte

    415 MPa RT 4-punts

    杨氏模量 / Young's modulus

    430 Gpa 4pt bocht, 1300℃

    导热系数 / ThermaikGeleidbaarheid

    300W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Thermische uitzetting (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energie Grafiet

    2

    VET Energy is een professionele fabrikant die zich richt op R&D en de productie van hoogwaardige, geavanceerde materialen zoals grafiet, siliciumcarbide en kwarts. Ook biedt het materiaalbehandelingen aan zoals SiC-coating, TaC-coating, glasachtige koolstofcoating, pyrolytische koolstofcoating, enz. De producten worden veel gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleidertechnologie, nieuwe energie, metallurgie, enz.

    Ons technische team is afkomstig van toonaangevende binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u voorzien van professionelere materiële oplossingen.

    Voordelen van VET Energy zijn onder andere:
    • Eigen fabriek en professioneel laboratorium;
    • Toonaangevende zuiverheidsniveaus en kwaliteit;
    • Concurrerende prijs en snelle levertijd;
    • Meerdere industriële partnerschappen wereldwijd;

    U bent van harte welkom om onze fabriek en ons laboratorium te bezoeken!

    研发团队

    公司客户


  • Vorig:
  • Volgende:

  • WhatsApp Online Chat!