Parte superiore e inferiore a mezzaluna in grafite per forno SiC

Breve descrizione:

VET Energy è un produttore e fornitore professionale di componenti principali per forni epitassiali in carburo di silicio.parte a mezzaluna in grafite Utilizza grafite ad alta purezza combinata con tecnologia di rivestimento CVD avanzata. È progettato per ambienti epitassiali ad alta temperatura e altamente corrosivi. La grafite ad alta purezza conferisce al componente un'eccellente resistenza alle alte temperature (>1600°C) e stabilità termica, garantendo uniformità del campo termico; il rivestimento CVD forma uno strato protettivo denso sulla superficie attraverso la tecnologia CVD, migliorando significativamente le proprietà antiossidanti e anticorrosione e prolungando la durata di servizio di oltre 3 volte.

 

 


  • Materiale:Grafite isostatica ad elevata purezza
  • Purificazione: <5 ppm
  • Rivestimenti CVD:SiC, TaC, Carbonio pirolitico
  • Personalizzazione:Disponibile in versione standard o OEM.
  • Dettagli del prodotto

    Etichette prodotto

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    Parte a mezzaluna in grafiteÈ un componente chiave utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare per le apparecchiature epitassiali in SiC. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare il componente a mezzaluna con una purezza estremamente elevata, una buona uniformità del rivestimento e un'eccellente durata, oltre a elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

    VET Energy è un produttore specializzato in prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento CVD, in grado di fornire diverse componenti su misura per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrire soluzioni di materiali altamente professionali.

    Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali sempre più performanti e abbiamo messo a punto una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

    Caratteristiche dei nostri prodotti:

    1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
    2. Elevata purezza e uniformità termica
    3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sali e reagenti organici.
    4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
    5. Maggiore durata e maggiore resistenza

    Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能

    Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

    性质 / Proprietà

    典型数值 / Valore tipico

    晶体结构 / Struttura cristallina

    Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

    密度 / Densità

    3,21 g/cm³

    硬度 / Durezza

    2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

    晶粒大小 / Dimensione del grano

    2~10μm

    纯度 / Purezza chimica

    99,99995%

    热容 / Capacità termica

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura di sublimazione

    2700℃

    抗弯强度 / Resistenza alla flessione

    415 MPa RT 4 punti

    杨氏模量 Modulo di Young

    430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃

    导热系数 / ThermalConduttività

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VE Energy Graphite

    2

    VET Energy è un produttore professionale specializzato nella ricerca e sviluppo e nella produzione di materiali avanzati di alta gamma come grafite, carburo di silicio, quarzo, nonché nel trattamento dei materiali come rivestimenti in SiC, rivestimenti in TaC, rivestimenti in carbonio vetroso, rivestimenti in carbonio pirolitico, ecc. I prodotti sono ampiamente utilizzati nei settori del fotovoltaico, dei semiconduttori, delle nuove energie, della metallurgia, ecc.

    Il nostro team tecnico, composto da professionisti provenienti dai migliori istituti di ricerca nazionali, è in grado di offrirvi soluzioni più professionali in termini di materiali.

    I vantaggi di VE Energy includono:
    • Stabilimento di proprietà e laboratorio professionale;
    • Livelli di purezza e qualità leader del settore;
    • Prezzo competitivo e tempi di consegna rapidi;
    • Molteplici collaborazioni industriali in tutto il mondo;

    Vi invitiamo a visitare la nostra fabbrica e il nostro laboratorio in qualsiasi momento!

    公司客户

     


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