Parte superiore e inferiore a mezzaluna in grafite per forno SiC

Breve descrizione:

VET Energy è un produttore e fornitore professionale di componenti fondamentali per forni epitassiali in carburo di silicio. Il nostroparte a mezzaluna in grafite Utilizza una grafite ad alta purezza combinata con un'avanzata tecnologia di rivestimento CVD. È progettato per ambienti epitassiali ad alta temperatura e altamente corrosivi. La grafite ad alta purezza conferisce al componente un'eccellente resistenza alle alte temperature (>1600°C) e stabilità termica, garantendo l'uniformità del campo termico; il rivestimento CVD forma uno strato protettivo denso sulla superficie attraverso la tecnologia CVD, migliorando significativamente le proprietà antiossidanti e anti-incisione e prolungando la durata utile di oltre 3 volte.

Materiale:Grafite isostatica ad alta purezza

Purificazione: <5 ppm

Rivestimento CVD:SiC, TaC, Carbonio pirolitico

Personalizzazione:Disponibile standard o OEM

Inviaci un'email Scarica come PDF

Dettagli del prodotto

Tag dei prodotti

Parte a mezzaluna in grafiteÈ un componente chiave utilizzato nei processi di produzione di semiconduttori, in particolare per le apparecchiature epitassiali in SiC. Utilizziamo la nostra tecnologia brevettata per realizzare la parte a mezzaluna con purezza estremamente elevata, buona uniformità di rivestimento e un'eccellente durata, oltre a elevate proprietà di resistenza chimica e stabilità termica.

VET Energy è il produttore leader di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento CVD, in grado di fornire una varietà di componenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può offrirvi soluzioni di materiali più professionali.

Sviluppiamo costantemente processi avanzati per fornire materiali ancora più avanzati e abbiamo elaborato una tecnologia brevettata esclusiva in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più salda e meno soggetta a distacco.

Caratteristiche dei nostri prodotti:

1. Resistenza all'ossidazione ad alta temperatura fino a 1700℃.
2. Elevata purezza e uniformità termica
3. Eccellente resistenza alla corrosione: acidi, alcali, sale e reagenti organici.
4. Elevata durezza, superficie compatta, particelle fini.
5. Maggiore durata e resistenza

malattie cardiovascolari SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento
性质 / Proprietà	典型数值 / Valore tipico
晶体结构 / Struttura cristallina	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)
晶粒大小 / Granulometria	2~10μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità termica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura di sublimazione	2700℃
抗弯强度 / Resistenza alla flessione	415 MPa RT 4 punti
杨氏模量 / Modulo di Young	430 Gpa 4pt curva, 1300℃
导热系数 / ThermalConduttività	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Espansione termica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy è un produttore professionale focalizzato sulla ricerca e sviluppo e sulla produzione di materiali avanzati di alta qualità quali grafite, carburo di silicio, quarzo, nonché trattamenti di materiali quali rivestimento in SiC, rivestimento in TaC, rivestimento in carbonio vetroso, rivestimento in carbonio pirolitico, ecc. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel settore fotovoltaico, dei semiconduttori, delle nuove energie, della metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornirvi le soluzioni più professionali in materia di materiali.

I vantaggi di VET Energy includono:
• Fabbrica propria e laboratorio professionale;
• Livelli di purezza e qualità leader del settore;
• Prezzo competitivo e tempi di consegna rapidi;
• Numerose partnership industriali in tutto il mondo;

Vi invitiamo a visitare la nostra fabbrica e il nostro laboratorio in qualsiasi momento!