Peza superior e inferior de media lúa de grafito para forno de SiC

Descrición curta:

VET Energy é un fabricante e provedor profesional de compoñentes básicos de fornos epitaxiais de carburo de silicio. O nosopeza de media lúa de grafito usa un grafito de alta pureza combinado cunha tecnoloxía avanzada de revestimento CVD. Está deseñado para ambientes epitaxiais de alta temperatura e altamente corrosivos. O grafito de alta pureza proporciona ao compoñente unha excelente resistencia a altas temperaturas (>1600℃) e estabilidade térmica, garantindo a uniformidade do campo térmico; o revestimento CVD forma unha densa capa protectora na superficie mediante a tecnoloxía CVD, mellorando significativamente as propiedades antioxidantes e antigravantes e prolongando a vida útil en máis de 3 veces.

Material:Grafito isostático de alta pureza

Purificación: <5 ppm

Revestimento CVD:SiC, TaC, carbono pirolítico

Personalización:Estándar ou OEM dispoñible

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Peza de media lúa de grafitoé un compoñente clave empregado nos procesos de fabricación de semicondutores, especialmente para equipos epitaxiais de SiC. Empregamos a nosa tecnoloxía patentada para fabricar a peza de media lúa cunha pureza extremadamente alta, boa uniformidade de revestimento e unha excelente vida útil, así como propiedades de alta resistencia química e estabilidade térmica.

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con revestimento CVD, e pode subministrar diversas pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica. O noso equipo técnico provén das principais institucións de investigación nacionais e pode proporcionarlle solucións de materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis axustada e menos propensa ao desprendemento.

Características dos nosos produtos:

1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas ata 1700 ℃.
2. Alta pureza e uniformidade térmica
3. Excelente resistencia á corrosión: ácidos, álcalis, sales e reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Maior vida útil e máis duradeiro

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do SiC por CVDrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	Fase β da FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 Tamaño do gran	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995%
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 4 puntos de 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 / TermalCondutividade	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy é un fabricante profesional centrado na I+D e na produción de materiais avanzados de alta gama como grafito, carburo de silicio e cuarzo, así como no tratamento de materiais como revestimentos de SiC, TaC, carbono vítreo, carbono pirolítico, etc. Os produtos úsanse amplamente en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.

As vantaxes de VET Energy inclúen:
• Fábrica propia e laboratorio profesional;
• Niveis de pureza e calidade líderes na industria;
• Prezo competitivo e prazo de entrega rápido;
• Múltiples asociacións industriais en todo o mundo;

Convidámosvos a visitar a nosa fábrica e laboratorio en calquera momento!